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本文介绍和评述了化学气相沉积法制备人造金刚石薄膜及其进展。重点评述了反应机理、发展历史、沉积方法、补底材料、检测手段。论述了有利于形成立方晶系金刚石材料的沉积条件。 相似文献
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金刚石薄膜的性质、制备及应用 总被引:35,自引:9,他引:26
金刚石有着优异的物理化学性质,化学气相沉积金刚石薄膜的研究受到研究人员和工业界的广泛关注。通过评述金刚石薄膜的性质、制备方法及应用等方面的研究成果,着重阐述化学气相沉积金刚石薄膜技术的基本原理,分析了各种沉积技术的优、缺点。结合对金刚石薄膜应用的讨论,分析了金刚石薄膜在工业应用中存在的问题和制备技术的发展方向。分析结果表明:MWCVD法是高速率、高质量、大面积沉积金刚石薄膜的首选方法;而提高金刚石的生长速度、降低生产成本等是进一步开发刚石薄膜工业化应用所需解决的主要问题。 相似文献
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金刚石膜高能粒子探测器 总被引:3,自引:0,他引:3
评述了金刚石膜探测器的优缺点,简要地介绍了由化学气相沉积的多晶金刚石膜所制成的辐射探测器,以及利用此探测器对α粒子进行测量的初步结果。 相似文献
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评述了金刚石膜探测器的优缺点,简要地介绍了由化学气相沉积的多晶金刚石膜所制成的辐射探测器,以及利用此探测器对α粒子进行测量的初步结果。 相似文献
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评述了液相沉积(类)金刚石薄膜的研究现状,介绍了液相合成(类)金刚石薄膜的装置、液态源及薄膜的性能,分析了如何更好地提高(类)金刚石薄膜质量,并在此基础上提出了一种可能制备出高质量金刚石薄膜的脉冲电弧放电沉积装置. 相似文献
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本文采用热解化学气相沉积方法,以甲烷和氢气为原料气体,在刀具材料-硬质合金,金刚石烧结体和立方氮化硼烧结体表面形成了金刚石薄膜,而且研究了金刚石在上述材料表面上的生长特性。 相似文献
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金刚石薄膜涂层刀具的应用取决于基底材料的选择。讨论了基底材料的特征:(1)基底应是一种常用刀具材料,且其切削条件能为金刚石所适应;(2)成本较低;(3)沉积金刚石膜具有良好的粘着性。 相似文献
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CVD金则石薄膜的成核机理研究 总被引:2,自引:0,他引:2
利用热丝化学气相沉积,在预觉 无定形碳的硅镜面基底及表面研磨预处理的铜基底上,实现了金刚石膜的沉积,并由此讨论了金刚石的成核机理。研究表明,无定形碳是金刚石成核的前驱态;成核密度不仅与基底材料有关,更主要由基底的表面状态决定,基底表面状态的设计进改善成核密度的最有效的方法。 相似文献
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类金刚石薄膜作为HgCdTe红外器件增透膜和钝化膜的研究 总被引:1,自引:0,他引:1
采用高频等离子体化学气相色沉积法(RFCVD)在HgCdTe红外器件上沉积类金刚石薄膜,俄歇电子能谱对DLC/HgCdTe界面分析结果表明类金刚石薄膜中的碳原子对衬底材料影响较小,70nm的类金刚石薄膜抑制衬底组份的外扩散,而且具有纯度较高的类金刚石薄膜外表面层,是一种理想的钝化膜材料,红外透射光谱测试结果表明类金刚石薄膜在较宽的波长范围内(4-12μm)具有明显的增透效应。 相似文献
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金刚石及相关薄膜制备研究进展 总被引:2,自引:1,他引:1
金刚石及相关薄膜材料指的是金刚石薄膜和立方氮化硼薄膜,它们的制备技术被称为“新金刚石技术”。评述了这类材料制备技术研究进展,指出成核及生长机理的研究将是它们走向实用化的关键。 相似文献
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将传统的灯丝热解化学气相沉积系统改装成侧向沉积系统,并在其中进行了金刚石薄膜的正、侧向沉积。研究表明,侧向沉积的成核密度和生长度与正向沉积的情况基本相同,崦侧向沉积系统中金刚石颗粒和薄膜的沉积速率要比传统的沉积系统的高,但结构更趋复杂。讨论服基底对金刚石成核和生长过程的影响,深化了厂金刚石沉积机理的理解。 相似文献
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电沉析条件对钛合金表面液相沉积类金刚石薄膜的影响 总被引:1,自引:0,他引:1
在钛合金表面沉积类金刚石膜能改进钛合金的生物相容性,拓展其在人体植入材料中的应用。探讨了用液相电解沉积法在钛合金表面制备类金刚石薄膜的新方法。讨论了不同沉积条件对膜的影响。在1650和1850V时可以得到坚固的棕色膜。沉积36h后,膜厚基本不变。沉积膜的Raman谱图表明,在1650和1850V沉积得到的是类金刚石薄膜,而在2000V时无法得到类金刚石薄膜。对膜的XPS分析表明,其主要成份是碳。XPS谱还表明在1650V时得到的膜可以将钛合金表面完全覆盖,而在1850V时则不能。以SEM分析表明在1650和1850V时得到的膜是由粒径约为400nm的小颗粒组成,而在2000V时得到只是疏松结构。并对类金刚石膜及钛合金的血液相容性进行了比较。 相似文献
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MPCVD法在氧化铝陶瓷上的金刚石膜沉积及其成核分析 总被引:7,自引:0,他引:7
用微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)法在氧化铝陶瓷基片上沉积了金刚石薄膜。实验表明,对基片进行适当的预处理,包括用金刚石研磨膏仔细研磨和沉积前原位沉积一层无定形碳层,可显著提高成核密度;对硅衬底和氧化铝基片上金刚石膜的成核过程进行了对比分析,并提出了提高氧化铝基片上沉积金刚石的成核的措施。 相似文献
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介绍了化学气相沉积金刚石薄膜的的主要方法,着重讨论了金刚石的摩擦学性能研究,简要分析了化学气相沉积金刚石薄膜中存在的问题。 相似文献