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如何对半导体工厂运行中的晶圆传输设备进行监测也成为半导体厂商面临的主要问题之一。针对现有晶圆传输的振动监测问题,结合MEMS传感器和无线传输特点,提出了基于无线MEMS加速度传感器的晶圆传输过程的振动监测系统。系统以MEMS电容式加速度传感器为测试载体采集振动数据,通过蓝牙无线传感器网络将采集到的数据传输到主服务器,在监控PC上实时显示和处理,从而获得晶圆传输过程的振动信息。最后通过仿真验证可得,采用MEMS传感器可以满足轻负载的晶圆传输过程的测试需求,而且采用蓝牙无线传输方式也可以避免监测系统中的布线复杂,成本高等不足。系统实现了半导体工厂中的晶圆传输全过程的在线实时监测,可以及早发现生产线中设备的故障。 相似文献
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通过研究MEMS技术、传感器技术、无线通讯技术、电池安全性能技术及电子产品防爆性能设计等相关国际、国家标准,结合产品实际认证测试经验,对无线微功率MEMS传感器安全性能要求进行了全面的阐述.微功率无线传感器安全要求主要包括射频安全性能、电磁兼容安全性能、安规、防护性能、发热性能、机械性能、电源安全性能及产品安全标记.本文可作为工程技术人员进行无线微功率电子产品设计或认证测试时的参考. 相似文献
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设计了一种基于ZigBee技术的实时贮运状态监测系统。系统通过MEMS传感器实现特种装备贮运状态的采集,采用CC2530模块实现数据的无线传输,以ARM微处理器STM32F407为核心实现数据的实时存储、分析与显示,并应用数字滤波算法对数据进行滤波处理,提高了检测数据的精确度。系统测试结果表明该系统对于节点信息的采集和无线传输具有较高的可靠性和稳定性,具有推广应用价值。 相似文献
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为实现仓储导弹装备的故障预测和健康管理(PHM)系统,研究基于MEMS传感器的导弹状态监测节点。以整合射频模块的微功耗单片机CC430F5133为核心,由微传感器模块采集状态信息,并经无线射频传输与上级ARM控制器实现实时通信,解决了节点长期稳定供电、复合传感器立体结构设计和安装等关键技术。该节点具有体积小,布置灵活,对监测对象无影响,功耗低,连续监测时间长等特点,能实现长期无人值守下的信息采集与实时上传,较好地完成了状态信息采集终端的功能。 相似文献
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针对高精度低成本可穿戴式人体动作捕捉,采用MEMS微惯性传感单元(IMU)设计实现无线体域网系统.系统由六轴微惯性单元MPU-6050、三轴地磁仪AK8975、微处理器及射频模块CC2530构成.首先,详细讨论系统硬件构架和基于Z-Stack的软件构架,然后通过上位机Matlab用户程序进行数据采集与实验验证.实验结果表明,与其他微惯性传感器系统相比,本设计采用高集成度的芯片和无线通信方式,在减小硬件体积的同时能够获得较高精度的数据(角度传感器零漂<1.5°),对实现可穿戴无线惯性测量有着积极的作用. 相似文献
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《单片机与嵌入式系统应用》2013,(8):59-59
Analog Devices,Inc.(ADI)推出一款无线振动感测系统,可让工业系统操作人员远程监控生产设备的健康状况,提高系统性能并降低维护成本。这款全新的联网系统包含ADIS16229iSensor无线振动传感器节点,它结合了双轴数字MEMS(微机电系统) 相似文献
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随着通信技术、传感器技术的发展,新型的桥梁健康监测技术不断涌现。基于无线传感器网络的桥梁结构健康监测是将无线传感器网络技术与结构健康监测相结合,应用频率法通过加速度传感器测得一段时间内的桥梁拉索张力,经过无线传感器网络将数据传输到监测平台,从而达到对桥梁健康状况的监测。 相似文献
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针对电机运行状态监测系统的特点,结合无线传感器网络,采用实施简便、性能可靠的定向洪泛路由策略,设计了新型的电机运行状态无线网络监测体系。应用Atmega128和CC2420设计了无线传感器网络的硬件系统,并使用该网络对异步电机定子的温度进行监测,实验结果表明该系统能对温度信号进行实时有效的采集。 相似文献
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基于无线传感器网络的水质监测系统设计 总被引:8,自引:2,他引:6
在研究无线传感器网络及Zigbee协议标准的基础上,对远程实时水质监测系统进行了分析.提出了基于Zigbee无线传感器网络与互联网结合的远程实时水质监测系统架构.设计了基于无线传感器的水质监测网络体系结构,实现了水质监测参数的荻取及传输. 相似文献
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