一种新型真空微电子压力传感器的研制

采用各向异性腐蚀与各向同性腐蚀相结合的技术和特殊的硅-硅键合技术,成功地研制出了一种新型真空微电子压力传感器。测试分析结果表明,该传感器反向击穿电压达到100V;在加3V正向电压时,其单个锥尖发射电流为0.2nA;在25-100g的压力范围内与输出电压呈线性关系,灵敏度为0.1μA/g。     

一种新型的锥尖制作方法研究

主要介绍利用反应离子腐蚀和等离子腐蚀相结合的方法制作真空微电子压力传感器中锥尖阵列。探讨合理选择制作材料，优化锥尖形状，锐化锥尖尖度，以提高传感器灵敏度，增大阴极锥尖的发射电流。测试结果表明：优化的锥尖发射电流在电压为3V时可达0．2nA，灵敏度为0．1μA／g。     

真空微电子管的研制

本文介绍了采用硅的各向异性腐蚀、氧化削尖技术制成了发射性能较好的硅尖阴极阵列，并应用硅键合技术研制成真空微电子二极管。测试结果表明，起始发射电压为５－６伏，反向击穿电压大于５０伏，平均单尖发射电流在阳极电压２０伏时为０．０５μＡ。     

用硅的各向异性腐蚀工艺制备发射硅尖阵列

本文介绍了真空微电子器件场发射阴极硅尖阵列的制备工艺技术。采用硅的各向异性腐蚀工艺和氧化削尖技术制成了形状和发射性能均较好的硅尖阵列，测试结果表明，起始发射电压为５～６Ｖ，发射电流在阳极电压为２０Ｖ时为０．５ｍＡ，反向击穿电压为７５Ｖ。     

新型真空微电子压力传感器特征研究和实验制作

本提出并研究了新型的“台阶阴极”和“曲面阴极”真空微电子压力传感器．与普通的真空微电子压力传感器相比，新型传感器的阴极发射电流大大提高，使得输出信号易于检测，抗噪声能力增加，并在改善输出信号线性、提高灵敏度和扩展量程方面有很大优势。本给出了计算机模拟结果，简述了台阶阶陈列阴极和阳极压力敏感膜的制作，并展示了ＳＥＭ照片。     

真空微电子二极管及微位移传感器的研究

首次用电荷模拟法计算了真空微电子二极管及真空微电子微位移传感器的场致发射阴极与阳极间的电场分布,进而计算了真空微电子二极管的电流一电压特性和微位移传感器的电流——位移(即阴、阳极间距)的关系曲线。模拟了两种结构的场致发射阴极:圆锥形和劈形。并用测试精度可达4nm 的水槽法模拟实验对计算结果进行了验证,理论计算与实验结果符合地很好。     

电磁激励微谐振式传感器的设计与制作

利用微电子机械加工技术成功研制出电磁激励-电磁拾振硅谐振梁式压力传感器。传感器以"H"型双端固支梁为谐振器,采用差分检测结构。工艺制作采用体硅加工工艺,并且采用一种减小封装应力的结构完成压力传感器的真空密封及封装。利用锁相环微弱信号检测技术建立的开环频率特性测试系统及闭环自激测试系统测试了传感器的频率、压力特性等相关技术指标。谐振器在空气中的品质因素Q值大于1200;在真空中的Q值大于7000。压力满量程刻度为0～120kPa。差分输出的结果优于单个谐振梁的输出结果,差分输出结果的线性相关系数为0.9999,灵敏度为225.77Hz/kPa。     

阴极-敏感膜复合型真空微电子压力传感器研究

该文提出了阴极-敏感薄膜复合结构的新型真空微电子压力传感器,并研制出了阴极-敏感薄膜复合结构,对硅薄膜在外力作用下产生的形变及其应力分布进行了计算机模拟计算,并讨论了薄膜结构参数对其敏感特性的影响。     

新型真空微电子压力传感器特性研究和实验制作

本文提出并研究了新型的“台阶阴极”和“曲面阴极”真空微电子压力传感器，与普通的真空微电子压力传感器相比，新型传感器的阴极发射电流大大提高，使得输出信号易于检测，抗噪声能力增强，并在改善输出信号线性、提高灵敏度和扩展量程方面有很大优势．本文绘出了计算机模拟结果，简述了台阶阵列阴极和阳板压力敏感膜的制作，并展示了SEM照片．     

硅尖阵列二极管温度性能的研究

简述了真空微二极管的结构参数设计、工作特点、工艺制备技术。给出了微二极管不同的温度下Ｆ－Ｎ曲线及湿法化学腐蚀制备硅尖的形貌。该微二极管起始电压为２Ｖ左右，发射尖电流５μＡ／锥尖。     

静压技术在振动试验仪器中的应用

对静压技术作了简单的介绍，针对振动试验仪器的特点，说明静压技术在振动试验仪器中应用的必要性、可行性。并对静压技术的应用场合和方法进行了探讨和研究。     

硅压力传感器的可靠性测试

硅压力传感器的可靠性测试技术研究受到了国内外的重视，对它的测试项目及其加速寿命测试方法进行了综述。     

基于Android平台智能手机软件研究

首先分析研究背景和国内外研究现状,介绍了Android平台手机软件开发平台相关理论,在详细了解其开发环境、开发背景的前提下,引出Android手机软件测试的基本概念,将手工测试和自动化测试对比,总结出测试必须手工测试和自动化测试相结合,根据一套软件测试流程进行合理测试。     

深海环境模拟实验装置压力控制系统设计

为了模拟深海高压环境,研制了一套深海环境模拟试验装置,在对深海环境模拟装置控制系统结构原理分析的基础上,提出了一种针对压力的闭环控制策略,采用以Atmega8L单片机为核心的主控电路、以ECN30206为核心的驱动电路、以Max7219为核心的显示电路,设计了稳压控制的定频调宽变速控制系统的硬件电路,并进行了相应的软件编制,实现了控制电路各模块的自由组合,以满足不同场合的需求,又可组成闭环控制系统,不但能够显著提高深海环境模拟装置的压力控制精度,同时还具有节能的效果。     

DF500A型500KW短波发射机射频末级电子管的全寿命管理

作为发射机的核心器件,射频末级电子管工作的稳定性直接影响到发射机稳定运行,本文针对DF500A型500KW短波发射机的射频末级电子管的验收测试、入库存储、环境控制和后期管理的整个过程以及在各阶段涉及的注意事项进行了系统的阐述,为相关领域中射频末级电子管的维护管理提供参考。     

MEMS高温电容式压力传感器的研制与测试

介绍了一种用硅-硅键合MEMS技术制作的高温电容式压力传感器,并给出了详细的制作工艺.文中对测试装置、测试电路进行了介绍和深入分析,最后用此测试电路对制作的传感器器件进行了高温测试,测试结果表明这种微传感器可在低于350℃的条件下正常工作,且具有很大的线性工作范围、良好的稳定性和较高的灵敏度,其应用前景十分广阔.     

土壤检测领域压力控制器的设计与开发

设计实现了一个应用于土壤力学试验中三轴仪测试系统的压力控制器,选用瑞萨M16C62P系列单片机作为控制器,步进电机与螺杆驱动活塞从而改变压力缸中的压力,压力值调节通过闭环控制实现,体积变化量由步进电机步进计数计算得到,特别是串行通讯的设计使用户可以通过上位机的友好界面对压力控制器进行控制和数据记录。     

微小型放入式电子测压器的研究

为满足多种火炮、弹箭内弹道压力参数测试需求,研制微小型放入式电子测压器。介绍研制微小型放入式电子测压器的现实背景和意义,阐述测试系统的工作原理,详细分析整个系统工作状态设计及实现．并给出该系统的典型应用。该测压器功耗低、体积小、能够承受600MPa压力,可在现场实时实况地记录被测弹体射击过程膛压变化状况,并能够在系统掉电的情况下保持测试所得的数据,便于回收上电后准确的回放所记录的数据以供分析。     

PT泵的微机测试系统的设计

为实现PT泵的自动化测量,以单片机为核心设计一种多功能PT泵检测系统。该系统具有燃油流量检测、油泵压力检测、油温检测、转速检测等功能,可实现PT泵各种参数的数字化测量,并且具有功能齐全、结构简单等特点．适用于多种PT泵的性能检测。     

基于电容式应变计的膛压测试系统

针对多种火炮、弹箭内弹道膛压测试中遇到的一些问题,设计了一种基于电容式应变计的火炮膛压测试系统,采用壳体本身作为压力敏感元件,实现了压力传感器与壳体的一体化设计。本文介绍了该测试系统的工作原理,详细阐述了测量电路的基本原理和信号转换电路。该测压器体积小、功耗低、能承受600MPa的压力。可以用电池供电,不需要外部引线,适用于中小口径火炮的膛压测试。并能在系统掉电的情况下保持测试所得的数据。