HT－7装置首次超导调试过程中的残气质谱分析

本文给出ＭＸ７３０４Ａ单极质谱计在ＨＴ－７装置首次低温超导调试过程中的应用。介绍进行残气质谱分析的目的，方法和采用的差分抽气质谱分析系统；给出装置调试过程中常温和低温状态下残气谱图；根据残气成分的分析和真空测量综合评价装置的真空状况。并利用质谱分析系统作为检漏手段     

动态流量法超高真空标准装置的性能测试

动态流量法超高真空标准装置是用于校准真空规的绝对真空计量标准。它由校准系统、恒压式气体微流量计和抽气系统组成。极限压力６．５×１０－９Ｐａ，校准范围１０－２～１０－７Ｐａ，不确定度３％（１０－２～１０－６Ｐａ）和１０％（１０－７Ｐａ）。     

HT—7装置首次超导调试过程中的残气质谱分析

本文给出ＭＸ７３０４Ａ单极质谱计在ＨＴ－７装置首次低温超导调试过程中的应用。介绍进行残气质谱分析的目的，方法和采用的差分抽气质谱分析系统；给出装置调诗过程中常温和低温状态下残气谱图；根据残气成分的分析和真空状况。并利用质谱分析系统作了检漏手段。     

RIBLL真空系统

本文描述ＲＩＢＬＬ真空系统的设计、安装、测试结果。真空腔体全长３５ｍ，３０ｍｉｎ时间真空可由１０００Ｐａ达到５×１０－８Ｐａ。无束流时间，真空可以达到１．７×１０－９Ｐａ。在束流轰击下，真空可以达到７．５×１０－１０Ｐａ。     

动态流量法超高真空标准装置

研制成功的动态流量法超高真空标准装置是一台用来校准真空规的绝对真空计量标准,装置由校准系统,微流量计系统,抽气系统和计算机控制系统组成,校准系统采用四球结构,校准球室直径为５００ｎｍ,极限真空度为６．５×１０＾－９Ｐａ,校准范围为１０＾－２～１０＾－７Ｐａ不确定度为３％（１０＾－２～１０＾－６Ｐａ）和１０％（１０＾－７Ｐａ）。     

大型全金属超高真空规管比对系统

本文主要介绍了全金属超高真空规管比对系统。该系统具有大容积、全金属等优点。图１展示了系统装置：该系统装置的真空校准室容积为１９８升，规管及连接管道的总容积为 ４．２升，两者之比为 ４７．２倍，满足了 ＩＳＯ／ＤＩＳ ３５６８标准。该系统的极限真 空为 １．７×１０－９Ｐａ，校准范围为 １０－２～１０－８Ｐａ． ９只规管均匀地分布在校准室容器上 （图２），以便减少规管间的相互影响．讨论了影响压强稳定度和均匀性的因素（图３）。 例举了比对实验的实测结果（表 ２）。此系统满足了北京正负电子对撞机（ＢＥＰＣ）贮 存环所用超高真空规管校准的需要，同时，也为其它用户提供良好的服务。     

HL-2A托卡马克真空系统的烘烤试验

简述了HL－2A托卡马克真空系统的组成及结构特点，介绍了真空系统的烘烤运行过程，通过真空系统的烘烤性能试验后，为HL－2A装置的放电调试运行积累了经验并提供大量的试验数据。     

真空计量标准的研制与应用

兰州物理研究所研制了一系列真空标准装置,可用于真空规、方向规、分压力质谱计、真空漏孔和正压漏孔的校准.其静态膨胀法真空标准装置、动态流量法真空标准装置及超高/极高真空校准装置是用于真空规校准的三套基础标准,覆盖的校准范围为(10-10～105)Pa;程控式真空规校准装置适用于工业部门,其校准范围为(10-4～105)Pa;为实现质谱计的校准,研制了一台具有三路相同独立进样系统的分压力质谱计校准装置,标准分压力通过磁悬浮转子规以两种不同的方法进行测量,该校准装置可实现(10-7～10-1)Pa范围内的分压力校准;为实现真空漏孔的校准,研制了恒压式气体微流量标准装置和固定流导法气体微流量标准装置.恒压式气体微流量标准装置的校准范围为(10-8>～10-2)Pa·m3/s,同定流导法气体微流量标准装置的校准范围为(10-10～10-5)Pa·m3/s,漏孔漏率的校准通过比较被校漏孔和标准气体微流量计在一台四极质谱计上引起示漏气体离子流的大小计算得到;为实现正压漏孔的校准,研制了一台正压漏孔校准装置,采用定容法和定量气体动态比较法对正压漏孔进行校准,校准范围为(5 × 10-5～10-1)Pa·m3/s;研制了一台定向流真空校准装置,实现对方向规的校准和非平衡态分子流的研究,装置的校准范围为(10-7～10-1)Pa.     

BEPC贮存环超高真空系统高灵敏度的四极质谱计检漏方法

北京正负电子对撞机（ＢＥＰＣ）贮存环超高真空系统长约２４０米，由八个区段组成。 安装后经必要的常规氦质谱检漏和消除这些漏之后，真空度在烘烤前后分别达到１０－７帕 和１０－８帕。在此基础上做了如下工作。当离子泵系统存在微漏与一般漏（与系统的体 积和泵的抽速比较）时，漏入空气的成分在残气质谱图上有明显的差别。本文解释并利 用了这一现象，对系统进行高灵敏度检漏。     

真空冷冻干燥装置的检漏

介绍了真空冷冻干燥装置工业检漏的原理和检漏方法。着重讨论充压检漏法、真空计检漏法、卤素检漏法、氦质谱检漏法在冷冻干燥机中的应用。这些方法也适用于生物制品和药品的冷冻干燥装置的检漏。文内介结了HFZV—1型真空食品冷冻干燥装置的检漏效果,达到了设计指标。     

HT-7U装置冷却回路概念设计

介绍了ＨＴ－７Ｕ装置冷却部件的基本结构，借鉴国外同类装置及我所ＨＴ－７装置建设和运行经验，对ＨＴ－７Ｕ装置冷却回路进行了概念设计，给出了冷却回路的主要参数及冷却回路流程的初步方案。     

AGA—100型四极质谱计分析和真空系统污染后的清洗

本文介绍了ＡＧＡ－１００型四级质谱计分析和真空系统污染后的清洗方法，并对清洗前后的性能指标做了对照测试，结果表明此法是可行的．     

组合型真空规校准系统

组合型真空规校准系统由三种基本的校准方法组成，可完成１０＾－＾４－１０＾５Ｐａ范围内的校准。用户可根据实际应用选择不同的参考标准和校准方法，但不改变系统的基本结构。校准系统扣作方便，校准效率高，同时可校准４或５只真空规，是一种非常适合于日常校准用的实用性标准装置。     

HT-7超导托卡马克装置真空系统参数的标定及分析

主要介绍HT-7超导托卡马克装置真空系统参数的标定和分析.在有无低温泵工作条件下,分别测量了HT-7真空系统对氢气、氘气、氦气和氮气的抽速曲线.分析包括器壁吸附等因素对HT-7真空系统不同气体抽速的影响.同时简单分析了在不同情况下,装置真空分布情况,为实现HT-7装置气体平衡提供参考.讨论和测量如何利用质谱计来分氦和氘.通过气体平衡比较准确的测量了装置体积.     

新型玻璃膨胀法真空标准装置

本文介绍了一种量程较宽的真空标准装置。 ６．７ × １０－３～１．３ × １０２Ｐａ范围采用一级膨胀法．１．３ × １０２～３．７ × １０３Ｐａ范围采用与Ｕ型压力计直接比对．叙述了装置的原理、结构、定量传递阀的设计和隔断阀的选择。此外，还介绍了油柱高度．校准室和定量传递阀容积的测定方法。 经过对装置参数的测量和误差分析，以及分别用ＦＢ－１型标准电离规和电容薄膜规作为参考规，前后用本装置与麦氏计和高真空膨胀法装置比对，本装置在 ６．３ × １０－３～３．７ × １０３Ｐａ范围的综合不确定度不大于±３％。 本装置为一等真空标准装置，可用于对低真空和中真空规进行检定和测试．     

真空漏率校准装置与检漏

本文叙述国内外真空检漏技术动态，着重介绍常用流量计法校准真空漏率的标准装置，结构、原理、最后统观一下氦质谱检漏仪发展与现状。     

BEPC储存环真空系统

本文描述了ＢＥＰＣ储存环真空系统的设计、制造和运行。为了使储存环中正负电子的寿命达到８—１０小时，要求真空系统的动态压强低于３×１０－９Ｔｏｒｒ。储存环真空系统的主要气载是由同步辐射光与真空盒壁相互作用产生的。由于弯转的铝真空盒具有容易加工、高的热导性和低的放气率等特性，被广泛应用于真空系统。１１０Ｌ／ｓ的涡轮分子泵机组把系统预抽到１０—６Ｔｏｒｒ左右，主抽泵是工作在弯转磁场中的分布式溅射离子泵。５００Ｌ／ｓ的溅射离子泵安装在特殊的部位，如高频腔，静电分离器以及物理实验区等．１００Ｌ／ｓ离子泵每隔６．５米安装一台，当分市泵不工作时用来维持系统真空．八个全金属闸板阀把真空系统分成八个部份。为了减少由于高次模造成的束流能量损失，要求真空系统光滑过渡。     

真空材料放气率高精度测量装置

介绍了上海光源二期线站工程机械真空辅助实验室研制的一套基于双通道气路转换法的真空材料放气率高精度测量装置，对同步辐射真空系统中常见的无氧铜材料样品开展放气率测试研究。实验测量并计算得出样品与本底和本底在不同温度状态、排气时间、气路转换后的放气量。结果显示，经72h,150℃高温烘烤后的无氧铜放气率为3.06×10^-12Pa·m³·s^-1·cm^-2，表明装置具有较高的放气率测试精度，可以满足同步辐射装置对超高真空材料放气率的测量要求。     

HL-1M装置的真空运行与质谱诊断

通过对 HL- 1M装置真空运行模式、真空运行参数、氦辉光放电清洗和硅化壁处理手段等的规范化 ,显著地改善了装置的真空壁出气、本底杂质浓度、托卡马克放电杂质出气比和再循环 ,成功地实现了高参数放电、长脉冲放电和装置暴露大气后快速恢复放电 ,并成功地为演证低混杂电流驱动、离子回旋共振加热、电子回旋共振加热、中性束注入、弹丸注入和分子束注入实验和升级等离子体运行等提供了良好的真空壁条件。描述了 HL- 1M装置真空系统、壁出气和再循环控制、质谱诊断和程序脉冲送气等方面的主要实验成果 ,并为 HL- 2 A装置的真空系统研制和运行提供了有益的参考     

几种真空密封剂在BEPC真空系统中的应用

木文给出了中国玉门炼油厂的玉炼３０～＃真空封泥、江西南昌复印材料厂生产的ＫＨ－ １７１４型高温固化真空堵漏胶和英国爱德华公司生产的Ｓｉｌｉｃｏｎ常温固化胶的特征质谱 图。叙述了选取堵漏胶的一般要求和在北京正负电子对撞机工程（ＢＥＰＣ）实践中选用几 种堵漏胶所对应的漏率范围。