微小等离子体反应器的制作及性能测试

设计了基于并行探针驱动的扫描刻蚀加工系统,用于微纳米尺度的刻蚀加工.研究了系统的核心器件—微小等离子体反应器的电学特性和发射光谱特性,以了解反应器中产生的反应等离子体性能的变化规律.基于微机电系统(MEMS)加工工艺制备了中间带有倒金字塔形状微型空腔的金属-绝缘体-金属3层结构的微小等离子体反应器.搭建了可测量等离子体伏安特性和发射光谱特性的实验系统,对放电气体为SF6,工作气压在5～12 kPa,直流驱动模式下的微小等离子体反应器的电学和光谱特性进行了测试.实验结果表明,放电电流随着放电电压的增加而近似线性递增,放电电流由5 kPa时的2.1～2.82 μA递增到12 kPa时的3.6～4.2 μA,表明所产生的微小等离子体处于异常辉光放电模态.当器件特征尺寸由150 μm减小至30 μm时,微小等离子体发射光谱中氟原子特征谱线(703.7 nm)峰值增大了约56％,表明微小等离子体的浓度随尺度缩小而增强.实验结果表明,设计的微小等离子体反应器基本满足扫描刻蚀加工所需的高浓度等离子体源的性能要求.     

钢铁行业燃气锅炉烟气脱硫脱硝除尘技术对比分析

对钢铁行业燃气锅炉的工程条件进行分析,并对不同脱硫脱硝除尘技术路线进行对比,得出在目前的技术路线中脉冲放电等离子体烟气一体化净化技术路线的优势较为明显,比其他技术路线更适用于燃气锅炉烟气脱硫脱硝除尘.     

空心阴极远区等离子体放电结构的优化设计

射频空心阴极远区等离子体放电具有离子浓度高、易于实现大面积处理的优点,正受到越来越多的关注。空心阴极等离子体流的特性与空心阴极的喷嘴结构有很大的关系。如何准确、便捷设计空心阴极喷嘴放电结构,是空心阴极远区等离子体表面处理的关键问题。构建了空心阴极等离子体放电自洽模型,推导了空心阴极等离子体放电电流与空心阴极喷嘴结构之间的关系,应用放电粒子模拟仿真软件,对空心阴极放电结构进行优化设计,实现了快速、准确设计,达到高效等离子体表面改性的目的。     

大气压射频等离子体光强测量系统的设计

基于对大气压等离子体放电射流特性的分析,考虑到实验室对于大气压射频等离子体强度的要求,设计出一套高灵敏度、高精确度的光强测试系统,实时测量等离子体放电强度,找到等离子体放电强度与辉光放电光强的对应关系,为今后的实验及产品开发提供参考和依据。     

大气压空气等离子体射流发生器设计及实验研究

设计了放电稳定、电弧射流较长、烧蚀率较低的大气压空气等离子体射流发生器的结构,并确定了发生器材质、冷却方式、进气方案.对设计的以空气为工作气体的等离子体射流发生器进行了实验研究,分析了其在旋流进气条件下的气体流量对放电现象的影响.     

NO_X在净化中的反应动力学特性的试验研究与数值模拟

在自制试验系统的基础上,在常温条件下以介质阻挡放电产生低温等离子体,建立低温等离子体处理NOx化学反应过程的数学模型。然后利用MATLAB编程求解微分方程组,进行数值模拟,对NOx在净化反应器中的反应机理进行理论研究。实验证明了模型建立的合理性。     

六相交流电弧放电装置电源系统设计及性能测试

为了解决单相交流电弧放电不稳定和射流短的问题,设计了一个六相交流电弧放电装置。六相交流电弧放电相比于单相交流电弧放电更稳定,可以产生更大功率的等离子体。主要介绍六相交流电弧放电装置的电源系统电路设计,并给出了六相交流电源驱动的电弧等离子体放电的伏安特性曲线以及不同弧电流对等离子体射流特性的影响规律。     

低功率水工质脉冲等离子体推进器的工作特性

为了解决Teflon脉冲等离子体推进器存在的性能低、有污染等问题,设计了以水为工质的脉冲等离子体推进器系统,并研究了它的主要工作指标的能量阈值.分析了水工质脉冲等离子体推进器系统的放电类型形成条件及原因,通过放电电压和电流测试实验,对工作能量阈值进行了实验研究,得到了稳定运行能量对应的储能电容值.实验结果表明:在足够高...     

低温等离子体处理柴油机有害排放的比较研究

分析了低温等离子体转化柴油机排气中有害成分的反应机理,设计了三种不同结构类型的低温等离子体反应器,并进行了基于发动机台架的实验研究。研究结果表明,低温等离子体对柴油机排气中的颗粒物及NO有较好的转化作用,采用全流式低温等离子反应器,延长排气在反应器中的滞留时间,有利于提高能量利用率及排气中颗粒物、NO的分解转化率。     

出口加氢反应器设计中应注意几点问题

通过对出口印度加氢脱硫（HDS）反应器按ASME第Ⅷ卷2分篇进行设计过程的分析总结,提出出口加氢反应器在设计中应注意的问题及其解决办法。