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对两种不同清洗方法的工作原理、清洗效果和适用范围等特点进行了分析。不同的工艺应采用不同的清洗方法才能获得最佳效果。介绍了硅片清洗机的清洗工艺和腐蚀工艺。指出了硅片清洗工艺的发展趋势。 相似文献
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替代ODS清洗工艺的选择与对设备的要求 总被引:1,自引:0,他引:1
本文仅对清洗工艺的选择内容、清洗工艺的选定原则、清洗工艺试验和清洗质量评价,以及对清洗设备的要求和清洗设备的导入验收,从用户角度提出一些认识和看法。 相似文献
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梁鸿卿 《现代表面贴装资讯》2005,4(5):53-56
等离子清洗在当今组装工艺中是不可欠缺的技术。本文介绍清洗技术在组装工艺中的作用和具有两种等离子方式的SPC——100的系统及有效性,同时根据其应用的广泛性而选择介绍应用例。 相似文献
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微电子封装中等离子体清洗及其应用 总被引:2,自引:0,他引:2
随着微电子工艺的发展,湿法清洗越来越局限,而干法清洗能够避免湿法清洗带来的环境污染,同时生产率也大大提高,等离子体清洗在干法清洗中优势明显,本文主要介绍了等离子体清洗的机理、类型、工艺特点以及在微电子封装工艺中的应用。 相似文献
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超临界二氧化碳(SCCO_2)无损伤清洗 总被引:1,自引:1,他引:0
简要回顾了传统RCA清洗工艺的历史背景和清洗原理,介绍了RCA清洗随着工艺节点减小存在的局限性。在此基础上,阐述了以超临界二氧化碳(SCCO2)为媒质的新型清洗工艺,该工艺流程可以同时实现超临界流体清洗和干燥。结合自主研发的绿色环保二氧化碳超临界半导体清洗设备,论述了利用SCCO2对Si片进行无损伤清洗的工艺原理和工艺流程。分析了近年来国内外对SCCO2清洗的研究进展,展示了其在清洗方面的巨大潜力以及在微电子行业应用中的有效性和优越性,其研究成果有利于推动下一代清洗工艺的发展。 相似文献
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轴承的超声波水洗工艺与自动清洗线的开发应用 总被引:1,自引:0,他引:1
本文介绍了轴承的水基清洗的工艺技术及其开发使用的自动清洗线的应用实例。以水基清洗轴承替代了传统的汽油清洗和强酸清洗的工艺,其清洁度达到了产品质量要求标准,其废水排放达到了环保要求标准,这一实例不仅适宜中小型轴承厂。更适合大型轴承厂采用,它为轴承清洗领域提供了一种新思路,很有参考价值,值得推广。 相似文献
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3.对清洗设备的要求和清洗设备的导入.验收。3.1对清洗设备的要求。替代ODS清洗改造项目一般都需要针对项目的具体情况重新制造清洗设备,直接利用原有清洗设备或稍加改造就能达到替代ODS清洗目的的情况很少。通过清洗工艺试验和清洗质量评价确定的清洗工艺方案,是设计制造新清洗设备的基本依据之一;而另外一个更原始的基本依据则是 相似文献
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《现代表面贴装资讯》2009,(3):29-30
中心为了加强对亚太地区的本地化支持,ZESTRON拓展了其在中国上海的技术中心。在新的技术中心内,用户仅需一天即可了解全球主流生产商的不同清洗设备的概况,例如喷淋(批量和在线)、超声、喷流等。此外,用户可以选用他们最青睐的设备免费测试清洗他们的基板(PCB、网板、托盘等)以寻找最合适的清洗工艺。在清洗实验中, 相似文献
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微波组件半水清洗工艺研究 总被引:1,自引:0,他引:1
从清洗剂、清洗温度、清洗时间等方面进行分析和试验,研究了一种新型半水清洗工艺,并且通过重新设计设备工装,最终能在同一个清洗腔内同时清洗大小不同、形状各异的低频电路组件、高频电路小模块和大壳体,并且不会对元器件和电路板造成损伤,大大提高了军工产品的清洗效率,满足军工科研生产单位"多品种、小批量"产品的清洗要求,从而有效替代传统的超声清洗工艺。 相似文献
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在由得州仪器公司、美国国防部远景规划局和美国空军联合资助的微电子制造科学与技术(MMST)计划中,硅片清洗的目标是开发旨在完全取代湿法清洗工艺的单片、全干法或汽相清洗工艺。氢氟酸(HF)汽相清洗和等离子体处理在去除氧化物、氮化物和金属刻蚀后的残余物方面取得了成功。但是,有效的干法工艺并不能取代炉前清洗所用的工业标准(RCA)清洗和水冲洗。全干法工艺可能都还要花5到10年才能成熟。以后几年,将开始采 相似文献
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清洗对于电子产品可靠性有着非常重要的影响,针对印制电路组件污染物进行了系统阐述,并对不同的清洗技术和工艺进行了总结归纳,讨论了影响清洗效果的各个因素及其检验规范,为实际生产起到指导作用。 相似文献
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本文介绍了锅炉酸洗的安全要求、清洗回路的设置、清洗前的准备工作、清洗流程及药剂配制、清洗过程监督检测控制、废液排放处理、安全措施、清洗质量验收等清洗工艺措施,保证了清洗质量。 相似文献
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针对低架空高度、高密度封装BGA和CSP底部难以清洗干净的难题,将离心清洗工艺技术应用于PCBA的清洗中.探讨清洗溶剂选择原则,研究离心清洗工艺原理,设计和优化了离心清洗工艺流程,设置了离心清洗工艺参数,分析以上因素对高密度印制板组件清洗效果的影响规律.清洁度检测结果表明:清洗溶剂选择正确,清洗工艺流程合理,离心清洗工... 相似文献
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作为一种新型清洗技术,等离子清洗应用于厚膜HIC的组装阶段,可以有助于提高产品成品率和可靠性。在具有诸多优点的同时,等离子清洗技术也具有局限性,存在一定的风险,而且对于不同的应用领域需要进行适当的工艺调整。本文研究等离子清洗技术在厚膜HIC组装阶段的粘片和键合工序中的应用,通过研究制定出相应的安全、有效应用对策。 相似文献