行业信息与动态

<正> 由浙江大学光仪系研制的SPG—Ⅱ型超精密、多功能激光数字干涉仪,于最近通过了技术鉴定。该项目属机电部机械工业发展基金项目。与SPG—Ⅰ型激光数字干涉仪比较,该仪器在小型化、实用化、功能多用化、低成本方面,有较大改进。仪器还开发了光栅分辨率测试,照相物镜、显微物镜测试,非球面评价等功能,开拓了应用范围。仪器在理论上提出了用一块表面就可以从前后二次干涉图中求得光学表面的绝对面形以及利用光栅的衍射波面求得分辨率,这两项工作在国内具有独创性。     

JG—Ⅰ型激光干涉仪精度分析

以前我们把该仪器总的情况已经作了介绍,这里主要介绍一下JG—Ⅰ型激光干涉仪的精度分析。     

LDI-2激光数字波面干涉仪

<正> 富通光电工程公司新近开发出 LDI—2激光数字波面干涉仪。仪器采用独特的数字移相方法,可进行实时数字干涉测量。这种干涉仪可用于精确定量测量凹球面镜的面形误差和曲率半径。配备辅助光学件后,本仪器还可以测量凸球面、平面、非球面镜的面形误差以及光学系统的波像差等。仪器最大可测孔径达 F1.3,仪器不确定度λ/50(F4)、λ/5(F1.3)。     

双路Fabry—Perot干涉式加速度计的研究

Ｆａｂｒｙ－Ｐｅｒｏｔ干涉仪（简称Ｆ—ＰＩ）通常被用于小光谱范围和相对简单的光谱范围，然而近年来一些研究表明Ｆ—ＰＩ在超频谱范围内已完全可以和Ｍｉｃｈｅｌｓｏｎ干涉仪相媲美。［１］本文描述了一个较新的用Ｆａｂｒｙ－Ｐｅｒｏｔ干涉法和传统的加速度计相结合的仪器及其技术。它具有较小的尺寸和较高的分辨率，为测量低频微振信号提供了一种有效的仪器     

JDG—1型激光多用干涉仪

<正> 我国第一台多用途、高精度的光学测试仪器—JDG-1型激光多用干涉仪,最近在安徽光学精密机械研究所研制成功.这台仪器可用于测量光学零件的平面度、平行度、球面     

双频激光干涉仪的原理与应用（一）

双频激光干涉仪的原理与应用（一）机械部成都工具研究所（６１００５６）羡一民编者按双频激光干涉仪是在单频激光干涉仪的基础上发展的一种外差式干涉仪。被测信号载波在一个固定频差上、整个系统成为交流系统．大大提高了抗干扰能力，特别适合现场条件下使用。仪器与不...     

接触式干涉仪定格数的调整方法

有的初学量块检定的人员,对接触式干涉仪的调整,由于陌生,往往容易出现差错。本文谈一谈该仪器定格数调整的简便方法。接触式干涉仪使用前,须先进行定度,确定分划板上一个刻度间距所代表的测杆位移量。这时干涉滤光片置入光路内,用单色光调整到清晰的干涉带后,任意取一定数量的干涉条纹间隔,使它和刻度尺一定的刻度间格数相重合,以此来定刻度值。其公式为:n=λk/2i式中:n—k个干涉条纹间隔中所包含的刻度尺的刻度间隔数;λ—所用的单色光波长;i—仪器的分度值;k—干涉带条纹间隔数。这类仪器所推荐使用的i与k值列于下表:这样,根据所采用的波…     

双频激光干涉仪的原理与应用（四）

双频激光干涉仪的原理与应用（四）机械部成都工具研究所（６１００５６）羡一民三、双频激光干涉仪的派生应用双频激光干涉仪在机床检定中的应用是双频激光干涉仪的基本功能，无需对仪器作任何改动即可实现。双频激光干涉仪同时又是一种高精度的长度传感器，可以直接安装...     

用作精密测量的交流干涉仪

交流干涉仪也称锁相干涉仪,由于它的相干光路受到外界调制,输出信号就具有明显不同于普通干涉仪的交变多谐的特点。利用干涉仪的这种输出特性,在配置电子设备和微型机后,这类仪器可同时具有多种测量功能,而且测量范围大、速度快、精度高,对光学元件加工要求低(详见表一),因此成为近年来国外深受重视的精密测量仪器。下面我们结合近年来做过的一些工作对交流干涉仪的工作原理、定位精度分析及应用问题作一简单介绍。     

数字式球面干涉仪的设计与功能

本文介绍在SPG-Ⅰ和SPG-Ⅱ型数字干涉仪的基础上最近又研制成功CQG-Ⅰ数字式车间球面干涉仪的情况。菲索型的球面共心干涉系统,用立式承座支撑样板与工件,可以快速在监视器上显示光圈数;也可以在微机上显示局部误差的PV值与Rms值,测量精度为λ/20。仪器口径为φ60mm,F数为10～0.74,仪器的标准镜头引用了非球面及仪器采用双工作台,从而,使仪器的质量及功能均有提高与扩大。     

SPG-1型激光数字波面干涉仪干涉系统的设计、制造与装调

已经研制成功的SPG-1型激光数字波面干涉仪是激光技术、微机技术与干涉仪相结合而形成的一种新型光学面形的测试仪器。本文概述该仪器的设计指标及其依据,干涉系统的设计要求,设计结果,关键干涉元件的制造以及干涉系统的装调。仪器的最大口径为φ80mm,最高测量精度为λ/40,分辨率为λ/100,球面测量范围为500mm曲率半径以内.可以测量A级光学样板。干涉系统应有低的噪音、高的干涉条纹对比度及条纹亮度可调等要求。所采用的菲索型与泰曼型的干涉系统中,引入偏振元件而形成偏振干涉系统较好地满足了上述要求。仪器的自检误差优于0.04λ。为了使SPG-1型数字干涉仪及早产品化,提出了一个组合式的设计方案。     

大口径莫阿全息泰曼干涉仪

本文提出了用全息光栅作光束分束器的大口径莫阿全息泰曼干涉仪。文中采用莫阿技术消除仪器的综合误差,以莫阿条纹代替通常的双光束干涉条纹,降低了对仪器中各光学元件的精度要求,是一种高精度低成本的新颖干涉仪。     

Φ360mm激光平面干涉仪

为了强激光工程的需要 ,研究制造了一台口径 36 0 mm卧式激光平面干涉仪。仪器的测量精度为 λ/2 0 ,仪器配有 CCD相机图像处理系统 ,可目测 ,可拍摄照片 ,也可进行数字化处理。实用结果表明 ,该仪器是一台适合于光学车间生产检验的大口径高精度激光平面干涉仪。     

非旋转轴对称非球面象散分布测量

本文描述了在渐变焦眼镜片上的非旋轴对称非球面的象散分布测量方法，系统地介绍了所采用的泰曼－格林干涉仪和横向剪切干涉仪的两种测量原理与实验装置，并将这两种仪器的测量结果进行了比较。     

消背景干扰式四路接收激光干涉仪

本文介绍了一种新型单频激光干涉仪,它采用偏振分光、偏振接收技术,因而克服了一般单频激光干涉仪的缺陷。在设计中又以四路全孔径接收自动消直流,使仪器发展更完善。     

测量薄膜光学参数d的工作报告

一、工作原理: 图1是仪器的光路图。本仪器分成干涉仪和单色仪两部分。前者包括照明系统,干涉仪主体以及成象系统。后者则由狭缝、物镜L₃,L₄分光棱镜以及显微镜组成。     

16PC型傅里叶变换红外光谱仪的使用与维护

1　引　言我公司于 1 995年引进了两台美国Ｐ -Ｅ公司生产的 1 6ＰＣ型傅里叶变换红外光谱仪(ＦＴＩＲ) ,用于检测腈纶纤维中醋酸乙烯酯和油剂的含量。该仪器投入运行已有 4年 ,具有扫描速度快、灵敏度和分辨率高及数据处理功能强等优点[1 ] 。笔者在工作中积累了一些仪器使用与维护方面的经验 ,提供给大家参考。2　仪器组成和工作原理1 6ＰＣＦＴＩＲ由光学系统、数据处理系统和外部设备几大部分组成。光学系统由红外光源、迈克尔逊干涉仪和检测器组成。该仪器整机工作原理图如图 1所示。由光源发出的红外光经过准直以平行光进入干涉仪 ,经…     

用于天文非球面镜检测的计算全息数字波面干涉仪

本文介绍了南京天文仪器研制中心正在开发研究中的计算全息数字波面干涉仪,这种干涉仪将计算全息技术、补偿镜干涉技术和数字波面干涉技术有机地结合在一起,能够实现用于天文望远镜光学系统中各晨球面镜的自动、实时的高精度检测。     

超精密测量技术的应用进展

超精密加工的应用日益广泛,其加工精度和表面质量要求都很高,需要相应的超精密检测手段予以保证.激光干涉仪、光栅、X射线干涉仪、扫描探针显微术、电容电感传感器及F-P干涉仪等可以实现纳米测量并已经商品化;电容传感器、X射线干涉仪、F-P干涉仪等少数仪器分辨率可达或接近皮米级,但因其测量范围通常较小,在应用中受一定限制.文中针对几种实际应用比较成熟的激光干涉仪,就其应用领域、技术参数、功能特点等予以介绍.     

激光干涉仪打破了一微时的记录

Perkin—Elmer 公司已生产出一种新型激光干涉仪,它在测量位置变量方面已达3/4微吋(0.00000075时)的精度,因此大大地超过了以前的一微吋的精度。这种5950型仪器是一种手提式的、直接读数的二次长度标准测量仪器。其应用包括:微型电路制作中的临界尺寸的测量与控制;标度尺和刻尺制作中的测量与控制等。