电真空器件清洁处理

电真空器件要求零件和部件表面洁净度高、没有油污。研究在制造真空电子器件工艺过程中油污对电镀、钎焊和衰减材料涂覆的影响。提出采用超声加去油溶液的方式去除制管过程中的油污,确定了电真空器件的清洗工艺,保证其清洁性。降低器件表面的出气率,保证阴极发射水平和电子枪的耐压强度,提高器件的可靠性和使用寿命。     

氟里昂清洗

本文介绍一种无毒清洗剂-三氟三氯乙烷(即氟里昂113)及它的蒸汽去油的优点、清洗装置和清洗结果。 在真空系统中,降低真空零部件表面放气率是获得超高真空的重要条件。所以在真空系统的零部件安装之前,往往要对所有真空零件表面按照不同的材料,安排一定的工艺规范,进行严格的清洗处理。真空零件表面清洗有很多种方法像喷砂、三氯乙烯蒸汽去油、过氯乙烯蒸汽去油、氟里昂蒸汽去油,酸洗、在丙酮或乙醇中超声波清洗、电抛光、在950℃露点氢气中烘烤、在真空炉中烘烤,离子轰击等等。这里只着重介绍一种安全而有效的清洗方法—氟里昂113蒸汽去油…     

真空技术中的清洁处理 一

一、概述真空中的清洁处理一般指的是真空装置在装成整机前或在使用过程中进行清洁处理,去掉污染物,从而消除或减少污染物对零件的污染问题。清洁处理是否符合要求,将直接影响到系统的极限真空以及电真空器件的寿命和可靠性。真空装置由许多不同的零件组成,它们都是经过各种机械加工完成的。如车、铣、刨、磨、镗、焊接等。这样使零件表面不可避免的会沾上许多加工油脂、汗痕、抛光膏、焊剂、金属屑、油垢等污染物。这些污染物在真空中易挥发,影响真空设备的极限真空。此外,污     

冷压焊接的真空可靠性分析

电真空器件的制造过程中,在高真空烘烤排气处理后将无氧铜排气管进行封离,应用到冷压焊接。冷压焊接的真空可靠性是电真空器件能否保持真空度的最基本保证,冷压焊接是制造中可靠性要求最高的环节。本文先论述冷压焊接的重要性,然后从无氧铜排气管的选材、表面处理、冷压钳刀口形状等几方面,对影响冷压焊接的真空可靠性进行详细分析,得出提高冷压焊接的可靠性条件。     

洁净硅片在真空中加热时表面状态的XPS谱研究

用X射线电子谱（XPS）评价了由改进的RCA方法清洗，又经HF处理的洁净（111）硅片在高真空和超高真空中加低热时的表面状态。实验表时，清洗后的硅片表面沾污中的氧（O）比较少而碳（C）相对多一些，同时存在微量的氟（F）。如果清洗工艺操作得当，可望获得较干净的衬底表面。洁净的硅片在8×10-6Pa的真空中存放12h后，表面吸附的C比O增加得更快。给出了在高低真空中硅片加低热前后表面状态的变化情况，并实时检测在超高真空中加低热时表面状态的XPS谱，同时对实验结果给予分析、讨论。     

真空用R2Co17稀土钴磁柱表面净化工艺的改进

本文对R2Co17磁柱零件的表面净化工艺加以改进,采用电化学工艺,效果良好.结果表明,R2Co17稀土钴磁柱零件采用电化学净化工艺,表面残留磁粉少,表面平整光亮,更好地满足了真空器件对该零件的要求.     

电真空器件工艺中的清洁处理与安全防护问题

清洁处理与安全防护问题是电真空器件工艺中不可忽视的问题。文中论述了器件材 料和零件污染物的来源以及用物理化学进行清洁处理的方法，清洁处理时的注意事项， 特别是对化学药品的易爆、中毒、伤肤等问题作了较详细的说明。     

真空微波器件用无氧铜零件的真空存贮

零件存储是真空微波器件制造的基础条件,慢波组件一般存放于真空柜中,存放一段时间后,慢波组件中的螺旋线镀铜表面出现了发黑现象,分析表明螺旋线表面镀铜部位发生了硫化。结合进一步的实验研究和理论分析,真空柜中放置的橡胶制品导致了无氧铜材料表面发黑。在真空状态下,硫是比较容易从橡胶套中升华进入真空柜中的,从而会在真空柜中弥漫大量硫蒸气,这些硫蒸气极易与铜发生化学反应形成Cu2S,因此含硫的橡胶套不宜放入真空柜,并且在真空电子器件中也要防止使用含硫的橡胶制品接触无氧铜零件。     

第十二讲:真空工艺

1 真空材料的清洗 1.1 概述 清洗一般定义为在真空工艺进行前,先从工件或系统材料表面清除所不期望的物质的过程.真空零部件的表面清洗处理是很必要的,因为由污染物所造成的气体、蒸气源会使真空系统不能获得所要求的真空度.此外,由于污染物的存在,还会影响真空部件连接处的强度和密封性能.     

某ZTA15钛合金零件铸造表面质量异常分析

目的 以铸造表面存在黑色斑点的某ZTA15钛合金零件为研究对象,研究零件铸造表面外来物质的成分、结合方式及其形成原因。方法 利用扫描电子显微镜对零件铸造表面及截面形貌进行观察,利用能谱分析仪对零件铸造表面及截面成分进行分析。结果 零件铸造表面主要存在棕刚玉颗粒和碳黑颗粒两种外来物质,棕刚玉颗粒嵌入铸件基体,碳黑颗粒附着于铸造表面。结论 零件铸造表面黑色斑点是碳黑颗粒显示,附着于铸造表面的碳黑颗粒对零件表面质量及镀层质量有影响,碳黑颗粒产生于零件表面油污清洗不洁净真空热处理后析出,热处理前采用超声波清洗+冷水洗+热水洗+吹干的方法清洁零件,可改善零件热处理后的表面质量。