聚甲基丙烯酸甲酯LB膜用作高分辨率电子束抗蚀层的研究

应用ＬＢ技术制备了厚度为２０－１００ｎｍ的聚甲基丙烯酸甲酯（ＰＭＭＡ）超薄高分辨率电子束抗蚀层。应用改装的日产Ｓ－４５０扫描电子显微镜（ＳＥＭ），研究了ＰＭＭＡ ＬＢ膜的曝光特性和刻蚀条件。结果得到线宽０．１５μｍ的铝掩模光栅图形，表明此种超薄膜具有良好的分辨率和足够的抗蚀性。     

高Tc超导薄膜和氧化物多层膜的激光分子束外延研究

本文介绍用激光光子束外延（Ｌ－ＭＢＥ）方法，在高真空条件下外延生长ＹＢａ２Ｃｕ３Ｏ７－δ超导薄膜和ＢａＴｉＯ３铁电薄膜以及多层膜的实验结果。     

一种新型结构的LB膜化学场效应晶体管的气敏特性研究

合成了新型的有机半导体ＬＢ膜气敏材料（ＣＯＴＤＭＡＰＰ），其ＬＢ多层膜拉制在场效应晶体管上，形成了具有ＬＢ－ＯＳＦＥＴ结构的化学场效应晶体管（ＣｈｅｒｎＦＥＴ），该器件置于ＮＯ２，ＮＨ３，ＣＯ和Ｈ２Ｓ等有害气体中，结果表明在ＮＯ２气氛中元件漏电流ＩＤＳ发生变化，并可检测到２ｐｐｍ的ＮＯ２．这种器件的气敏特性在于ＦＥＴ的电流放大作用及ＬＢ膜的有序性的影响．     

宽带ISDN与ATM交换技术

本文介绍了Ｂ－ＩＳＤＮ的协议参考模型，并讨论了其中物理层、ＡＴＭ层、ＡＴＭ适配层以及高层的基本功能。给出了Ｂ－ＩＳＤＮ用户－－网络接口的基本规范，包括ＵＮＩ参考配置、Ｂ－ＩＳＤＮ物理层接口以及ＡＴＭ层的参数规定。最后详细描述了ＡＴＭ适配层的协议，包括ＡＡＬ１、ＡＡＬ３／４和ＡＡＬ５。     

基于实例学习的神经网络及其在故障诊断中的应用

介绍一 中自动从实例中获取知识的、具有高模式聚类精度的新型神经网络－－ＥＢＬ网（ｅｘａｍｐｌｅ－ｂａｓｅｄ ｌｅａｒｎｉｎｇ ｎｅｔｗｌｒｋ）,及其在故障诊断中的应用,研究结果表明：ＥＢＬ模式聚类系统可逐个 例中学习知识,并可同时给出模式识别结果及集群的信息,ＥＢＬ模式聚类系统适用于实时故障诊断。     

宽带ISDN与ATM交换技术──第二讲B－ISDN用户─网络接口和协议（上）

本文介绍了Ａ－ＩＳＤＮ的协议参考模型，并讨论了其中物理层、ＡＴＭ层、ＡＴＭ适配层以及高层的基本功能。给出了Ｂ－ＩＳＤＮ用户─网络接口（ＵＮＩ）的基本规范，包括ＵＮＩ参考配置、Ｂ－ＩＳＤＮ物理层接口以及ＡＴＭ层的参数规定。最后详细描述了ＡＴＭ适配层的协议，包括ＡＡＬ１、ＡＡＬ３／４和ＡＡＬ５。     

紫膜LB膜中的三波混频和前向相位共轭

在纯紫膜ＬＢ膜中实现了三波混频和光学前向相位共轭输出，分析了前向共轭光强度和信号光、泵浦光强度的关系，估算出了紫膜ＬＢ膜非线性折射率ｎ２＝３．８Ｘ１０－６ｍ２／Ｗ。实验还观察到了高次光学非线性输出。     

MoS_2纳米微粒LB膜摩擦过程的电镜研究

ＭｏＳ２纳米微粒ＬＢ膜摩擦过程的电镜研究＊张平余薛群基张治军徐洮杜祖亮＊＊（中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑开放研究实验室，兰州７３００００）（＊＊河南大学物理系）利用Ｌａｎｇｍｕｉｒ－Ｂｌｏｄｇｅｔ膜（ＬＢ膜）技术制备分子级超薄润滑是八十年代末...     

ZnO／ZnS复合超微粒有序组装的研究

用离子替代法制备了ＺｎＯ／ＺｎＳ复合超微粒，并且用ＬＢ膜技术进行有序组装。结果显示：ＺｎＯ／ＺｎＳ复合超微粒具有独特的性质；ＺｎＯ／ＺｎＳ超微粒／硬脂酸复合ＬＢ膜具有良好的成膜性能和层状结构以及不同于胶体的光谱特征；在适当的表面压下，ＺｎＯ／ＺｎＳ复合超微粒被组装成纳米线。     

负性双折射膜补偿的扭曲向列液晶显示器的视角

本文首先通过模拟计算的方法对近年来出现的负性双折射膜补偿扩大ＴＮ－ＬＣＤ视角的方法进行了研究，得到了补偿膜延迟值与液晶层延迟值的关系，证明双膜补偿夹心结构是最佳盒结构。并比较了负性膜补偿的ＴＮ－ＬＣＤ的视角特性与双畴模式ＴＮ－ＬＣＤ的视角特性。提出了双盒结构ＴＮ－ＬＣＤ并研究了其视角特性与实用性。计算结果还说明负性膜对ＳＴＮ－ＬＣＤ的视角也有显著的扩展作用。实验测试结果证明了计算结果的可靠性。     

A thin-membrane surface-acoustic-wave vapor-sensing device

An integrated silicon-based vapor sensor is realized with a ZnO-on-Si surface-acoustic-wave (SAW) oscillator containing an absorptive polymer located on a thinned, membrane region of the device. If the membrane thickness is comparable with or smaller than a SAW wavelength, wave energy is present at both membrane surfaces. Thus the SAW transducers and associated amplifiers can be protected by an enclosure, leaving only the polymer exposed to the ambient atmosphere. Experiments on a 30 MHz, ZnO-on-silicon thin-membrane temperature-compensated SAW oscillator for vapor sensing are described. The use of the multi-channel device for solubility parameter sensing is discussed.     

差分负载式无线无源声表面波应变传感器研究

在用声表面波(SAW)传感器直接测量应变时,易受到环境温度的干扰,将不可避免地产生力温耦合效应。针对该问题,该文提出了一种新型的外接应变传感器负载,并采用了差分结构的无线无源SAW应变传感器设计方法。传感器采用双通道SAW反射型延迟线作为无线传感系统的应答器,其中一个通道外接力容性应变片作为外接负载传感器以感知应变量,另外一个通道则外接参考负载以差分抵消测试环境温度变化的影响。该文结合耦合模理论,仿真了负载容性应变传感器电容变化引起的SAW传感系统响应特性。最后通过实验验证了这种差分负载式SAW应变传感器的可行性与有效性。     

声表面波化学战剂气体传感器的研究

介绍了声表面波气体传感器的基本工作原理和设计方法,通过SAW芯片拓扑结构、敏感膜、覆膜工艺和信号处理电路等方面的优化,研制出两种SAW化学战剂气体传感器,具有灵敏度高、响应和解吸附快,抗干扰能力强的特点。     

三维纳米线SAW气体传感器及报警器设计

该文提出了一种全新的三维纳米线结构的声表面波(SAW)气体传感器,详细阐述了谐振型SAW器件上纳米线制备与修饰改性设计,传感器信号提取电路设计及报警器设计等过程,最后研制出气体报警器样品。并利用沙林（GB）模拟剂对传感器性能指标进行了测试,该传感器的响应阈值低达2 mg/m3,响应时间仅约为20 s。结果表明,与传统二维结构的SAW气体传感器相比,三维纳米线结构的SAW气体传感器在响应阈值和响应时间上均有很大的提高。     

基于声表面波技术的变压器无线温度传感器信号处理方法

目前配电变压器的状态监测迫切需要一种无线无源的传感监测方式,而声表面波(SAW)传感器是满足此需求的重要技术手段之一。该文以用于变压器出线端测温的SAW传感器为研究对象,提出了一种SAW传感器回波信号处理流程,设计了信号去噪、频谱分析等信号处理环节。为解决同频信号对传感器测量带来的干扰问题,研究了基于奇异谱分析和独立分量分析的单通道盲源分离算法对SAW传感器的抗干扰作用,利用搭建的信号采集平台验证了该算法在信号分离和干扰抑制上的有效性。     

基于无线SAW压力传感器的FADS研究

嵌入式大气数据系统(FADS)是先进的大气数据系统。由于SAW压力传感器能进行无线测量,将无线SAW压力传感器应用于FADS,与MIMU相结合使之成为廉价的微型组合导航系统。研究了FADS的基本原理、无线双单端SAW谐振器压力传感器的基本原理以及相关应用电路模块,并利用HP Esoft软件和SAW谐振器等效电路对无线SAW压力传感器进行了仿真。研究表明,无线SAW传感器能应用到先进的大气数据系统,具有重要的应用价值。     

SAW sensor read range limitations and perspectives

Wireless monitoring systems with passive surface acoustic wave (SAW) sensors offer novel and prodigious perspectives for remote monitoring and control in harsh environments. This paper reviews the working principle of such passive sensors and their state-of-the-art behavior. All major fields of the SAW sensor require operation over a longer reading range, which is the current limitation, hindering the massive implementation of these passive devices. This foremost limitation of the SAW based sensor system occurs when the reply signal strength at the reader becomes too weak for reliable recognition and identification. SAW sensor network read range limitations and advanced techniques for its enhancement are deliberated. Deployment design to maintain the communication reliability and connectivity of the sensor/interrogators network is also discussed.     

基于石英的声表面波宽量程气压传感器研究

该文提出了一种面向航天航空飞行器宽量程压力检测的声表面波(SAW)传感器的设计方法。在犢切石英晶体上,利用半导体平面工艺设计并制作了单端对谐振型传感器,在此基础上,通过石英干法刻蚀工艺制备了压力参考腔,并构建了全石英封装的面压式传感结构。利用搭建的气压测试平台,对制备的SAW 传感器性能进行测试,测试结果表明,传感器在0~3．6 MPa量程内获得了1．36kHz/MPa的检测灵敏度,并表现出良好的线性度。     

Optimization of frequency characteristics for SAW device using apodization weighting method

To calibrate the tracing performance of the thirty meter telescope(TMT)tertiary mirror,for the special requirement of the TMT,the laser tracker is used to verify the motion.Firstly,the deviation is divided into two parts,namely,the repeatable error and the unrepeatable part.Then,based on the laser tracker,the mearturement and evalutation methods of the rigid body motion for the mirror are established,and the Monte Carol method is used to determine the accuracy of the mothod.Lastly,the mothod is applied to the turn table of a classical telescope and the residual error is about 4 arc second.The work of this paper will guide the next desgin and construction work of the thirty meter telescope tertiary mirror.     

声表面波传感器检测电路的研究

针对目前声表面波(SAW)传感器检测电路的缺点,通过对SAW传感器信号的特征分析,设计了一种简单实用的SAW传感器检测电路,降低了硬件成本。该电路利用直接数字频率合成技术产生不同的频率信号,用以激励不同谐振频率的声表面波敏感元件,在间歇收发周期从SAW传感器输出信号中提取出反映被测量的频率信号,通过对该频率的测量得到被测物理量的变化。通过对SAW传感器的温度实验,获得了传感器的温度-频率特性,在较低频率(20MHz)时检测灵敏度可达1.36kHz/℃,具有较好的一致性;在较高频率(75MHz)时检测灵敏度可达2.03kHz/℃,存在一定偏差。