半导体PVD工艺用溅射靶材诞生的故事--余姚"造靶"札记

1 前言 超大规模集成电路制造用的溅射靶材是采用超高纯度金属经特殊加工工艺生产出来的,是最终形成生产半导体必需的配线材料,半导体集成度性能的提升非常依赖于靶材技术的进步;之前,只有美国、日本等少数跨国公司具备大规模制造溅射靶材的能力,目前中国半导体工业用靶材全部依赖进口.然而在2006年1月,却传来一条震憾性的新闻,我国第一条超大规模集成电路制造用溅射靶材生产线在宁波余姚实现了批量产.据了解,这个创造历史的企业是由江丰集团宁波长城精工实业有限公司(简称长城精工)投资的,此项目的诞生与三个海归博士的回国创业也紧密的联系在一起.     

霍尼韦尔扩大用于半导体生产的靶材及相关金属材料的产能

霍尼韦尔公司电子材料部今日宣布，作为长期投资计划的一部分，公司将扩大300mm溅射靶材及相关金属材料的产能，以适应半导体行业需求的反弹。霍尼韦尔将提高靶材产量以及用于制造靶材的铜、钴、钛和钨等原材料的内部产能。此次扩大产能将有助于霍尼韦尔满足不断增长的靶材需求，     

半导体用高利用率长寿命溅射靶材的研制

半导体制造工艺中使用的高纯金属溅射靶材的利用率直接关系到靶材自身的使用寿命和芯片制作的成本,在靶材研制中需要重点关注。以晶圆制造中广泛应用的高纯铝、铜等靶材为例,介绍了溅射靶材的发展演变,并以靶材使用前后轮廓测量为基础,研究了100~300 mm晶圆制造用靶材的利用率。结果表明,常规靶材随着尺寸增加和溅射工艺的严格控制,靶材利用率减小(30%)。制备高利用率的大尺寸长寿命靶材,需对靶材的溅射面形貌和靶材厚度等方面进行结构优化设计,经优化设计后的靶材利用率最大可达到50%以上,使用寿命亦显著延长。     

集成电路产业政策上国外先进的经验和教训

美国是半导体技术的发源地。半导体发展的原始目的主要在于支持国防业和宇航业，由于这两个行业是半导体产品的主要需求者，从而决定了半导体集成电路行业发展的最初方向和性质。事实表明，美国国防部采购对美国半导体集成电路产业的早期发展具有决定性的影响，为其后来长期处于世界领先地位奠定了坚实基础。     

CT机X射线管用旋转阳极靶材市场研究与预测

阐述了CT机X射线管用旋转阳极靶材的工作原理及其常见失效形式。随着CT机市场的日渐壮大,其对旋转阳极靶材的需求将越来越大。文中从3个方面全面阐明了国内CT机X射线管用旋转阳极靶材的市场需求及其产业现状。最后,提出了整合国内旋转阳极靶材行业现有的技术力量,引进专业技术人才,自主研发的建议,以期尽快实现高质量CT机X射线管旋转阳极靶材的国产化。     

重庆成立半导体行业协会，搭建半导体产业服务平台

为实现“十一五”期间重庆市IT产业突破性的跨越式发展，加强半导体行业企业间的协作与沟通，促进重庆与其他省市、乃至世界各地在半导体产业方面的交流与合作，推进重庆市半导体产业的全面、快速发展，日前，由重庆市信息产业局牵头，多方共同努力筹建的重庆市半导体行业协正式成立。     

GSA报告揭示半导体业全球投融资与并购机遇

国际半导体产业权威行业组织全球半导体联盟（GSA）日前推出了《2007年第四季度及2007年全年度的全球半导体产业融资与财务分析报告》。该报告分别就2007年四季度及全年全球半导体产业的融资及财务状况,晶圆代工产业、EDA产业、IP产业和后端产业的经营状况,以及IPO和并购状况进行了详细的分析与阐述,是全面了解国际半导体产业投资动向和进行融资、投资及收购兼并实践的重要参考资料。     

国内半导体专用设备制造业现况

半导体专用设备制造业属于导体和集成电路的支撑产业,是半导体产业链中重要的一环,它融合了约几十个学科的高新技术,是基础研究和应用研究共同发展的产物和科学技术水平的集中表现。在我国高速发展的半导体产业中,半导体生产线的投资方兴未艾,但是,近些年了半导体生产线价格越来越贵,一条月产2万片的6英寸、8英寸、12 英寸芯片生产线,投资分别高达 2亿、10 亿和20 亿美元。巨额投资已成为制约我国微电子产业发展加速的因素。因而发展我国自己的半导体专用设备制造行业,是我国半导体行业未来发展的必由之路,建设强大的半导体专用设备制造行业符合我国成为信息强国的目标。     

贺信

<正> 中国半导体行业协会封装分会: 热烈祝贺中国半导体行业协会封装分会成立!半导体产业是关于国民经济和社会发展的战略性产业。半导体和集成电路的发展使设计、制造、封装成为半导体集成电路领域的三大支柱。我们相信封装分会的成立将充分整合行业内的资源,进一步促进中国半导体产业的繁荣发展。     

半导体行业2014迎来大年

正全球半导体行业2014迎来大年:半导体产业去库存化已至较低水平,订单回补有望使一季度淡季不淡,二季度会更好。全球半导体产业新一轮上升周期开始。中国半导体进口替代正在进行:全球半导体产业正在向中国转移(大的背景是轻晶圆模式下,欧洲、日本IDM厂商竞争力下降),半导体芯片进口替代会持续,背后的驱动力是系统厂商壮大、IC设计厂商崛起以及国内半导体产业技     

在“2006中国集成电路产业发展研讨会暨第九届中国半导体行业协会集成电路分会年会”上的致辞（摘要）

中国半导体行业协会加入世界半导体理事会是一个非常好的契机，使我国半导体行业有机会参与全球半导体产业发展的规则研究和制订，拥有了话语权。为国内半导体行业产业政策的制订起到推进作用。中国半导体行业协会在成为政府部门与企业的桥梁的同时，正成为联系国际半导体产业的纽带，为我国集成电路产业发展产生积极作用。在当时形势下，提供了现在正在执行的一个集成电路政策．就是集成电路研发基金，以促进我国集成电路产业的发展。     

中国半导体产业需要资本更需要市场观念——记翱科创始人之一,副主席兼策略总裁高秉强博士

翱科是一家成立于2000年9月的半导体产业的创业投资公司,其创办人皆为美国和亚洲著名的高科技领域的技术或管理专家,在香港、中国大陆及美国硅谷设有公司。翱科的投资对象是半导体设计公司,翱科为自己设定的使命是成为推动中国半导体设计产业的主要力量。我们予祝翱科能够实现其目标。作为一个创业投资公司,翱科为什么选择了中国市场?而且为什么选择了半导体设计这个行业?他们对中国半导体行业的前途有什么看法呢?带着这些问题我们对高秉强博士进行了采访。作为ITIC市场与技术专家,的角度高博士阐述的观点对我们很有启发,值得同此行业的管理与决策者一读。     

深圳市半导体行业协会

深圳市半导体行业协会（英文名称：Shenzhen Semiconductor Industry Association；缩写：SZSIA），是2002年由深圳主要半导体企业发起成立的半导体行业民间团体。会员包括集成电路Fandry厂、设计企业、封装测试和与半导体产业相关的媒体及配套服务等企业。协会第二届理事会于2005年10月成立，有理事成员26名。     

机遇大于挑战

尽管在年中遭遇了“非典”疫情等不利因素的袭击，对中国半导体产业的发展有一定影响，但从总的方面看，2003年我国半导体产业的发展仍旧保持了高速增长的态势，半导体元器件进出口在“非典”以后迅速恢复增长，且在目前全球半导体行业的恢复中令人瞩目。海外对中国大陆的集成电路产业的投资热潮仍在继续。随着一部分以前投资的生产线的建成，中国半导体产业的总体实力大大加强。芯片设计、芯片制造以及芯片的封装仍然是半导体行业投资发展的重点。     

政策扶持 我国发展半导体产业迎发展良机

正没有支撑产业的发展就不可能建立我国自主的半导体产业,只有半导体支撑产业形成完善的配套体系,才能推动半导体行业高速发展。我国在"十一五"规划中特别提到,要发展我国自己的半导体产业。我国半导体行业国家"十一五"发展目标包括:集成电路产业年均增长率在30%以上,到2010年将实现3000亿元的销售额,约占当时世界集成电路市场份额的8%。     

调整中整合 危机中重生 加大对半导体封测产业的整合力度

<正>1国内半导体封测业现状1.1封测业仍占据国内IC产业半壁江山在中国半导体产业的发展中,特别是近几年来随着国内本土封装测试企业的快速成长以及国外半导体公司向国内大举转移封装测试能力,中国的半导体封装测试行业更是充满生机。从产业规模看,     

加大对半导体封测产业的整合力度

1国内半导体封测业现状 1．1封测业仍占据国内IC产业半壁江山 在中国半导体产业的发展中,特别是近几年来随着国内本土封装测试企业的快速成长以及国外半导体公司向国内大举转移封装测试能力,中国的半导体封装测试行业更是充满生机。从产业规模看,封测业是国内集成电路产业的主体,其销售收入一度占产业整体规模的70％以上。     

半导体产业最大挑战:技术的选择和应用

半导体虽然是比较年轻的产业,但其却是目前知识经济的基础之一。无论经济环境如何,行业保持对发展创新产品和技术的关注能力仍然是保证半导体行业能     

全方位打造中国半导体产业整体供应链

SEMICON China2015是自中国国务院公布《国家集成电路产业发展推进纲要》以来的半导体行业盛事之一,当今世界上半导体制造领域主要的设备及材料厂商参加本次展会。SEMICON China2015见证中国半导体制造业加速发展的新历史,为中国半导体制造业未来的强盛壮大作出贡献。SEMICON China 2015展会2015年3月17~19日在上海新国际博览中心举办,     

日本新建高功率半导体激光器厂

日本滨松电子学公司投资18亿日元,在静冈县滨松市建设批量生产半导体激光器的工厂.半导体激光器主要应用于金属、机械加工产业和激光印刷等行业.批量生产可以降低产品价格,促进市场扩大.