光电伺服系统

本文提出的光电伺服系统是一种用于摄影测量仪器中的伺服机构。它能自动连续地确定立体测图仪中投影器之照明器的位置,保证照明之光轴始终对准立体量测台的中心——测标,使发光器的光轴自动对准受光器的中心。于是,量测台与照明器之间起联结作用的机械导杆被“光电空间导杆”所代替。采用此种伺服系统,不论量测台如何运动,照明器的光轴始终直接对准量测台平面的中心。光电伺服系统还可用于光电自动跟踪和光电自动照准的仪器设备中。     

空间光耦合自动对准方法与实现

空间光-单模光纤耦合的关键技术是精确定位耦合光斑在光纤端面上的位置。基于光纤偏移与空间光-单模光纤耦合效率之间的关系,研制了由二维压电陶瓷、驱动器、控制器、光电探测器及耦合透镜组成闭环控制系统,结合模拟退火算法实现空间光-光纤的自动对准耦合。理论分析了空间激光与光纤的耦合效率并阐述了模拟退火算法原理。实验结果表明:通过模拟退火算法可以在较短时间内实现耦合到最佳位置的自动对准定位,耦合效率达到了51.4%,相对于没有自动对准之前提高了6.5%。该方案切实可行,对空间光-单模光纤的自动耦合方案的研究具有重要的意义。     

一种共光路自动对准系统

强激光发射装置和光电跟踪系统中,光学器件多,光路复杂,光学机械零件位置的相对移动会使光轴平行度偏离,为此提出一种共光路自动对准系统.基于对准原理,利用激光发射光路,建立上、下行基准光束,使之分别与系统轴系、出射激光平行,并且通过自准直CCD测角仪测出上、下行光路的角偏差值,控制信号驱动快速控制反射镜,使快速控制反射镜两轴转动到角偏差为零值,实现发射激光与一级扩束系统对准及一级扩束系统与跟瞄系统之间的精密自动对准.实验结果表明,对准后的光轴平行度为5.21",快速控制反射镜的闭环精度不大于5".     

散射天线自动对准的偏差分析及校正

介绍了天线偏移损耗,对天线自动对准原理进行了简要描述,通过对天线的粗对准及精确对准这2个环节的分析,确定天线粗对精度是保证天线自动对准成功的基础和关键,通过进一步对电子罗盘、角度传感器等设备精度及天线零位偏差分析,确定了天线粗对精度取决于天线零方位与于车体方位及天线零俯仰与水平面的偏差。为保证天线自动对准的可靠实用,提出了天线校准的方法步骤。     

单模光纤熔接机三维自动对准及理论实现方法

本文介绍了单模光纤熔接机三维自动对准原理，以及三维自动对准的实现方法。     

微光信号探测对准技术

通过对光栅对准原理、结构的分析,以及在光刻设备中的实际应用,探讨微弱光电信号探测对准技术。     

分步重复自动对准光刻工艺技术研究

介绍了投影光刻机的分步重复自动对准光刻系统,分析了其工作原理;从对准标记的设计、工艺与对准的关系两方面进行了论述,阐述了采用这类自动对准系统的光刻机可能遇到的工艺问题,并提出了相应的解决措施.     

光电探测多传感器数据融合方法研究

首先分析了光电探测传感器的观测特点.简要介绍了各传感器在进行数据融合时必做的重要工作--数据对准及几种数据对准方法.重点研究了具有不同传感器测量精度的光电探测系统信息加权融合概念及融合准则.给出了每种准则下的目标跟踪算法,并进行了算法仿真.仿真结果表明,对于具有不同测量精度的传感器,选择不同的融合准则,可更为准确地预测目标飞行轨迹,大大提高目标的跟踪效果和精度.     

几种自动对准技术的比较

本文讨论了用于片子步进机自动对准系统的设计原理,提出了一些自动对准技术的实例,还包括了相关术语的汇编。     

散射通信车载站天线自动对准技术研究

主要研究散射通信车载站天线快速自动对准技术与实现。针对衰落信道的时变特性,提出了散射通信天线快速自动对准的算法研究及实现方法。在通信工程中得以实现的散射通信天线快速自动对准不需在通信设备中另外增加任何硬件设备的前提下即可实现。该设计方案简单有效、经济实用。对配备该技术的散射通信车载站进行了多次外场试验验证,均取得了良好的效果,受到用户好评。     

全自动引线键合机上的图像视觉系统

整理后的译文详细介绍了电子封装行业中使用的引线键合机的自动对准图像视觉系统 ,阐述了系统有关组成、对准技术、原理及操作界面图形。     

资讯走廊

工研院开发完成超精密对准雷射焊接系统工业技术研究院光电工业研究所开发国内第一部「超精密对准雷射焊接系统」,可用於生产光纤通信用的光电传输模组「接头式/引线式雷射二极体模组」。该系统所制作之模组品质达国际水准,国内捷耀公司并首先采用,目前光电所正积极与美国通讯元件大厂洽谈合     

电子束制版自动对准控制和校正量计算程序的设计

在用电子束曝光系统制造大规模集成电路工艺中,电子束场的线性与非线性畸变对曝光系统的对准精度有着很大影响。本文介绍的计算机软件是专为校正电子束场的线性畸变而设计的。文中叙述了电子束自动对准的必要性、对准原理、数学公式及程序的特点。实验结果表明,本程序设计原理正确,为今后用电子束曝光系统制版实现自动对准提供了理论依据。     

相位光栅自动对准技术研究

阐述了相位光栅的成象原理，以及在分步曝光机关键技术自动对准上的应用，并对自动对准光路系统和电气控制系统进行了具体分析和研究。     

图形识别与自动精密对准技术

对于微光刻领域来说,由于对准误羞和组合套刻特性正在变得愈加重要,自动对准技术以很高的成品率和相应的生产效率从根本上适应了这种局面。本文叙述了一种设计来用于(但不是局限用于)投影光刻机的自动对准系统。为了实现自动对准的目的,我们采用了一个光导摄象管来检测掩摸和片子上特殊标记的投影图像。电视信号由一台微处理机进行处理,从而通过图形识别的运算来确定对准标记的位置并进行必要的对准校正。本系统从概念上十分相似算符对准,但给出了更高的对准精度和更加适应的性能。最后讨论了计算原理和实际性能。     

基于μC/OS-II的散射天线对准系统的设计与实现

针对散射通信系统开通自动化程度较低的问题,提出了一种基于μC/OS-II的散射天线对准系统的设计方法.描述了散射天线对准系统的硬件和软件体系结构,介绍了适应散射天线对准的算法设计及对准流程,重点说明了软件系统中的任务规划和任务间通信机制,实现了散射通信系统中的天线自动对准.解决了以往手动进行天线对准时效率低、精度差的问题.     

掩模对准仪的新动向

1.前言自从半导体平面制造技术发展以来,主要使用的是接触式掩模对准仪。集成电路从大规模发展到超大规模,其集成度迅速提高。而用于制做这些器件的光学刻蚀技术也渐渐到了极限,这就促进了远紫外、软X线和电子束光刻技术的研制。另外,在提高集成度方面,对准精度有着很大的影响。为了提高对准精度,减轻劳动强度,就需要研制精度更高的自动对准装置。本文以制做2μ宽线条为前提,讨论一下近来用于远紫外及紫外曝光对准范围的令人注目的对准方法及自动对准装置。     

平面三座标光电自动对准系统

在现代电子工业中,随着超精细结构加工水平的发展,线宽为微米甚至亚微米的几何图形的制作已逐渐进入工业实用阶段,因此,对光刻时套准精度也就相应提出更高要求,例如光刻最细线宽为1微米,对准精度则不应低于±0.2～±0.25微米,目前所用常规光学对准系统,由于最终受人眼功能的限制,难以保证上述要求。本文介绍的两种光电对准系统,可分为对轮廓成象和反射目标进行自动对准,精度均优于±0.25微米,并已用于投影光刻机中代替人眼对准,这一原理同样也能用于其他超精细加工中的检测和瞄准。     

亚半微米投影光刻的自动对准技术

主要介绍了国外用于生产型亚半微米分步投影曝光机的几种自动对准技术。通过分析对比，指出了相位光栅自动对准技术是我所研制下一代分步曝光机最具吸引力的方案。     

硅光电探测器的光纤耦合和封装

一、引言光电探测器与光纤耦合是光通讯应用中的一个重要环节,本文结合 PIN 管光电探测器研制工作的具体要求,对光纤与 PIN 管的光学对准,环氧胶封装等方面的工艺及试验结果作一粗略的讨论。整个工艺流程见图1。