MEMS技术对缩小手机体积的贡献

MEMS（Micro Electrome-chanical System，即微电子机械系统）是指集微型传感器，执行器以及信号处理和控制电路、接口电路，通信和电源于一体的微型机电系统。MEMS技术是一种典型的多学科交叉的前沿性研究领域，几乎涉及到自然及工程科学的所有领域，如电子技术，机械技术，材料科学，能源科学等。[编者按]     

微型传感器家族新成员—微型接近传感器

利用MEMS(Micro Electromechanical System,微机电系统）技术制作的微型传感器是近年来传感器发展的主流之一,特点是体积小、重量轻、功耗低、功能集成度高和可靠性高等。其制造过程利用了半导体业较为成熟的工艺,能实现与之类似的大批量、高精度加工。目前,已研制出的微型传感器种类繁多,其中压力、加速度、磁(霍尔效应）、温度、光学(CCD)等传感器已有成熟商品问世。本文则将以Xiaofeng Yang (Advanced Micro Machines公司）等人研制的一种单片式传感器为例,介绍微型接近传感器这一微型传感器家族的新成员。用途及基本原理这…     

多孔硅微细加工及其在微型传感器中的应用（二）

多孔硅微细加工的压阻压力传感器 微型压力传感器是在60年代末出现的,微细加工技术就是从此开始发展的。上面所述的各向异性化学腐蚀、电化学腐蚀和硅片直接融结等都已用来制造微型压阻压力传感器。微型压阻压力传感器尚需解决的问题是制造工艺太复杂、生产成本太高以及不易制造高灵敏的微压传感器等。针对这种情况,本文     

微型传感器及纳米传感器

综述了微型传感器及内米传感器的发展现状，叙述了微型传感器技术的发展趋势及其关键技术，并介绍了微型传感器技术在军事领域中的应用情况。     

微型传感器及纳米传感器

综述了微型传感器及纳米传感器的发展现状，叙述了微型传感器技术的发展趋势及其关键技术，并介绍了微型传感器技术在军事领域中的应用情况。     

微型传感器市场看涨 消费无线成新热点

采用新型技术与工艺的微型传感器,拓展了应用领域,满足了更高的要求,成为推动传感市场发展的动力。据有关报告显示,2008年全球传感器市场规模为506亿美元,而到2010年预计全球传感器市场则可达600亿美元以上。近些年来,与半导体工艺的融合成为推动传感器发展的一个重要动力,这种融合使传感器的性能更加强大,而体积却越来越小,催生出微型传感器。     

欧姆龙

接插件式（变调光）微型光电传感器;智能传感器;[编按]     

光微型加工

当制作微系统(如将微型传感器或微执行元件等集成化的微机械)时,只用半导体集成电路制造技术是不够的,还需要有制作立体机械结构的技术以及将制作的微型传感器等器件立体配置固定的技术.这些机械结构体,因微细而容易损坏,容易受表面张力的影响,故适合用化学气相沉积或光激励蚀刻等的加工技术.为此目的需要(1)进行高速加工;(2)需有进行定位或观察加工状态的方法;(3)进行试样的移动和旋转等.因此,需要冷却基板,以形成原料气体的冷凝层,同时,还需要设计观察光学系统.本文介绍光微型加工技术.     

利用LIGA工艺研制的微型流体器件

德国的卡尔斯鲁厄研究中心(FK)的微小结构体研究所,积极地进行有关微系统技术的研究.因为LIGA同时利用光制造技术和金属蒸镀技术,所以可制作三维微小结构体,它是一种近于实用化的技术.FK利用这种技术制作微泵、微阀、微型透平、微型传感器以及微型流体器件之类的部件,并将这些器件组装起来制成微型流体仪器系统,该系统主要用于生物体中,也可应用于微型化学分析系统.     

未来无线通信新领域--传感器网络

随着传感器技术、嵌入式计算技术、分布式信息处理技术和无线通信技术的飞速发展和日益成熟,出现了具有感知、计算、处理和无线通信能力的微型传感器.而由这些微型传感器所构成的传感器网络(SN)也引起了人们极大的关注.     

基于有源像元传感器的多用途微型跟踪器

在恒星跟踪器和目标跟踪器等应用方面,一种新式的敏感光子的成像列阵,即有源像元传感器(APS),已成为CCD成像器的竞争对手.美国喷气推进实验室(JPL)承包了一个研制计划,即研制新一代高集成度的、基于有源像元传感器的多用途跟踪器--可编程智能微型跟踪器(PIM).为了增强有源像元传感器所固有的优势,该实验室对用于可编程智能微型跟踪器的支持硬件进行了仔细的选择.为了执行恒星识别、恒星跟踪、姿态测定、空间对接、特征跟踪、用于着陆控制的下降成像、目标跟踪等功能,可编程智能微型跟踪器具有适当的计算能力.这种微型跟踪器的第一个模型使用的是由喷气推进实验室研制的256×256元有源像元传感器和一个先进的32bitRISC微控制器.由于有源像元传感器与微控制器的结合具有独特的优点,微型跟踪器的重量和功耗同具有目前工艺水平的恒星跟踪器相比将减小一个数量级.微型跟踪器还将增加可编程序的优点以便能够执行对各种恒星以及其它一些天体和目标的跟踪任务.可编程智能微型跟踪器已经证明其设计原理在空间应用方面的效用,现正在验证用这种集成方法来制造新一代高性能多用途跟踪仪器的功效以便用它们来执行未来的各种空间任务.     

微电子机械系统

概述了微电子机械系统（MEMS）的特点,理论和技术基础。详细介绍了微型传感器、微型执行器、微型光机电系统（MOEMS）、微型生物化学芯片、微型机器人、微型飞行器、微型动力系统和纳米电子机械系统等主要MEMS器件和系统及这些器件在个人运载工具导航、系统监控与故障预防、环境感知、小型分析仪、生物医疗器械和航空航天等领域的应用,最后简述了MEMS技术的发展趋势与我国的发展现状。     

多孔硅微细加工及其在微型传感器中的应用（一）

我们正面临着一场新的技术革命,微细加工和微型器件就是这场革命的主题。随着微细加工技术的飞速进步和微型器件的大量涌现,国民经济和科技研究的各部门都在发生深刻变化。根据这种迅猛发展的势头,人们有理由预言,微细加工和微型器件在今后几十年内改变世界面貌,就像微电子技术在前几十年内改变世界面貌那样巨大。 所谓微细加工就是用硅作材料或在硅片上制造各种微型的机械零部件,因此硅的加工技术和集成电路制造技术是微细加工产生和发展的基础。用微细加工制造的微结构种类很多,最常见的有梁、膜、沟槽、喷嘴、腔体、     

微型硅加速度传感器

介绍微型硅加速度传感器的研制概况，阐述微型硅电容式加速度传感器的工作原理、制作工艺技术，并对封装后的测试结果进行分析与探讨。     

基于Labview的微型电场传感器自动标定系统

针对微型电场传感器输出信号弱(pA量级)、噪声强等特点,设计了一种新型的传感器微弱信号检测与标定测试系统。该系统采用Labview可视化编程语言,实现传感器的采集控制和信号处理,并基于新型的相关检测和噪声抑制技术,可实现信噪比达到-60dB的信号提取,通过加载相关测试模块,可进一步测得传感器的静态及动态指标,并谱出动态响应曲线。     

微型传感器在汽车中的应用

本文简要分析了目前微型传感器在汽车中的应用情况,并对下一步的发展趋势进行了预测.     

微型全化学分析系统

分析化学、传感器技术和微机械加工相结合，产生了微型全化学分析系统，它是全新概念的化学传感器，具有较好的选择性并能实现准实时监控。色谱分离是系统中的关键技术，毛细区带电泳法最适于微型化。     

微型传感器在汽车中的应用

本文简要分析了目前微型传感器在汽车中的应用情况，并对下一步的发展趋势进行了预测。     

微型传感器在汽车中的应用

本文简要分析了目前微型传感器在汽车中的应用情况，并对下一步的发展趋势进行了预测。     

基于MEMS技术的微型电场传感器设计与仿真

报道了一种新型的基于MEMS技术的微型电场传感器。该传感器采用半导体微加工工艺制备 ,具有体积小、重量轻、功耗低等优点。阐述了传感器的工作原理 ,描述了设计方案 ,介绍了计算机模拟仿真结果