图形发生器的成像系统

为实现电子束曝光机扫描场的线性畸变校正,设计了图形发生器的成像系统,该系统包括硬件和软件两部分。硬件设计上使用了高速、高精度模数转换器,并对其工作方式及图像采集流程做了具体阐述。软件设计上利用点阵成像的原理,把采集到的图像信号转变成相应的灰度值,并按点阵排列,将最终获得的图像显示在计算机屏幕上,以实现校正。同时还给出了对图像进行局部放大的方法及计算公式。实验证明,该成像系统工作正常,可以获得清晰的图像。     

聚焦离子束系统中图形发生及自动套准系统的研究

本文描述了一种用于聚焦离子束系统的图形发生器和自动套准系统的研究和实现，并探讨了发展和改进的方向。该系统采用硬件实现扫描控制和坐标变换。在我们的实验条件下，实现了单场扫描２秒钟，套准计算４秒钟，该系统同样也适用于电子束曝光机系统 。     

电子束曝光机特殊图形辅助发生器

介绍电子束曝光机的图形发生器系统中用以解决硬件化高速扫描特殊图形和硬件过于复杂的特殊图形辅助发生器，叙述了它的工作原理，硬件配置和软件设计及特殊图形的描述参数和计算公式。     

电子束扫描图形发生器数据压缩技术

本文介绍了在扫描电子束曝光机的计算机控制系统中,对半导体器件、电路掩模图的常用数据压缩处理技术,并由此导出了相应的图形发生器逻辑电路的设计方法。在电子束曝光机的计算机控制方面,有实用意义。     

电子束投影复印曝光机

本文介绍电子束投影复印曝光机的结构和性能。此复印曝光机的特点是采用电子束能够同时曝光大面积的图形,复印图形的面积为φ50毫米,最高分辨率为0.5微米。此复印曝光机可在半导体技术中用于复制高分辨率的掩模版和制作声表面波器件,光栅器件等。     

一种新的电子束曝光机中间图形及其数据格式

在一种新的电子束曝光机二次曲线单元图的基础上定义了一种中间图形数据格式。该数据格式是为了将版图制造业标准数据格式转换为电子束曝光机专用数据格式服务的。它采用Niklans Wirth的表示方法进行定义，消除了二义性。经过实验性的程序验证，它不仅能很好地解决版图制造业标准数据格式不支持二次曲线的问题，而且图形设计人员可以直接以该数据作为标准，进行曝光图形的设计与存储。该数据格式的出现，为二次曲线单元图形在电子束曝光技术中的广泛应用奠定了良好的基础。     

基于TMS320C6713的电子束曝光机图形发生器的硬件设计

提出了一套功能较为完备的新型扫描电子束曝光机图形发生器的硬件设计方案.方案采用TMS320C6713芯片作为核心单元,并由USB2.0接口电路、存储器扩展电路、标记检测控制电路、曝光控制电路和束闸控制电路构成.方案具有数据处理能力强、速度快、接口方便等优势,克服了传统图形发生器单纯依靠软件完成、速度慢、精度低、工作不稳定的缺点.     

纳米级电子束曝光机用图形发生器

为满足纳米级电子束曝光系统的要求，设计了高速图形发生器。该图形发生器包括硬件和软件两部分。硬件方面主要是利用高性能数字信号处理器(DSP)将要曝光的单元图形拆分成线条和点，然后通过优化设计的数模转换电路，将数字量转化成高精度的模拟量，驱动扫描电镜的偏转器，实现电子束的扫描。通过图形发生器还可以对标准样片进行图像采集以及扫描场的校正。配合精密定位的工件台和激光干涉仪，还可以实现曝光场的拼接和套刻。利用配套软件可以新建或导入通用格式的曝光图形，进行曝光参数设置、图形修正、图形分割、临近效应修正等工作，完成曝光图形的准备。结果表明，该图形发生器能够与整个纳米级电子束曝光系统协调工作，刻画出纳米级的图形。     

DJ—2可变矩形电子束曝光机

电子束曝光机用于制造超大规模集成电路掩模版。它由电子光学柱、工件台、图形发生器、计算机及控制系统组成。可变矩形电子束曝光机,具有生产效率高,图形产生灵活等优点。束斑形状的变化是通过投影两个方光栏的象来实现的,用静电偏转的方法把第一方光栏的象相对于第二方光栏移动,两者重合组成的矩形象经缩小并投身到工件台上得到一个可变的矩形束斑。     

亚微米电子束曝光机工件台控制系统

激光工件台是电子束曝光机关键部件之一。它主要任务是完成图形的拼接。本文描述双频激光干涉仪为测量系统的计算机控制的数字伺服系统以及真空条件下的Ｘ－Ｙ工件台。该系统用于亚微米圆形矢量扫描电子束曝光机中。     

一种零电压开关Zeta变换器的设计

给出了一种零电压开关Zeta变换器,这种变换器可以提高效率和减小功率开关管的电压应力.当变换器工作在连续模式时,应用谐振电容和变压器的漏感实现功率开关管的零电压导通.详细分析了变换器的工作原理,并设计了相应的电路进行验证.仿真结果表明所设计的Zeta变换器效率达92.21%,输出电压纹波为125 mV.它可被用于等离子显示屏(PDP)电源系统.     

基于FPGA和STM32的空管雷达数据协议转换器设计

雷达数据协议转换器是空管多雷达处理系统的重要组成部分。它将多路HDLC协议的雷达数据转换成单路IP数据,然后传入多雷达数据处理系统,避免系统为引接多路雷达数据而安装多个HDLC串口卡,较少的接线提高了系统可靠性。该设计提出了一种基于FPGA+STM32的雷达数据协议转换器设计方案,利用FPGA在并行处理方面的优势实现多路HDLC雷达数据的实时采集,FPGA与STM32之间采用串口协议进行通信,由STM32控制W5500以太网芯片完成数据的协议转换。最后,通过实验验证了该设计的可行性和有效性。     

一种BIN码与BCD码转换电路的设计与实现

二进制（BIN）码与二-十进制（BCD）码的互换在许多测控领域有大量应用，但大多以软件方式实现。本文根据一种新的以简单移位为基础的转换算法，设计了一个二进制（BIN）码与二-十进制（BCD）码转换电路，该电路具有结构简单、模块性好、易于扩展、转换速度高节特点。用VHDL语言描述了整个设计，并在Ahera＆EPF10K10LC84—3芯片上实现了该转簇电路。     

System management of a wind-energy converter

Wind energy converters are commonly used in converting wind energy into useful mechanical and electrical energies. But the problems of smooth start, tower effect and oscillations caused by aerodynamic forces acting on the rotor cause fluctuations in its power output. A system management was designed to reduce these effects. It consists of a microcontroller. This was verified with the help of laboratory test bench model of a wind energy converter driving an asynchronous generator. The model was a direct replication of a real wind energy converter and was designed with the help of a wind rotor simulator program. The aerodynamic data for the test were obtained from the rotor blade profile of real equipment (Ventis 100). The microcontroller was programmed with a selected power control method. The test showed that the system management compensates the power fluctuations and enables the smooth start of the wind energy converter. Furthermore, it quickly shuts off the wind energy converter in stormy and calm periods     

集成双层平面电感的单片DC/DC转换器设计

采用0.35μm标准CMOS工艺设计了3.3V/1.5V单片低压Buck转换器,开关频率为150MHz.本文采用了电压型脉宽调制的反馈控制模式,克服了频率提高所带来的转换器系统不稳定问题.对双层平面螺旋电感进行了设计与优化,获得品质因数2.6,电感值28nH的双层平面电感.模拟结果表明,对应于不同输入电压或不同负载,转换器系统工作稳定,输入调整率-40dB,输出调整率-60dB.输出电压纹波平均值可以控制在额定值75mV,转换效率71%.     

An 80-V integrated boost converter for piezoelectric actuators in smartphones

A boost converter for piezoelectric actuator driving system in haptic smartphones is proposed and implemented using a 0.35 μm BCDMOS process. The designed boost converter generates extremely high output voltage from a low-voltage battery supply. The boost converter provides stable power for the piezoelectric actuator with the peak-current control technique. The minimum variation of the output ripple variation can be achieved by the designed current-sensing and peak-current control circuits. The supply voltage of the boost converter is 2.7–4.2 V and the maximum output voltage is up to 80 V. The complete piezoelectric actuator driving system consists of a serial interface, SRAM, and signal-shaping logic as well as the boost converter. It also includes the resistor-string digital-to-analog converter and high voltage piezoelectric actuator driver (PZ driver). The fabricated chip size is 2,100 × 2,200 μm, including bonding pads.     

扫描电镜用图像采集系统的设计

介绍了一种用FPGA（现场可编程门阵列）技术设计的新型图像采集系统,该系统可用于改进图像采集功能欠缺的老型号扫描电镜.设计方案采用可编程芯片FP-GA对系统进行逻辑控制,编写不同的程序即可广泛应用于其他图像的采集.选用TI公司的ADSl606作为模数转换的核心芯片,介绍了ADSl606的输入驱动电路、参考源电路以及为其设计的仪表放大调整电路,并给出了FPGA的控制工作流程和用Verilog HDL（硬件描述语言）编写的部分程序.同时,还对电路设计的注意事项做了详细的说明.     

雷达伺服系统调试用虚拟摇摆平台的设计

应用多功能卡、数字-旋转变压器转换器及虚拟仪器等技术,设计了雷达伺服系统调试虚拟摇摆平台,用硬件电路及计算机软件来代替机电摇摆平台给雷达伺服系统提供等效正弦摇摆运动的实时角位置和角速度信号,具有更高的精度和性价比,为雷达伺服系统的调试带来很大的便利。     

基于圆感应同步器的高精度角度测量系统

为了实现对角度的高精度测量,设计并实现了一种达到16位高分辨率,并且数字信号能稳定输出的圆感应同步器角度测量系统.根据圆感应同步器和轴角数字转换器的工作原理,对系统的核心器件AD2S80A芯片的外围元件参数进行了合理优化,并且设计了一种高精度、低噪声的前置放大电路提高系统的抗干扰性能.实验结果表明系统显示角度分辨率为0.1",角度测量误差为±0.3",达到设计要求.     

多接口协议转换器的设计与实现

随着工业控制的进一步发展,多个设备之间的信息共享和数据交换成为一种趋势,而目前常用的工控设备通信接口有RS-232、RS-485、CAN和网络,由于各接口协议不同,使得异构网络之间的操作和信息交换难以进行,通过多协议转换器可以将不同接口设备组网,实现设备间的互操作。本文介绍了以DS80C400微处理器为核心的多接口协议转换器的设计和实现。针对系统功能,着重对软件设计进行了分析。并提出利用JavaApplet和Socket（套接字）实现协议转换器的参数配置,该协议转换器已运用于某系统,试运行效果良好。