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概述了薄膜晶体管液晶显示器基本结构与原理。着重分析比较非晶硅与多晶硅薄膜晶体管的工艺、成本的区别。提出了应大力发展低温多晶硅薄膜晶体管技术,以适应下世纪大屏幕高清晰度液晶显示终端的需求。 相似文献
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有源矩阵液晶显示的进展 总被引:4,自引:0,他引:4
在分析了无源矩阵驱动的局限性的基础上,叙述和比较了MIM薄膜二极管和a-Si薄膜晶体管有源矩阵液晶显示的结构、工作原理和特性,并讨论了它们的进展与发展方向。 相似文献
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Poly—Si TFT制备工艺 总被引:2,自引:0,他引:2
在有源矩阵液晶显示中,目前倍受重视的应数多晶硅有源矩阵液晶显示技术,本文较详细地给出了高温多晶硅薄膜晶体管的制备工艺及其特性,并分析讨论了制备条件对多晶硅薄膜晶体管各种参数的影响。 相似文献
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本文首先就用来制造有源矩阵液晶显示器的非晶硅和多晶硅材料作了性能比较,然后描述了多晶硅薄膜晶体管阵列的制造方法,以及在制造方法上取得的进展。 相似文献
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ZnO基薄膜晶体管的研究 总被引:2,自引:1,他引:1
ZnO是一种宽带隙的光电半导体材料,能应用于很多领域,如可用在压敏变阻器、声表面波器件、气敏元件、紫外光探测等。ZnO也可以作为有源层应用于薄膜晶体管(TFT)中。ZnO基薄膜晶体管具有以下突出优势:对于可见光部分平均具有80%以上的透射率,迁移率可以高达36cm2/V·s,开/关电流比大于106,可在较低温度(甚至室温)下制备。基于这些优点,ZnOTFT具有取代有源矩阵液晶显示器中常规a-SiTFT的趋势。同时对ZnOTFT的研究也推动了透明电子学的发展。本文阐述了ZnOTFT优越的电学性能,指出了其目前尚存在的不足,并对其发展前景进行了展望。 相似文献