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微机械加工技术与微传感器 总被引:1,自引:0,他引:1
传感技术的一个重要发展方向是传感器的微型化,微机械加工技术同昌硅微传感器的基础工艺技术,也是制作微执行器和微电子机械系统的基础工艺技术。本介绍微机械加工技术的概况以及采用微机械加工技术研制的几种微传感器。 相似文献
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军事应用中的微组装技术 总被引:2,自引:0,他引:2
现代电子技术的飞速发展,要求新一代电子产品朝着微型化、轻型化、多功能、高集成、高可靠方向发展。因此,当前电子厂家都追求高密度封装来满足较小较轻和较高功能产品的要求,从而越来越多地把注意力集中到第五代组装技术-微电子组装技术(MPT),简称为微组装技术。本文首先阐述发展微组装技术的必要性,然后着重论述了微组装的设计、片式元器件及其基础材料的加工、多层基板、表面安装和微型焊接、检测和可靠性五大基本技术 相似文献
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随着人们对生活品质要求的提高,声障患者用耳内助听器的微型化、低功耗、无线化需求推动着微电子封装在该领域的技术进步。对现代助听器中涉及的微系统技术及这些技术给数字助听器带来的变革进行了调研。MEMS麦克风和扬声器技术,处理器、存储器芯片等IC堆叠采用的TSV技术,用于助听器连接智能手机的蓝牙天线Ai P技术,这些微系统技术有的已成熟应用于微型化数字助听器,有的还在进行不断的尝试以期早日应用于现代数字助听器中。数字助听器的发展要求微系统技术不断取得突破,微系统技术上的新材料、新方法、新工艺进步在微型数字助听器上得到了完美的展现。 相似文献
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微系统技术发展和应用 总被引:1,自引:0,他引:1
作为军事装备自主可控和信息化武器系统微型化、集成化、智能化发展的重要支撑,微系统技术在军事竞争中具有重要的战略意义,受到国外军事强国的高度重视,被美国国防先期研究计划局列为战略发展重点,并设立专门办公室加强技术研究和应用开发,不断加快微系统的发展,推进在武器装备系统中的应用。文中从微系统研究项目、元器件技术、集成技术、算法与架构、热管理技术等方面介绍了国外微系统发展现状,描述了微系统在雷达、通信、电子战等领域的应用情况,分析了微系统技术发展方向和研究重点,提出了我国发展微系统技术的建议。 相似文献
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微光机电系统技术是在微机电系统技术基础之上发展起来的具有多种学科交叉融合特征的前沿高新技术,在该技术上建立的微感知技术是未来微系统技术的核心技术之一.由于微感知技术具有微型化、集成化和智能化的特点,未来在国防军工、精密仪器、特殊工业,以及环境检测等领域将有广泛的应用前景.首先描述了微感知技术的技术特征,同时对当前国内外的微感知技术研究情况进行了介绍,总结了微光机电系统的几个亟待突破的技术问题,并指出了微感知技术面临的挑战.通过对发展微感知技术需要关注问题的思考,对我国微感知技术的发展提出了建议. 相似文献
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微系统技术基于微机械加工技术以及集成电路工艺方法,具有微型化、集成化、智能化、成本低、性能高、可大批量生产等优点。概述了微系统的组成和工作原理,介绍了国内外微系统技术的历史、发展现状和产业分布格局,着重阐述了几种重要的微结构加工技术,分析了湿法刻蚀、干法深刻蚀、表面加工技术、键合、LIGA技术、纳米压印技术以及高深宽比制造技术的原理、各自特点以及制造工艺手段,并结合目前微型器件的产品应用分析了各种技术的优势,对于微系统技术的研究具有一定价值。 相似文献
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国网公司在2013年底颁布了微功率无线互联互通标准,统一和规范了微功率无线技术标准,并开始在全国大力推广该技术方案.本文对微功率无线通信常见问题解决办法进行浅析. 相似文献
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首先介绍了微能源的几种类型,比较了不同类型微能源的优缺点。振动式微能源具有体积小、重量轻、能量密度高、寿命长、无污染和对环境适应性强等优点,详细描述了静电转换型、电磁转换型和压电转换型三种振动驱动微能源技术的原理和特点。系统综述了三种振动驱动微能源技术的国内外研究现状,包括微能源的结构和采集、存储电路。分析了其存在的技术和应用瓶颈问题,例如微能源使用的材料和结构不完善、转换效率较低、微加工和微装配技术不成熟、难以应用于实际环境、振动环境对其寿命的影响等问题,并且展望了微能源未来的发展趋势。 相似文献
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随着微波系统大功率、超宽带的发展,对功率分配/合成结构的性能提出了更高的要求,超宽带、低损耗、小尺寸、易于集成的功分器成为研究热点。基于微电子机械系统(MEMS)工艺的微同轴射频传输线具有超宽带、无色散、低损耗和高隔离度等特点,使用微同轴工艺制备的功分器具有超宽带、低损耗、易于集成、小型化和可移植性好等特点。仿真并制作了一款微同轴一分二功分器。测试结果表明,在6~18GHz内插入损耗小于0.3dB,功分器体积为3mm×5.85mm×0.5mm,功率容量不小于100W。通过包金带的方式装配了功分器的背靠背结构。测试结果表明,背靠背结构损耗与预期损耗相符。为微同轴功分器在100W有源功放组件中的应用奠定了基础。 相似文献
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针对超声电机与压电微驱动器对驱动电源的要求,设计出一种既能驱动超声电机又能驱动压电微驱动器的驱动电源,该驱动电源由可调变压器、半桥模块及以高性能数字信号处理(DSP)芯片TMS320F28335为核心的控制器组成。该电源驱动超声电机时,电源输出相位差、频率均较大范围连续可调的二相超声频率交流电;驱动压电驱动器时,电源输出较大范围连续可调的直流电。对行波型旋转超声电机及钹型压电驱动器的系列驱动试验表明该电源能同时满足超声电机和压电驱动器的驱动要求。 相似文献
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提出了基于双同步斩波模式的微功耗LED声控灯驱动电源设计方法。该驱动电源用一个单片机控制两个开关管分别为主电源和待机电源提供工作电流。主电源采用全波斩波工作模式为LED灯组提供工作电流;待机电源采用半波斩波工作模式,从而大幅降低了待机功耗。该驱动电源结构简单,可在50~60 Hz频率的180~250 V的宽电压范围内工作,具有恒流驱动功能和微功耗特性,且稳定可靠和较高的性价比。 相似文献
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A novel porous micro heat sink system is presented for thermal management of high power LEDs, which has high heat transport capability. The operational principle and heat transfer characteristics of porous micro heat sink are analyzed. Numerical model for the micro heat sink is developed to describe liquid flow and heat transfer based on the local thermal equilibrium of porous media, and it is solved with SIMPLE algorithm. The numerical results show that the heated surface temperature of porous micro heat sink is low at high heat fluxes and is much less than the bearable temperature level of LED chips. The heat transfer coefficient of heat sink is very high, and increasing the liquid velocity can enhance the average heat transfer coefficient. The overall pressure loss of heat sink system increases with the increasing the inlet velocity, but the overall pressure drop is much less than the pumping pressure provided by micro pump. The micro heat sink has good performance for thermal management of high power LEDs, and it can improve the reliability and life of LEDs. 相似文献