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1.前言近几年来在半导体制造业中使用离子注入工艺已显著增加。这一迅速增长的主要因素是在注入工艺中采用光刻胶作掩蔽。最大分辨率是由正胶,即光刻时暴露在其中的部分显影时被去掉的那种胶取得的。通常,正胶对于温度相当敏感,在注入中过高的温度会使光刻胶产生气泡,改变临界尺寸并在其后工艺中使胶难以去除。大多数光刻胶在100℃以下不受影响。注入时几乎没有什么正胶能经得起150℃以上的温度。 相似文献
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离子注入过程中,注入离子在掩模边缘附近的分布决定MOS晶体管漏极区域处的电场强度,计算了70keV硼离子注入硅样品中不同掩模边缘离子密度等线,考虑了四阶矩下的杂质深度分布(无掩模情况)。合理选择掩模蚀刻工艺,可获得均匀性,高抗噪声度的器件中。同时也指出了太薄掩模材料对注入离子分布的影响。 相似文献
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微电子制造科学与技术计划中的光刻工艺研究 总被引:1,自引:0,他引:1
微电子制造科学与技术(MMST)计划中光刻工艺研究的主要对象是光学步进式光刻机,包括i-线(365nm)和激发物激光深紫外线(248nm)光刻机。对于多数图形层,采用普通的光刻胶加温法显形;而对关键的栅和金属层,则采用扩散-增强甲硅烷基化光刻胶(DESIRE)工艺的表面成像干法显形光刻胶。在光刻工艺过程中,如果对所有关键工序,特别是曝光,都用实时传感器进行监控,即可达到对工艺控制实现完全自动化这一 相似文献
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本文改进和发展了硅中二维离子注入、离子注入退火及高剂量氧注入分布模型;处理了多次注入、多层掩蔽、多种材料掩蔽及多种掩模边缘;在此基础上给出了适用于VLSI工艺的多功能、实用化二维离子注入模拟器FUTIS。通过与其它工艺模型、模拟器及实验比较,表明FUTIS在精度上有明显改进,在功能上有很大扩展,是一种能适应当今VLSI工艺发展要求的先进的离子注入模拟器。 相似文献
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日本电气公司最近研制采用离子注入法制作高精度掩模版的技术,去年12月已在华盛顿举行的国际电子器件会议上发表。在集成电路和LSI制造工艺中,用于光刻工艺的掩模版是使用银乳剂的乳胶掩模和使用金属铬、氧化铬、氧化铁等金属或金属氧化物形成暗区的所谓硬掩模。采用贴紧或者投影的方法,让这些光掩模与涂敷了光刻胶的硅片相叠合,并用紫外线曝光,经过显影,光掩模上的电路图形就复印在硅片上。由于乳胶掩模使用了卤化银, 相似文献
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本文利用与退火条件有关的离子注入杂质分布,得到了在硅中硼离子注入退火条件对载流子表面迁移率的影响。还得到了硼离子注入薄层电阻与注入条件及退火情况的关系。在这些关系中,注入剂量对迁移率及薄层电阻有最主要的影响。这些结果可在设计和制造VLSI中用以确定工艺条件。 相似文献
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干法去胶是用等离子体将光刻胶剥除,相对于湿法去胶,干法去胶的效果更好、速度更快.在现代集成电路制造中,干法去胶工艺加氟可有效地提高去除光刻胶的能力,特别是在离子注入之后的去胶工艺,含氟气体产生的氟离子可以防止光刻胶硬化.但在后段干法去胶工艺中,由于含氟气体的引入,会产生一系列的问题.因此,文中提出了对去胶气体组合配比进... 相似文献
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胡志勇 《现代表面贴装资讯》2007,6(1):57-60
我们在实施晶片的前段工艺处理(front-end-of-line简称FEOL)和后段工艺处理(back—end—of-1ine简称BEOL)的时候,往往需要采取无数次的清洗操作步骤。清洗的次数多少取决于晶片的设计和所需要的互连层数。实施清洗工艺的目的不仅是要剥离晶片表面的光刻胶,还要考虑去除各种复杂的蚀刻残余物质、金属颗粒物,以及其它的污染物,为此需要不断探索新的、更加精细的化学试剂。在考虑这些工艺操作的时候, 相似文献