多元红外探测器元内均匀性扫描测试系统

针对多元红外探测器元内均匀性参数测试需求,研究开发了一套红外小光点扫描测试系统,主要由红外点光源汇聚成像光学系统、视觉辅助对准系统和精密六自由度扫描工作台以及数据采集与处理系统构成.该系统获得了高质量微米尺度的红外小光点,可精确实现小光点与探测器的感光面的对准,并自动完成多元红外探测器各个元元内均匀性的测试.针对某型号探测器的测试实验表明,该系统具有高的测试效率,较好的测量少度和稳定性.     

双面对准曝光中关键技术研究

对双面曝光技术中的对准方式、曝光光源系统、对准工作台等关键技术进行了研究 ,并通过多年工作实践经验 ,对对准工作台的精度分析作了论述。     

红外激光与微水束耦合对准工艺研究

红外激光与微水束耦合划切技术是激光划切应用的前沿领域,在硅晶圆、宝石、陶瓷等材料高精度切割方面具有优势,有效地减小了材料的热损伤和熔渣残留。红外激光束与微水束的耦合对准是研究的关键技术。为保证微水束光纤与激光光束耦合的效果,本文设计了高精度三维耦合对准调整结构,结构主要由准直聚焦光路系统、微孔CCD观测系统、二维微位移平台、耦合装置组成；研究了汇聚激光焦平面与微水束起始端(喷口元件)共面调整的关键工艺和激光光束与喷口元件对准的关键工艺；提出了借助屏幕十字线实现两次对准的工艺方法。经试验验证,微水束耦合激光长度稳定,质量良好,可实现对硅基衬底晶圆等材料的高效无损、高精密划切。     

折射式红外平行光管设计

针对导弹红外成像系统调试和测试的需要,设计了一种折射式红外平行光管。平行光管由准直物镜、红外靶、红外靶温度控制系统和镜筒等部分组成。准直物镜采用柯克3片式结构,且为像方远心光路,红外靶由镂空的铜板靶面和靶面后面的黑体组成,红外靶控制系统控制红外靶温差在0.2~8℃可调。对准直物镜的成像质量进行了分析,并给出了红外靶温度控制原理图。     

KLA-221掩模缺陷自动检测仪简介

本文简要介绍了KLA-221掩模版缺陷检查仪的组成,对其电控部分的头放大器、伺服系统,自动聚焦系统和对准系统的整体考虑及采用的技术作了较详尽的叙述。     

以AOTF为核心的在线光谱测量系统的研制

概述了声光可调谐滤光器（AOTF）的基本色散原理，详细介绍了以AOTF为色散元件的红外光谱测量系统的组成以及采用聚苯乙烯作样品测量结果。文中对准直发射系统、聚焦接收系统的设计进行了详细分析并提出工作距离的概念和设计要求，与此同时对直接数字频率合成器（DDS）的使用以及DDS与0数字信号处理器（DSP）之间的接口设计进行了介绍。理论和实验表明，以AOTF色散元件的红外光谱测量系统结构简单,测量速度快，可广泛应用于在线光谱分析场合，本系统光谱测量范围为2.5-5.0μm，光谱分辨率为10nm。     

用于MEMS加工的双面深度光刻机对准系统设计

比较了光刻机中几种常用的对准方式,并分析了其优缺点,在此基础上对双面深度光刻机底面对准系统的设计原理、结构及对准过程做了详细阐述,并进行了对准系统的精度分析,最后介绍了为系统实现所采取的其他技术措施。实践证明,该对准系统应用于深紫外双面深度光刻机中,系统运行稳定、可靠,完全能满足系统的精度要求。     

方形孔径微透镜阵列与红外焦平面集成技术研究

针对红外焦平面阵列自身存在的占空比小、光能利用率低的问题,提出利用光胶技术将方形孔径球面微透镜阵列与红外焦平面集成。从理论角度分析了微透镜阵列集成的聚能效应。设计"栅线"和"十字"双对准标记,采用衍射光栅同轴对准方法实现器件的对准。经过对集成前后红外焦平面性能进行对比,发现响应率提高了近40%,探测率提高了约20%,红外焦平面的噪声从758.89μV下降到668.23μV。最终得到结论:光胶法用于两种器件的集成具有耐温性好、变形小、强度高等优点,集成后红外焦平面的探测性能显著提高,有利于探测器微小型化发展。     

基于μC/OS-II的散射天线对准系统的设计与实现

针对散射通信系统开通自动化程度较低的问题,提出了一种基于μC/OS-II的散射天线对准系统的设计方法.描述了散射天线对准系统的硬件和软件体系结构,介绍了适应散射天线对准的算法设计及对准流程,重点说明了软件系统中的任务规划和任务间通信机制,实现了散射通信系统中的天线自动对准.解决了以往手动进行天线对准时效率低、精度差的问题.     

高精度机器视觉对准测量系统设计

设计了用于半导体先进封装光刻设备中的高精度机器视觉对准测量系统,明确了机器视觉对准测量系统工作原理、设计指标及系统设计中需要考虑的关键技术点,同时给出了机器视觉对准测量系统关键零部件的设计,并给出了对准测量系统最终在整机上测得的性能数据。测试结果表明,所设计的机器视觉对准测量系统完全可以满足集成电路先进封装工艺需求。     

投影光刻中非对称型相位光栅对准信号及对准误差计算模型

在半导体投影光刻机中,对因工艺处理产生的非对称型相位光栅对准标记作了详细分析,提出了关于衍射效率、对准信号及对准误差的计算模型,并着重分析了CMP型对准标记和金属淀积型标记的相应特点。     

PRS/IRS复合制导中时空对准方法研究

针对被动雷达/红外(PR/IR)复合制导中2种传感器数据融合中时空对准的问题,提出了坐标变换的空间对准方法和最小二乘法曲线拟合的时间对准方法.Matlab仿真结果证明,该时空对准方法能将2种传感器通过不同采样周期得到的数据进行有效对准,实现了数据融合.     

基于外参考干涉对准技术的对准系统信号处理方法

给出了基于外参考干涉对准技术的对准系统的对准原理及信号处理流程。包括:基于外参考干涉对准技术的对准系统的对准原理;电子信号处理模块主要结构;信号的处理流程和算法原理,各衍射级次信号的分离方法简述等。     

全自动引线键合机上的图像视觉系统

整理后的译文详细介绍了电子封装行业中使用的引线键合机的自动对准图像视觉系统 ,阐述了系统有关组成、对准技术、原理及操作界面图形。     

用于改善PtSi红外焦平面阵列器件响应特性的长焦距GaAs微透镜阵列器件的制作研究

提出了一种新的曲率补偿法用于长焦距微透镜阵列的制作。扫描电子显微镜（SEM）显示微透镜阵列为表面极为平缓的方底拱形阵列,表面探针测试结果显示用曲率补偿法制作的微透镜的焦距可达到3861．70um,而常规光刻热熔法很难制作出焦距超过200um的相同尺寸的微透镜阵列。微透镜阵列器件与红外焦平面阵列器件在红外显微镜下对准胶合,显著改善了红外焦平面阵列器件的响应特性。     

用于改善PtSi红外焦平面阵列器件响应特性的长焦距GaAs微透镜阵列器件的制作研究

提出了一种新的曲率补偿法用于长焦距微透镜阵列的制作.扫描电子显微镜(SEM)显示微透镜阵列为表面极为平缓的方底拱形阵列,表面探针测试结果显示用曲率补偿法制作的微透镜的焦距可达到3861.70μm,而常规光刻热熔法很难制作出焦距超过200μm的相同尺寸的微透镜阵列.微透镜阵列器件与红外焦平面阵列器件在红外显微镜下对准胶合,显著改善了红外焦平面阵列器件的响应特性.     

TEA-CO_2激光器的频率精密调谐研究

一、前言TEA-CO_2激光器的输出激光频率较精密地调谐,将对红外激光光谱学、红外激光化学及中、远红外光泵的研究发挥更大的作用。目前国内外普遍采用光栅作为选择性损耗元件来获得所需频率;但因其线宽不够窄,频率牵引现象严重,往往因为频率不能精确对准而大大降低激光作用的效率。因此,激光线宽的压缩及频率的精确调谐方法成为一个重要的研究课题。采用倾斜Ge标准具作选择元件,已被证实可以起到上述作用,但是迄今为止,由     

对准误差对前置光放大卫星激光通信系统性能的影响

发射机及接收机的对准误差都会引起前置光放大卫星激光通信系统信号的衰落,在同时考虑发射机、接收机对准误差的条件下优化系统性能非常重要。将接收机对准误差引起的空间光耦合损耗用一个高斯函数近似,并同时考虑发射机对准误差引起的对准损耗,推导出了接收光功率概率密度的近似解析表达式,应用该概率密度函数,建立了基于平均误码率原则的前置光放大卫星激光通信系统的优化模型。仿真结果表明,在给定平均误码率要求及对准误差一定时,存在一个最佳发射光束宽度、接收天线直径及空间光耦合参数,使所需的发射功率最小,采用更大的接收天线并不能降低对发射功率的要求。     

中波红外固体激光器的指向监视系统

高重频3~5 m中波红外固体激光器由于其多方面的潜在应用而受到了广泛的重视,但由于其本身固体激光的特性,在传输过程中难免受到本身腔体温度梯度及外界环境振动的影响,而产生指向上较大的抖动和漂移,难以用于对指向精度要求较高的场合,需要在激光器出口处加入监视对准系统来抑制激光指向的抖动和漂移。因此,拟采用两种不同的探测器（四象限探测器和热释电探测器）作为此种激光器的监视对准元器件,对其在监视对准系统中的性能进行了对比试验分析。结果表明:两种监视系统得到的激光指向抖动的P-V值都在9左右,热释电探测器的指向监视误差为5.39。四象限探测器相比于热释电探测器具有更高的响应带宽,而热释电探测器由于基于图像的方法更加直观,因此,对于中波红外激光器而言,可以根据实际使用需要来选择相应的探测器以搭建指向监视系统。     

红外导弹仿真实验室

本文介绍了红外导弹仿真实验室的基本情况.以目标仿真器为重点,叙述红外仿真系统和其子系统的基本结构、原理及功能;还介绍了近期发展起来的红外成象仿真技术的一些情况。最后,对红外导弹仿真实验室的发展动向作了简单介绍.