基片开槽抑制SAW滤波器体声波的工艺研究

当叉指换能器在基片上激励声表面波模式时，同时伴随着体声波的激励。文章根据叉指换能器的激励原理，采取对压电基片背面开槽抑制叉指换能器体声波进行了实验研究。分别在ST、LT、LN压电基片上背面开槽并制作了中心频率为28MHz、70MHz、71MHz、120MHz声表面波滤波器。实验观察了体声波的抑制情况，并得出了具体实验数据。     

高频高阻带抑制极窄带声表面波滤波器

该文介绍了一种双声通道纵向耦合结构的高频高阻带抑制极窄带声表面波滤波器。利用有限元仿真研究了AT石英材料上高声速的声表面横波与浅体声波的激励情况,并进行了浅体声波抑制研究。通过调节叉指换能器金属化比,大幅降低了浅体声波对滤波器阻带抑制的影响,并制作出中心频率为1 220 MHz,插入损耗为5 dB、1 dB带宽700 kHz、阻带抑制50 dB的低损耗高阻带抑制极窄带声表面波滤波器。     

一种用于图书档案库的小波加权式声表面波温度传感器的关键问题研究

本文提出把声表面波温度传感器用于图书档案库的温度控制系统中.当图书档案库中温度变化时,该温度传感器的输出频率与温度成线性关系,从而达到测量温度的目的.同时还提出将输入换能器变迹加权函数、换能器的指条数对声表面波功率的影响作为两个关键问题进行了研究,并且解决了这两个关键问题.在声表面波温度传感器的研究中,用小波函数对输入换能器进行变迹加权,导致于抑制了该温度传感器频率特性曲线的旁瓣.换能器的指条数越多,产生的体声波越弱(即换能器的指条数越多,产生的声表面波越强).只要换能器的指条数大于40条时,产生的体声波可以忽略,而产生的声表面波是很强的.并且对该温度传感器的设计、制作及实验进行了详细研究.     

1 000 MHz倾斜阵列压缩器相位补偿技术研究

采用倾斜阵列压缩器技术制作的声表面波色散延迟线已成功用于许多脉冲压缩系统中。对于这些系统应用来说,延迟线相位响应同理想的二次相位响应的偏离导致了压缩脉冲时域旁瓣电平的恶化。在反射阵列压缩器设计中,采用了一种修正相位误差的方法,该方法是通过调整不同频率反射栅条间金属条带的宽度来实现相位的调节。采用同样的方法,通过在两个倾斜换能器声通道间放置宽度可变的金属条带控制不同频率的延迟变化可实现相位误差的补偿。该文介绍了在倾斜阵列压缩器上进行相位补偿的方法,报道了相位补偿技术在一个L波段倾斜色散压缩器(中心频率1000 MHz,带宽600 MHz)中的成功应用,结果显示均方根相位误差减小到3.9°。     

影响声表面波振荡器的频率稳定性因素分析

本文阐述了影响声表面波振荡器频率稳定性的主要因素;探讨了改善声表面波振荡器频率稳定性的方法。     

一种新型的无源无线SAW温度传感器的研究

该文介绍了一种新型的无源无线声表面波温度传感器,传感器的能量来自外界的无线电磁波。通过利用多条耦合器及位于不同声路的两条反射栅,实现了在消除体声波(BAW)干扰的同时,利用两条声表面波(SAW)传输路径差引入相应的声传播延迟,用以提高测温精度。该声表面波温度传感器可采用小波函数包络加权叉指换能器,从而抑制了频率响应曲线中的旁瓣,提高了品质因数。此外,通过使用一个叉指换能器的单端输入、单端输出的结构,可有效减小传感器的体积,使其具有广泛的应用范围。     

905MHz低相噪声表面波振荡器的设计

本文分析了声表面波谐振器的性能 ,论述了声表面波振荡器的工作原理及设计方法 ,最终完成中心频率为 90 5MHz的振荡电路 ,相位噪声低于 - 110dBc/Hz/ 1kHz。文中对影响相位噪声的因素进行了分析讨论     

高性能声表面波调频振荡器的研究

分析了声表面波谐振器的性能 ,论述了声表面波振荡器的工作原理及设计方法 ,最终完成中心频率为797.3 MHz的振荡电路 ,调频带宽 2 MHz(2 5 0 0 PPM)。文中对影响调频带宽、相位噪声的因素进行了分析讨论。本项目研究成果已获得实际应用     

用于频率合成的声表面波滤波器

介绍了几组用于扩频系统的声表面波滤波器的设计、制作和实验结果.器件频率为95～350MHz.插入损耗为9～24dB.阻带抑制优于45dB.     

基于MSC双声路SAW器件的设计仿真平台

利用模块化设计思想,在Matlab编程环境下实现了基于多条耦合器双声路声表面波器件的设计仿真平台。为了提高MSC双声路SAW器件的性能,该平台将多条耦合器、分裂指及假指设计方案融合到器件设计中。多条耦合器不仅实现了两个变迹换能器传递函数的乘积,而且消除了体声波对器件性能的影响。假指消除了通过变迹换能器引起的波前畸变。分裂指可以最小化换能器内部的声波反射问题。通过一个频率为203.559MHz的基于多条耦合器双声路声表面波器件的设计和实际测试结果的对比分析,证明了该设计仿真平台不仅可以进行器件版图结构的设计和模拟,而且设计平台所得到的版图和数据可以用于器件的掩膜版制作和器件封装尺寸参考。另外,该仿真设计平台可以很好地实现对器件的脉冲特性、频率响应特性的模拟和仿真。     

微机械叉指换能器声表面波陀螺

回顾了声表面波(SAW)陀螺发展史，总结了声表面波陀螺设计思想的变迁，重点介绍了一种新型微机械-叉指换能器(MEMS—IDT)声表面波陀螺。它具有适合标准IC工艺生产的简单二维结构，具备体积小、成本低、便于批量生产以及不用真空封装的特点。由于没有普通微机械陀螺的悬浮机构，抗冲击及振动的能力较普通微机械陀螺显著提高。同时，提出了一些迫待解决的问题。     

声表面波多参数传感器发展及应用(1)

声表面波(SAW)技术作为信息敏感的载体技术已受到广泛的关注并获得了大量的应用,该文基于SAW生物、化学传感器近年来在国内外的发展,阐述了SAW多参数传感器的基本原理、研究意义、目前发展水平和技术发展趋势以及其主要应用.     

基于SAW RFID技术的高速动车组轴温监测系统

该文针对高速动车组现有车轴轴温监测技术存在的缺陷,提出了以声表面波射频识别(SAW RFID)技术为基础的高速动车组车轴温度监测新系统。采用SAW标签实现无源温度监测,以数字信号处理(DSP)芯片TMS320VC33为主控制器,控制射频芯片NRF905的发射与接收。从对SAW RFID技术的原理介绍、读写器及控制软件的设计入手,通过对系统的测试表明,该系统能实时、精确监测高速运行动车组的轴温,对保证高速动车组的安全运行起重要作用。     

声表面波飞机结冰传感器灵敏度及实验研究

声表面波飞机结冰传感器有望用于飞机结冰预测,其通过Love波的激发和在导波层中的传播变化,来敏感导波层表面冰的厚度及状态变化,而导波层的厚度对声表面波结冰传感器灵敏度具有重要影响.在学者Zimmermann的理论基础上,根据声表面波结冰传感器实际结构,计算得到导波层厚度对灵敏度影响的特性.通过对SiO2导波层及ST90°石英晶体压电材料进行实例计算,得其厚度在9.6 μm处灵敏度最高,并通过实验对0.004 2 m厚的冰层进行实验,得到冰层中Love波的传播速度,与理论计算吻合.     

31位低频声表面波可程序匹配滤波器

报道了３１位声表面波可程序匹配滤波器的结构、设计和性能参数。声表面波可程序抽头延迟线是近年来快速发展的直扩技术广泛应用的一种器件。它的强大信号处理能力和极高的运算速度，使得直扩序列信号的快速同步及匹配滤波较传统的技术大为简化。文章报道的３１位声表面波低频可程序抽头延迟线是一种用于扩频抗干扰通信系统所用的关键信号处理器件。在研制过程中，采用的ＣＯＭＳ／ＳＯＳ等新技术以及分裂抽头等新设计，使器件的时钟速率和主旁瓣比关键技术指标获得了较大的提高，完全满足系统要求     

Saw devices: Space qualification and reliability issues

This paper summarizes the current U.S. military space qualification requirements as well as other qualification standards required for SAW components. A new testing procedure is proposed which will significantly cut the qualification costs while still providing a reliable product for space applications.     

声表面波化学战剂气体传感器的研究

介绍了声表面波气体传感器的基本工作原理和设计方法,通过SAW芯片拓扑结构、敏感膜、覆膜工艺和信号处理电路等方面的优化,研制出两种SAW化学战剂气体传感器,具有灵敏度高、响应和解吸附快,抗干扰能力强的特点。     

无线无源声表面波扭矩传感器的研究

转轴的扭矩测量一直是一个难解决的问题。声表面波传感器可以实现无源化并进行无线测量,从而可以应用于转轴的扭矩测量。文章阐述了声表面波扭矩传感器的设计、结构及相应的无线测量系统。     

LGS声表面波双模温度传感器研究

该文研究了基于硅酸镓镧（La3Ga5SiO14,LGS）压电衬底的声表面波(SAW)谐振器的瑞利波模式谐振频率和体声波模式谐振频率的温度特性,并利用这两种模式构建了一种宽温度范围的具有线性输出特性的温度传感器。研究结果表明,基于LGS衬底的谐振器的瑞利波模式和体波模式的谐振频率均与温度成二次函数关系,且二阶频率温度系数接近,利用此特性构建的双模温度传感器测试结果和热电偶测试结果基本一致。该文提出的这种双模温度传感器可获得全温度范围的线性输出特性,可应用于LGS高温SAW温度传感器。     

声表面波谐振器的时域响应特性研究

由于电磁波的速度比声表面波的速度快得多。叉指换能器在进行电声转换的同时．也降低了信号能量流的速度。在一定时间内蓄积了电磁能量。所以当电磁激励结束后的一定时间内，声表面波器件仍然有瞬态输出，这是声表器件实现无源无线传感的物理基础。该文通过推导声表面波谐振器各部分的冲激响应函数，得到谐振器的冲激响应。据此分析研究声表面波谐振器在各种激励下的响应波形和特征。分析表明声表面波谐振器的瞬态响应完全反映了器件的性能参数。