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相似文献
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1.
冷等静压-烧结法制备ITO磁控溅射靶材的工艺研究   总被引:6,自引:1,他引:5  
采用冷等静压-烧结法制备了ITO磁控溅射靶材。该工艺用化学沉淀法制备ITO复合粉末,通过冷等静压(CIP)进行粉末压制,压坯的相对密度约为60%,将此压坯在1600℃下烧结6h,可得到相对密度>90%的ITO靶材。同时还通过实验考察了粉末粒度、烧结温度、烧结时间对靶材密度的影响,并对ITO靶材的烧结过程和烧结气氛进行了讨论。  相似文献   

2.
微波烧结制备ITO靶材的工艺   总被引:1,自引:0,他引:1  
采用单相ITO(indium tin oxide,铟锡氧化物)复合粉末,经过压制成形后,在纯氧气氛下微波烧结制备ITO靶材,研究烧结温度、保温时间和压制压力等主要工艺参数对ITO靶材致密化的影响。结果表明:靶材的相对密度随烧结温度升高而增大;在1 600℃烧结时,靶材的相对密度随保温时间增加先增大后减小,在保温1.5 h时相对密度达到最大值(98.67%),高温长时间烧结对ITO靶材的致密化不利。微波烧结的ITO靶材显微组织均匀,晶粒尺寸较均匀,约为6~8μm。不同温度下制备的ITO靶材均无SnO2相析出,仍是单一的固溶体相,不存在第二相。  相似文献   

3.
以化学组成Ag∶B=93∶7(质量比)的混合粉体为原料,采用热压烧结制备Ag-B靶材。通过阿基米德法测量靶材密度、扫描电镜(SEM)观察靶材断面形貌、X射线衍射仪(XRD)分析物相、差示扫描量热法(DSC)分析粉体相变,研究了热压工艺对靶材致密度和微观组织的影响,并探讨了Ag-B靶材的致密化过程。结果表明:Ag-B粉体在升温至1000℃过程中,Ag,B之间未形成固溶体或金属间化合物,但B的加入降低了Ag-B粉体的熔化潜热;在450~750℃温度范围内,温度升高靶材相对密度从81.8%增加至95.3%;烧结温度超过750℃后,出现"反致密化现象",800℃时靶材相对密度下降至89.2%;Ag-B靶材的相对密度随着热压压力、保温保压时间的增加而增加;相比较而言,烧结温度和保温保压时间是Ag-B靶材致密化的主要因素;在烧结温度750℃、保温保压时间120 min、压强28 MPa条件下,Ag-B靶材致密度达到95.3%。  相似文献   

4.
利用真空热压设备研究氧化铌靶材孔洞形成的原因,结果发现粉末性能、烧结温度和保温时间、烧结压力等对靶材成型中孔洞产生影响,粉末性能中松装密度的提高、在一定范围内提高烧结温度和保温时间、在一定范围内提高烧结压力,有利于靶坯成型,减少靶坯中孔洞数量。实验结果表明:粉末松装密度为1.15-1.35g/cm3、保温温度在1250-1350℃时,保温时间为8h、压力为11-13MPa之间、升温速率为3.5-5.5℃/min时,将会获得较好的成型靶坯,孔洞数量相对最少。  相似文献   

5.
以化学共沉淀法制备的ITO粉末为原料,采用喷雾干燥-冷等静压-烧结法制备了ITO靶材,通过扫描电子显微镜(SEM)观察粉末、素坏及烧结后ITO靶材的表面形貌和气孔分布,并就粉末不同粒度组成对靶材压制与烧结效果的影响进行了分析.实验结果表明:通过喷雾干燥-冷等静压-烧结工艺可制备出相对密度大于97%的ITO靶材,喷雾干燥...  相似文献   

6.
以高纯超细CdTe粉体为原料,采用真空热压法,对工艺进行正交化实验设计,优化工艺参数,得到制备高致密度,晶粒度均匀CdTe靶材的工艺制度。以烧结温度、保温时间、烧结压力为因素,设计L9(3~4)正交实验表,对正交化实验数据结果进行极差和方差分析,确定了制备工艺参数对靶材致密度的影响程度:保温时间的改变对靶材致密度影响显著,其方差检验统计量F值达到86.25,靶材的致密度随保温时间的增加而增加,但超过一定时间后,会出现反致密化现象;烧结温度具有一定的影响;而烧结压力对其影响较小,其F值仅为2.5。正交化实验分析建议给出了CdTe靶材最佳制备工艺条件为:烧结温度580℃、保温时间60 min、烧结压力33 MPa。X射线衍射仪(XRD),扫描电子显微镜(SEM)和阿基米德排水法的检测结果表明:采用最优工艺制备得到了高质量的CdTe靶材,其相结构相比原料粉体不发生改变,靶材的晶粒度均匀,致密度达到99.4%。  相似文献   

7.
以不同比表面积(BET)气化In_2O_3和SnO_2粉(In_2O_3/SnO_2=9:1)为原料,使用模压辅助冷等静压(CIP)成型的方法制备出铟锡氧化物(ITO)坯体,又在不同温度条件下烧结制得ITO靶材。研究了原始粉BET,CIP压力与烧结温度对靶材微观结构及结瘤的影响,结果表明:BET更大的A配方粉末烧结活性更高,在较低的烧结温度即可致密,而微观结构致密性的提高有利于防止靶材结瘤;当CIP压力由285 MPa提高至400 MPa,坯体各方向收缩率明显增加,且相对密度由64.90%提高至70.23%,CIP压力继续提高至500 MPa,坯体密度不再继续增加,稳定在70%左右;在1540℃常压氧气氛烧结20 h后,CIP压力为285 MPa和400 MPa的靶材相对密度均超过99.8%,晶粒尺寸均在4~10μm,但前者含少量尺寸在2μm以下的微孔,而后者微观致密性更好、晶内小微粒尺寸更大,且溅射后未出现结瘤;在1575℃常压氧气氛烧结20 h后,CIP压力为285 MPa和400 MPa的靶材相对密度均超过99.8%,均未出现微孔缺陷,但靶材晶粒尺寸均偏大,范围大致在4~17μm,其中400 MPa靶材出现了更多数量的异常大晶粒;当CIP压力均为400 MPa时,1575℃烧结靶材结瘤偏多,而1540℃烧结靶材未出现结瘤。  相似文献   

8.
分别以98:2(质量比)的ZnO–Al_2O_3混合粉体和预处理粉体为原料,在不同热压温度、压力、保温时间下,采用原位热压工艺制备铝掺杂氧化锌(Al-doped ZnO,AZO)靶材。通过扫描电子显微镜和透射电子显微镜观察靶材晶粒形貌、阿基米德法测定试样密度、X射线衍射仪分析物相组成以及晶粒大小,四探针测试电阻率,研究靶材热压致密化过程中的晶粒生长规律及细晶高密靶材的制备工艺。结果表明:热压温度为900℃时,晶粒尺寸与原料粉体接近,颗粒之间只形成烧结颈,扩散反应不完全,掺杂替位效应弱,电阻率为0.284W×cm;热压温度上升至1000℃时,ZnO蒸发凝聚形成众多小颗粒导致衍射峰宽化,颗粒之间逐渐结合紧密,Al原子替位效应增强,电阻率降低至0.093W×cm;在热压温度为1100~1150℃时,靶材相对密度不断上升,体系中形成众多的岛状细晶,电阻率下降至1.5′10~(-4)W×cm;在温度1100℃时,随着压力的升高,靶材相对密度从15 MPa时的88.00%上升到35 MPa时的95.60%,晶粒尺寸略有减小;在热压温度1150℃时,随着保温时间的延长,晶粒尺寸生长有限,靶材的反致密化现象与晶粒生长无关。煅烧混合粉体在热压温度1150℃,压力18 MPa,保温时间90 min时,靶材相对密度最高达96.28%,电阻率低至1.6′10~(-4)W×cm,扫描电子显微镜观察晶粒细小,满足溅射靶材的性能要求。  相似文献   

9.
本文以低成本的TiH2粉末为原料,采用粉末注射成形技术(MIM)制备纯Ti材料,研究了烧结温度、烧结时间和烧结气氛对样品的致密度、显微组织的影响;探究了烧结气氛对烧结试样中碳、氧含量的影响,并测定了真空烧结试样的力学性能。结果表明:TiH2粉末通过MIM工艺可以获得接近全致密的烧结Ti制品;随烧结温度提高和烧结时间延长,制品孔隙度减小,致密度提高;在1 150℃烧结3h,致密度为93.88%,烧结温度提高到1 300℃,致密度可达98.52%;在1 300℃的烧结温度下,烧结时间从2h延长到3h,致密度可从96.69%增加到98.52%;在其它工艺相同的条件下,烧结气氛对制品的性能有显著影响,真空条件下致密度最高,晶粒尺寸最大,碳、氧含量最低;在真空度为5×10-3 Pa下,于1 300℃烧结3h制品的显微硬度为388HV,抗拉强度为325MPa,延伸率为4.43%。  相似文献   

10.
降温速率对ITO靶材相组成的影响   总被引:1,自引:0,他引:1  
李亚静  刘家祥 《稀有金属》2007,31(6):794-797
对400, 500, 600, 700, 800, 900, 1000 ℃温度下煅烧制得的氧化铟锡(ITO)粉体进行X射线衍射分析, 利用Vegard定律分析得到的衍射数据计算出靶材的晶格常数和氧化锡在ITO靶材中的固溶度, 得出ITO靶材中氧化锡的固溶度大小主要与温度有关, 氧化锡相在靶材中的固溶度随着温度的升高而增大的结论.靶材热压烧结降温时, 保持120~150 ℃·h-1的降温速率可以得到纯度为99.995%, 相对密度为99.274%的氧化铟单相ITO靶材.  相似文献   

11.
转炉炉壳热应力分析   总被引:5,自引:1,他引:4  
任学平  郭志强  邹家祥 《炼钢》2001,17(6):47-49
根据实际转炉建立实体模型。以有限元为手段,考虑了炉衬和炉壳材料的物性参数随温度变化的特点和炉衬与炉壳之间膨胀间隙,计算了转炉炉壳在温度载荷和炉衬膨胀压力同时作用下的热应力。所得结果可为转炉炉壳设计提供依据。  相似文献   

12.
显微维氏硬度测量不确定度评定   总被引:1,自引:0,他引:1  
对显微维氏硬度测量不确定度进行评定,建立了不确定度计算的数学模型,确定了影响实验结果的各项因素,计算出了各因素的标准不确定度,得出结果的扩展不确定度,并给出最终测量结果的表达式。  相似文献   

13.
Totally negative results of epidemiological investigation of random samples do not prove the absence of the infection as the pathogen may be restricted to only a few animals in the herd for a long time. The statement "absence of infection" is critical for such situations. The question is raised, whether the statement "absence of infection" should be generally avoided. Classification of herds and flocks according to the prevalence of the pathogen would be more valid for the implementation of control measures.  相似文献   

14.
Some theories of personality hold that an individual's perception of others is influenced by his own personality characteristics; more specifically, that a trait of low social value will be projected more into others, and that insight into the possession of these characteristics reduces this distortion. These 2 hypotheses were tested by having a group of college students rate each other (including themselves) on degree of friendliness or hostility. Agreement with group rating about self yielded the insight score. In general, the hypotheses were supported; the "friendly" Ss were most accurate in their perception of others, and insight was positively associated with accurate perception. From Psyc Abstracts 36:04:4HL16M. (PsycINFO Database Record (c) 2010 APA, all rights reserved)  相似文献   

15.
The rates of infection of two methods of external ventricular drainage in use at Atkinson Morley's Hospital--namely, (a) percutaneous drainage with Rickham reservoirs and (b) tunnelled ventriculostomies--were compared in this retrospective review. Percutaneous drainage of CSF with Rickham reservoirs was associated with a 27% rate of infection as identified by positive microbiological cultures; tunnelled ventriculostomy catheters had a 10% infection rate. The difference in the infection rate between the two methods was statistically significant (P < 0.015). Other variables examined, including the age and sex of the patients and the reasons for ventricular drainage, were not associated with an increased rate of infection. Most infections from either method were caused by a coagulase negative staphylococcus. The average duration of ventricular drainage before identification of positive cultures was 5.7 days for Rickham reservoirs and 6.0 days for ventriculostomies.  相似文献   

16.
17.
鲁迅先生一生热爱美术作品,对版画中木刻兴趣尤甚.<野草>作为其"写心之作",亦呈现出一些与木刻版画一致的审美特征:一是具有木刻版画的色彩特征,多对比、多冷色,有阴郁的美感;二是具有木刻版画的力度特征,环境描写、人物刻画处处刀锋毕现,遒劲有力,有一种"力之美".  相似文献   

18.
张兴强  叶运福 《冶金设备》2005,(6):71-72,47
针对四辊破碎机车刀架车削中存在的几个问题,详细介绍了电动车刀架的结构和工作原理,建立主要设计参数的数学表达式,并进行适当的分析。改造后,这种电动车刀架运行平稳、可靠、方便、省力,取得了预期的效果。  相似文献   

19.
2008年中国电解金属锰发展态势浅析   总被引:1,自引:0,他引:1  
曾湘波 《中国锰业》2008,26(4):27-29
对中国电解金属锰发展的市场态势、价格行情以及原材料供应情况作了初步分析,提出我国电解金属锰行业挑战与机遇并存,只要抓住机遇、迎接挑战、夯实基础、科技创新,电解金属锰行业前景将会更加光明。  相似文献   

20.
Employed 120 male and 113 female undergraduates in a replication of H. L. Mirels's (see record 1970-10386-001) study which found 2 factors in analyzing responses to 23 items on Rotter's Internal-External Control Scale. The same polar dimensions of "luck" as the arbiter of life events as opposed to personal control were found as well as a 2nd dimension of degree of control over political and social institutions. (PsycINFO Database Record (c) 2010 APA, all rights reserved)  相似文献   

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