LSI单元图形的最小划分

讨论划分一类平面区域为一组矩形域的方法。推导出最小划分数公式;给出最小划分算法。由此可分割LSI单元图形成最少曝光单元,以提高曝光效率和版图光刻质量。     

基于模型的光学校正系统的设计与实现

为了使光刻结果更好地符合版图设计,保证在硅片上制造出的电路在功能上与设计电路一致,提出了一种对掩模进行自动补偿的系统性技术.根据光刻机和光刻胶特性,模拟了实际的光刻过程.校正处理的核心是基于模型的掩模图形优化模块,通过调用光刻模拟器直接对输入待校正的掩模图形进行优化.最后通过对掩模版图的验证,保证校正后的掩模图形满足成像图形的精度要求.应用实例证明,该系统准确实现了版图的精确设计与校正.     

集成电路掩模版图的一个数学模型

集成电路掩模版图(简称“版图”),多可划分为一些矩形单元,整个版图,由这些矩形单元组合而成。若版图中有曲线形,也可由矩形组合代替之。我院的SDS—1电子束曝光机,是在SK—2电子计算机控制下进行掩模版的曝光制版。每一曝光单元为一矩形,每一矩形需存储四个参数,整个版图的数据要占用大量的存储单元。并且,数据编排,纸带穿孔等机外工作量很大,出错机会多。因此,使尽可能多     

新型KP50A螺栓型晶闸管氧化光刻版设计

设计了一种用于AA50A螺栓型晶闸管制造过程中的新型光刻版图。通过分析计算得到各有关结构参数及特性参数。经比较证明,本设计结构新颖,操作方便,对提高材料利用率及产品成品率,对降低工人劳动强度和提高工作效率,具有重大意义。     

新型KP50A螺栓型晶闸管氧化光刻版设计

设计了一种用于ＫＰ５０Ａ螺栓型晶闸管制造过程中的新型光刻版图。图通过分析计算得到各有关结构参数及特性参数。经比较证明,本设计结构新颖,操作方便,对提高材料利用率及产品成品率,对降低工人劳动强度和提高工作效率,具有重大意义。     

用于快速光学邻近校正的可变阈值光刻胶模型

提出了用于光刻仿真的建模流程。用高斯滤波器与空间影像进行卷积，得到改进的空间影像来模拟光刻胶的扩散，然后使用可变阈值光刻胶模型，以实际工艺数据拟合该模型参数，再把改进空间影像的相关信息作为输入，并根据可变阈值光刻胶模型所确定的光强阈值为预测CD（critical dimension）变化，从而使光刻仿真的结果更精确地附合实际测量数据。由于正确地表征了实际工艺的特征，模拟结果显示，多参数光刻胶模型更适于实际开发的光学邻近校正（optical proximity correction,OPC)仿真工具。     

合肥同步光源增加光刻基片曝光面积方法研究

根据以水平磁场控制束团垂直团轨和垂直发散角,设法增加光刻基片曝光面积的思想,对合肥同步辐射光源进行分析,提出了适用方案,指出在合肥同步辐射光源上用两个现有的垂直校正铁,只要加上不大的水平磁场,即可使光刻基片的曝光面积增大2－4倍,达到所需要求,且在该两个校正铁以外的闭轨不发生畸变。     

基于场的寄生电容并行提取方法

在集成电路版图寄生参数提取中,基于场的方法虽然能够提供更为精确的结果,却由于时间及空间复杂度等问题无法直接应用于复杂互连线网络参数提取.针对这一问题对复杂导体进行切分,并结合分治法和并行计算技术加速参数提取,解决由于互连线网络过于庞大引起基于场的提取引擎失效的问题,并能够提供较精确的分布式参数.     

光纤端部微型透镜的研究

在光刻热熔法的基础上 ,研究使用掺有重铬酸盐的明胶在光纤端部制备微型透镜的工艺 .分析了重铬酸铵明胶体系的辐射交联和光敏机理 ,阐述了配制、曝光、显影和热熔成形的实验方法 ,同时研究曝光机理和显影机理以确定最佳浓度和质量比、曝光时间、显影时间等工艺参数 .提出了凸透镜表面的形成问题 ,对熔融态的重铬酸铵明胶的浸润特性和临界角作了讨论 ,并以此作为热熔温度及时间的理论基础 .结果说明 ,实验制备的微型透镜具有很好的面形 ,透光性能良好 ,适合安装在光纤端部以进一步增强聚光性能     

5．8GHz／0．18μm低噪声放大器噪声分析

为了优化设计的5．8 GHz低噪声放大器(LNA)后仿真的各项性能指标,分析了LNA各部分寄生效应对整个电路噪声系数和增益的影响,提出了电路设计和版图设计中应采取的各种措施,使优化后的后仿真结果与前仿真结果基本一致．在考虑MOS管栅电阻和栅感应噪声电流的情况下,后仿真噪声系数为1．6 dB,前向增益为13．7 dB,功耗为8．3 mW,达到了802．11a系统集成的要求．最后给出了LNA版图和后仿真结果．     

多层P/G网络内RLC信号线的参数提取和时序分析

大规模集成电路特征尺寸的急剧缩小及系统功能日益复杂使得电源分配网络规模越来越大，越来越密集，长互连上的传输线效应日益显著．文中以一些布置在多层P／G网络内的关键信号线网为研究对象；利用智能查表工具（NNIE与NNCE），实现时长信号线静态分割后各分段频变寄生电感及电容参数的快速提取，从而建立起长信号线梯状分布RLC模型；数值模拟表明，该方法具有快速的特点和良好的精度。     

Analysis of non-ideal factors and digital calibration for highresolution SAR ADCs

An analysis of capacitor mismatch in a high resolution successive approximation register (SAR) analog-to-digital converter (ADC) is described. The results show that the mismatch of capacitors and the parasitic capacitance in the LSB capacitor array have a significant influence on the resolution of ADC while the parasitic one in MSB array has little influence on the precision. A 16-bit SAR ADC high-level model is designed and a background digital calibration is proposed to calibrate the errors due to the mentioned sources. Simulation results indicate that the ENOB(Effective number of bits) after calibration is above 15 bit with a probability of more than 90％. The availability of this calibration method is verified, so it can be utilized to calibrate high-resolution SAR ADC.     

中压配电网各相对地电容的在线监测

在消弧线圈接地系统中，求得配电网各相对地电容值以后，采取针对性措施，可提高消弧线圈的补偿作用。首先分析了中压配电网不对称度的相位与各相对地电容相对大小的关系，并根据配电网三相对地总电容，推导出各相对地电容值的计算公式。利用８０９８单片微机，设计了中压配电网各相对地电容在线监测装置。     

Middle range wireless power transfer systems with multiple resonators

The equivalent two-port network model of a middle range wireless power transfer(WPT) system was presented based on strongly coupled multiple resonators. The key parameters of the WPT system include self-inductance, resistance, parasitic capacitance, mutual inductance and S-parameters of coils resonators were analyzed. The impedance matching method was used to optimize load power and transmission efficiency of the multi-resonator WPT system, and the impedance matching method was realized through adjusting the distances between the coils and resonators. Experiments show that the impedance matching method can effectively improve load power and transmission efficiency for middle range wireless power transfer systems with multiple resonators, at distances up to 3 times the coil radius with efficiency more than 70% and load power also close to 3.5 W.     

基于Levenberg-Marquardt算法的碳化硅MOSFET建模研究

为了更快速准确地对碳化硅MOSFET功率器件进行开关行为预测与分析,需要建立其静态和动态行为模型. 静态模型包括不同温度下的转移特性曲线和输出特性曲线,以及寄生非线性电容曲线等. 提出了一种基于EKV公式改进的曲线拟合公式和一种新的非线性电容拟合公式,利用Levenberg-Marquardt算法进行参数拟合,建模速度快,模型误差小. 动态模型在考虑封装寄生电感和寄生非线性电容等非理想条件下,分别建立器件导通和关断过程每一个阶段的栅源极电压、漏源极电压、肖特基二极管电压、栅极电流和漏极电流的电路微分方程组,再以每一个阶段结束时的状态变量作为下一个阶段的初始条件. 采用4阶龙格库塔法求解上述微分方程组的数值解,并与LTspice仿真波形进行对比分析. 结果表明,上述建模方法能较好地描述器件的动态行为特性.     

并联谐振变流器电流断续模式的应用

 针对高压高频大功率应用场合高压变压器寄生参数对变流器工作过程的重要影响,变流器采用了谐振式工作方式,利用高压变压器的漏感和寄生电容组成了并联谐振网络.为了减小高频大功率条件下功率器件的开关损耗,采用断续电流模式,实现了功率器件的零电流开通和零电压零电流关断.通过对容性滤波并联谐振变流器断续电流模式的分析和数学描述,推导得到了变流器特性的解析表达式,详细分析了变流器的稳压和调压特性,分析结果为高压高频大功率应用场合变流器的设计提供了理论依据.构建了一台50 kV/22 kW的实验样机,通过实验验证了理论分析的正确性.     

Study of direct back EMF detection for sensorless brushless DC motor

In this paper,a new rotor position detecting method for the sensorless control of brushless DC motor ( BLDCM) is introduced. It obtains the phase back EMF signal from the motor terminal voltage by properly choosing the PWM and sensing strategy directly and needn’t the motor neutral point voltage information. The paper analyzes both the steady-state of PWM on the high side modulator mode which doesn’t consider the parasitic capacitance Coes in the switches and the transient-state of PWM on the high side modulator mode which considers the parasitic capacitance Coes in the switches in detail. The experimental results verify that the proposed method is not sensitive to switching noise,no filtering is required,and good motor performance is achieved within a wide speed range.     

面向可制造性设计的铜互连有源测试结构的设计与实现

随着超大规模集成电路制造技术的不断进步,互连线寄生电容已经成为超大规模集成电路延时和噪声的主要来源。提出并实现了一种基于电荷测量技术的互连寄生电容测试结构。利用这种结构可研究互连线和相关介质的几何尺寸变化,并可反馈应用到器件的可制造性设计和工艺模型的建立中去。     

12电极相干电容层析成像检测系统

在电容层析成像系统中,要求移相器的输出必须与检测信号达到精确同频同相,从而保证相敏解调输出的准确性．而在检测系统中存在大量杂散电容,使检测信号产生相移．为提高检测的准确性,以12电极油水两相流电容层析成像系统为研究对象,在分析电容层析成像系统测量原理的基础上,设计了电容层析成像检测系统,系统采用相干解调的方法避免了杂散电容对相位的影响．并通过实验验证了方法是实用可行的．     

电容层析成像系统微小电容测量电路的设计

微小电容检测是电容层析成像技术的关键和难点，依据油水两相流电容层析成像系统的具体要求，研究了一种微小电容交流测量电路，电容测量电路的静态测量误差＜0.2%，漂移为每小时0.05%，实验结果表明：该系统的设计满足使用要求。