薄形大尺寸方块磁体的试制

本文从生产工艺的角度,着重分析了影响薄形大尺寸方块磁体的性能和成品率的工艺因素,解决了大批量生产此种方块磁体的关键工艺。     

涂胶隔膜在软包圆柱锂离子电池中的性能研究

软包锂离子电池因其制作过程简单,成本低,重量轻且安全性能好等优点被广泛应用到便携式电子设备.但是软包电池由于外壳铝塑膜的刚性差,电池易出现变形、鼓胀等尺寸稳定性差的问题.尺寸稳定性差直接影响到电池在电子产品上的装配,因此生产软包电池时如何保证电池尺寸稳定性好,电池尺寸稳定性无限接近钢壳电池成为软包电池生产厂家亟须达到的目标之一.本文在圆柱软包锂离子电池产品上,对比涂胶隔膜与普通陶瓷隔膜对电池性能及尺寸稳定性的影响.实验结果表明,使用涂胶隔膜的电池100％SOC内阻可降低2.2％,1.5 C～2 C倍率放电性能可提升1％～2％.2 C充电0.5 C放电循环300周直径方向尺寸无变化,内阻增幅变化小于普通陶瓷隔膜方案.而25℃100％SOC存储30天,电池内阻增幅及尺寸变化也均小于普通陶瓷隔膜方案.通过多项实验测试验证,发现涂胶隔膜应用在软包锂离子电池中可降低电池的内阻,提升倍率性能及电池尺寸稳定性.     

尺寸公差与质量控制

图样中的尺寸公差可分为：关键、重要尺寸公差；注出尺寸公差；未注尺寸公差(一般公差)。对它们按不同严格程度进行质量控制，既可节省人力、物力，提高工作效率，又可突出重点，保证加工的尺寸符合图样规定的要求。未注公差的质量控制最不严格，但要做好一系列质量控制工作．尤其是必须保证车间通常加工精度维持在企业规定的一般公差等级的水平。     

基于结构特征先验与多尺度反锐化掩模机制的红外图像增强算法

为了解决当前红外图像增强算法难以较好地兼顾边缘增强与噪声抑制,导致增强结果易丢失细节与视觉不自然的问题,提出了基于结构特征先验与多尺度反锐化掩模机制的红外图像增强算法。首先,利用8个边缘核与8个角点核,对Prewitt梯度算子进行拓展,从多个方向来提取红外图像的结构特征映射;随后,利用结构特征映射来计算红外目标的约束控制函数,并基于Gibbs先验模型,构建结构特征先验,获取红外图像对应的最优估计;基于红外图像的多尺度特征,引入贝叶斯函数,并联合最优估计,对红外图像完成有序平滑处理;最后,利用多尺度特征映射来改进传统的反锐化掩模算法,对平滑后的红外图像完成增强。实验结果显示,与当前红外图像增强方案相比,所提算法具有更高的增强质量与噪声抑制能力,可以更好地保持图像细节,其模糊线性指数与熵值分别为0. 21、7. 35。     

锥形转子电机轴向尺寸控制方法与分析

介绍了锥形转子电机的结构特点、工作原理以及轴向尺寸之间的关系,主要阐述测量定转子轴向气隙的具体方法及理论分析,并结合电机结构特点分析了影响轴向尺寸的因素,提出了调整轴向位置尺寸常见的方法,具体包括转子静态制动间隙与定转子之间动态气隙,最后介绍了控制轴向尺寸的关键加工工艺与便携检测工具。     

高长宽比金属铝热偶条的制备

金属铝因其与多晶硅具备良好的塞贝克系数差且成本低在红外热电堆中常用作热偶条,热偶条制备在MEMS工艺流程制备中至关重要,其结构形貌对热电堆性能有很大影响。为研究不同制备方法对铝热偶条的形貌及性能影响,本实验采用金属刻蚀工艺、剥离工艺进行热偶条制备,调整溅射功率、光刻胶厚、曝光剂量、超声功率等参数对制备工艺进行优化,通过共聚焦显微镜、扫描电子显微镜及台阶仪表征形貌,半导体分析仪表征电阻值。实验表明：通过ROL-7133负胶,前烘1min30s,曝光剂量85mj/cm2,中烘1min40s,显影48s,采用金属剥离工艺制备得到了宽度3μm,厚度0.4μm的高长宽比金属铝热偶条,且整体形貌良好,器件电阻值符合要求。     

复合绝缘子伞裙与护套粘接界面的结构及工艺特性分析

介绍并分析了复合绝缘子伞裙与护套粘接界面的结构特点、伞裙与护套的材质性能，找出了与复合绝缘子护套粘接的伞裙的最佳配合尺寸和粘接工艺，并分析和验证了伞裙与护套粘接界面性能的稳定性。     

基于永磁直线同步电机的光刻机掩模台鲁棒自适应神经网络控制

针对光刻机掩模台宏动永磁直线同步电机(PMLSM)提出一种鲁棒自适应神经网络轨迹跟踪补偿控制策略。该策略的主要特点是采用径向基函数(RBF)神经网络实时在线进行模型参数不确定性和各种外界非线性扰动的估计。为了验证策略的效果,建立基于参数不确定性和外界非线性扰动的掩模台宏动PMLSM模型,并针对此模型进行控制策略的规划、推导和稳定性理论分析,分析结果说明该策略可以保证位置和速度跟踪误差的收敛性。通过在光刻机掩模台上进行的五阶S曲线跟踪控制实验验证了此控制策略的实际控制效果,实验结果显示跟踪准确度达到了满意的效果。由于此控制策略的最大优点是不需要对实际物理系统参数和难于测量的外界不确定性扰动做精准的建模,所以非常适合应用在超精密运动控制领域。     

浅谈600 MW机组湿法脱硫吸收塔的工艺设计

石灰石- 石膏湿法烟气脱硫系统中, 吸收塔是最为关键的系统之一, 其设计直接影响到脱硫系统的性能参数和运行可靠性。本文结合广东某600MW机组吸收塔的设计实例, 对结构尺寸、内部件及防腐等关键工艺设计进行了阐述, 以便为国内同类型脱硫工程吸收塔的设计提供借鉴及参考作用。     

影响聚酰亚胺薄膜热收缩率因素的探讨

参照美国杜邦公司采用的试验条件,对较有代表性的国内外聚酰亚胺薄膜样品的热收缩率进行了测试,讨论了影响聚酰亚胺薄膜热收缩率的因素,得出以下结论：热处理时,试样在烘箱中的放置方式对热收缩率试验结果只有轻微的影响;150℃下热处理30 min是合理的,但400℃下国内外试验标准存在差异（收缩率随热处理时间呈单调增加趋势）;薄膜的热收缩率与大分子的取向度、均方末端距变化有关,纵向热收缩率要大于横向;国产聚酰亚胺薄膜的尺寸稳定性远低于国外电子膜,树脂的化学结构、生产工艺和生产设备都有待改进。     

Mechanisms of Pb(zr0.53Ti0.47)O3 thin film etching with ECR/RF reactor

Abstract

Ferroelectric capacitive devices for memory and MEMS applications require patterned ferroelectric thin films with high anisotropic etched features. In this paper, physical and chemical parameters during etching of Pb(Zr_0.53Ti_0.47)O₃ (PZT) by a dual frequency ECR/RF reactor have been investigated. The removal characteristics of blanket films and films with a patterned mask were investigated as a function of gas chemistry (Ar, halogen gases), substrate bias RF power and working pressure (from 5 × 10^?4 Pa to 1Pa). The etch processes were characterized in terms of etch rate, selectivity and mask stability. High etching rate processes (up to 70 nm/min with removable photoresist mask) were obtained and micron scale patterns were demonstrated. The impact of the etch process on the PZT surface layer modification was characterized by AFM, SEM, TEM and XPS. A strong influence of process chemistry and RF bias power on etching selectivity and surface topography (roughness, involatile residues) was observed. No surface damage layer was detected by Transmission Electron Microscopy. However, XPS revealed fluorine (up to 34%) and chlorine radicals (below 10%) in a 10nm thick surface layer.     

Microfabrication techniques and applications

The impact of advances in integrated circuit fabrication techniques on other microtechnologies is examined. The key techniques, photolithography and etching, are discussed. Applications of these techniques to the fabrication of diffraction gratings, thin windows, and photoresist molds for electroplating are described     

Cellular automaton simulation of micropowder blasting with mask erosion

Development of a two‐dimensional (2D) micropowder blasting simulator for microfabrication of a glass substrate with a patterned polymer mask is reported. In order to investigate the effect of mask erosion on a processed glass profile, a cellular automaton simulation in which erosion of the glass and the polymer mask were taken into account was applied to the micropowder blasting process for the first time. From a comparison of the simulation result with the processed glass profile in the experiment, it was demonstrated that the processed glass profile with the mask erosion could be simulated using our simulator. Furthermore, it was confirmed that the processed profile in the glass depended on the mask profile and the ratio of the deformation wear and the cutting wear of a mask. Copyright © 2007 Institute of Electrical Engineers of Japan© 2007 Institute of Electrical Engineers of Japan. Published by John Wiley & Sons, Inc.     

Effects of lithography non-uniformity on device electrical behavior. Simple stochastic modeling of material and process effects on device performance

Understanding how lithographic material and processing, affect linewidth roughness (LWR), and finally device operation is of immense importance in future scaled MOS transistors. The goal of this work is to determine the impact of LWR on device operation and to connect material and process parameters with it. To this end, we examine the effects of photoresist polymer length and acid diffusion length on LWR and transistor performance. Through the application of a homemade simulator of the lithographic process, it is shown that photoresists with small polymer chains and small acid diffusion lengths form lines with low LWR and thus lead to transistors with more reliable electrical performance.     

基于视觉舒适的LED驱动器评价方法

文章旨在建立LED驱动器的综合评价系统,为不同场合下的驱动器选型提供指导性意见.首先分析了驱动器评价的关键因素,包含驱动电路自身性能及同系统寿命匹配等因素.研究表明,考虑驱动电流、驱动方式、调光过程等因素都会影响到LED发光光谱的变化、光源颜色变化甚至影响视觉舒适性.因此本文还创新性地加入调光线性度、调光稳定度、频闪等视觉舒适性因素作为LED驱动器的评价指标.鉴于评价因素众多且无法以简单方程统一描述,利用层次分析法综合主观与客观多方面因素,构架了一个包含系统性能、电路性能、视觉性能三个方面的LED驱动综合评价系统,最后通过一个应用案倒分析,进一步说明了该评价系统的应用方法.     

电压稳定研究中的戴维南等值参数求解方法分析

基于戴维南等值的电压稳定分析是电压稳定研究领域的一种重要方法,其中戴维南参数的求解方法对电压稳定分析结果有较大的影响。通过分析国内外求解戴维南参数的研究现状,将其求解方法分为基于全网信息和基于本地量测两大类。讨论了各方法的准确性、快速性和适用性等特性,分析认为基于偏差校正的方法求解载维南参数的精度高、速度快、适用范围广,有较好的发展前景。进一步对此类方法中基于向量空间分析的偏差校正方法与可自适应调整遗忘因子的递归最小二乘法进行了算例分析和对比,结果表明,前者有更强的准确性和有效性,适用于电压稳定的实时、在线分析。同时对求解戴维南参数时测量噪声处理、相量同步、滑动数据窗大小选择等关键问题进行了讨论,总结了各问题的解决方案。     

海上风电场-MMC互联系统频率耦合建模及稳定性分析

基于模块化多电平换流器(MMC)的柔性直流输电技术是深远海风电场电能传输的重要方案,但呈现多入多出(MIMO)特征的频率耦合效应对海上风电场-MMC互联系统稳定性构成新的挑战.已有MMC建模大多忽略了频率耦合效应,且对影响频率耦合效应关键作用机制的研究较少.针对上述问题,通过建立计及频率耦合效应的风场侧MMC等效序阻抗模型,对影响频率耦合效应及稳定性的关键作用因子进行分析评估.同时,为解决现有稳定性判据求解过程烦琐的问题,基于Gershgorin圆定理提出一种改进MIMO稳定性判据,其通过引入距离函数简化判稳过程.然后,基于该判据分析了各关键作用因子及频率耦合效应对系统稳定性的影响规律,并对该判据保守性进行定量分析.最后,通过仿真算例验证了理论分析的正确性.     

基于大规模V2G的区域电源低碳优化策略

碳达峰背景下可再生能源占比增加会降低系统灵活性、提高经济成本,并对电网运行稳定性造成冲击。随着电动汽车规模的扩大,其大规模接入电网时也会因充电不确定性而影响电网的稳定性。V2G(vehicle-to-grid)技术的实施使电动汽车规模化参与调峰辅助服务成为可能,故应将其纳入到未来的电力系统规划中。在考虑大规模电动汽车参与V2G调峰的基础上,重点研究了季节因素对电动汽车参与V2G出力的影响。以系统运行成本最小、电网侧负荷波动最小、用户侧经济收益最大建立了多目标规划模型,来优化电源结构,减少电源侧碳排放,提高系统整体经济效益。以我国河北省区域作为算例,设置不同情景进行研究分析。结果表明,规划期内V2G参与比例为70%时结果最优,电源侧碳排放降低3.45%,风、光消纳量提高10.18%,能够有效推动电源结构转型。     

大容量风电场接入后电网电压稳定性的计算分析与控制策略

由于风电场容量较大,并位于电网末端,可能会对电网的电压稳定性产生较大的影响。为保证风电场投入后的安全,按大干扰下风功率的转换特性及异步发电机的运行特性建立了风电场与相关电网的数学模型,计算了风电场与相关电网发生短路故障后的电压稳定性。通过数值仿真计算,揭示了风电场接入导致电网电压稳定性被破坏的机理,指出机组转速是影响风力机和异步发电机这两个能量转换器工作特性的关键参数,控制风电场内风机的速度增量是保持大容量风电场接入后电压稳定性的关键,靠近故障点的风电单元容量、故障点位置和故障持续时间是影响短路后电压稳定性的主要因素,并提出了大容量风电场接入后保证电网电压稳定性的策略与措施。     

基于敏捷业务需求的评价考核系统设计

随着管理的精细化,许多基于定性的评价考核逐步向定量化评价考核转化,考核评价工作是一个通过对其中指标体系中各个参量的赋值和建立在一定规则上的归集分析而得到最后综合性的考评结果或结论的过程.文章基于对多种评价考核系统的需求分析,从满足业务快速转换的敏捷需求角度分析提出系统的功能架构和系统架构设计,供应用开发参考.