气敏传感器的发展

综合介绍了气敏传感器的种类及其近期的发展以及MEMS技术对气敏传感器的推动，并着重对声表面波（SAW)气敏传感器及石英微天平（QCM)气敏传感器的结构、工作原理和涂层材料作了详细的介绍。     

单原子材料的制备、表征及其在气敏传感器中的应用进展

气敏传感器技术的发展对于人类社会发展具有积极的作用。近年来的研究显示,原子级分散的材料具有超高的活性、独特的电子结构和量子尺寸效应等,故将某些单原子负载在一定的气敏材料上,将会显著提高气敏材料的气敏性能。本文综述了近些年来国内外单原子材料的制备和表征技术及其在气敏传感器中的研究进展,分析了单原子材料的性能优势、单原子负载策略、分析方法、气敏性能、气敏机理等,同时探讨了存在的问题以及单原子材料气敏传感器在未来的发展趋势,最后对单原子材料在气敏传感器中的应用发展提出了相关的一些看法。     

气体传感器的研究及发展方向

介绍了气体传感器的特性;根据气体传感器使用的气敏材料以及气敏材料与气体相互作用的效应不同,对气体传感器进行了分类;介绍了目前气敏元件的加工技术;论述了气体传感器的发展方向。     

SnO_2复合薄膜甲烷气敏传感器研究进展

甲烷是具有稳定四面体分子结构的碳氢化合物,其键能大、分解困难且活性低,是煤矿安全生产的主要障碍及一种温室气体。SnO2半导体薄膜制备工艺简单、成本低廉、性能稳定,是甲烷传感器研发的主流气敏材料。科技人员进行了很多相关研究以提高传感器的性能,如新气敏材料的研究、催化剂/添加剂的使用、气敏机理的探索、传感器结构改进及气敏膜的表面修饰改性等。本文从气敏膜制备与改性、传感器结构设计及气敏机理研究三个方面,综述了近年来SnO2复合薄膜甲烷传感器的研究进展,结果表明:①应开发复合型金属氧化物半导体及高分子气敏材料,以提高灵敏度、选择性与稳定性;②研发微型智能传感器是未来发展的主要方向,而自组装技术应可用于制备金属氧化物半导体薄膜气体传感器微纳阵列;③气敏机理应与实验测试、材料设计及器件制备进行对照研究。     

纳米ZnO气敏传感器研究进展

半导体金属氧化物气敏传感器被广泛应用于有毒性气体、可燃性气体等的检测.ZnO是一种重要的半导体气敏材料,特别是纳米ZnO,由于其粒子尺寸小,比表面积大,成为被广泛研究的气敏响应材料之一.简要介绍了纳米ZnO气敏传感器的气敏机理、主要特性,综述了通过新型纳米形貌、结构制备以及元素掺杂改性提升纳米ZnO气敏性能等方面的研究进展,并进一步指出了纳米ZnO气敏传感器研究中存在的问题和未来的研究方向.     

应用半导体气敏传感器实现防毒面具滤毒盒失效指示的探讨

防毒面具的滤毒盒失效判断主要依靠嗅觉和规定使用时间，但这两种方法都存在明显局限。多年来人们寻求用一种客观的方法指示滤料失效。章对应用半导体气敏传感器实现防毒面具滤毒失效指示进行了探讨，对气敏元件的基本原理、选择性、分辩力、重复性、响应时等主要技术参数进行了阐述，对使用CGS气敏传感器的试验结果进行了分析讨论。结果表明，应用半导体气敏传感器实现防毒面具滤毒盒失效指示的技术途径是可行的，有着广泛的潜在市场和较大的社会经济效益。     

气敏传感器动态测试原理和FFT谱分析

气敏材料的动态测试方法可以大大提高气敏传感器的选择性，这一技术有较高的应用价值。在动态测试方法的研究基础上，本文采用傅里叶变换技术处理动态测试谱，可以更明确地区分气体种类，同时有利于计算机智能识别。同时，从固体材料物理的角度建立动态测试模型，讨论了动态测试机理。     

氧化锌气敏传感器性能的改善及在民航系统的应用

氧化锌是多功能N型半导体材料,具有优良的气敏性能,在气体传感器方面具有广泛的用途。氧化锌气敏材料及测试方法进一步优化后,传感器具有更高的灵敏度和更广泛的适用性。对纳米氧化锌传感器的气敏机理、改善气敏性能的主要方法以及传感器在民用航空方面的应用做了详细的综述。     

气敏传感器的近期进展

综合介绍了气敏传感器材料及元件的最新进展,侧重于气敏材料研究工作的概述,并分析了气敏传感器的发展趋势     

气敏传感器的近期展望

综合介绍了气敏传感器材料及元件的最新进展,侧重于气敏材料研究工作的概述,并分析了气敏传感器的发展趋势。     

三氧化钨纳米材料在二氧化氮气敏传感器中的研究进展

三氧化钨(WO_3)因其氧含量与氧缺陷随着环境因素变化而变化,使得其成为一种理想的二氧化氮(NO_2)气敏材料。简要介绍了WO_3材料的结构、特性和NO_2气敏机理,综述了近5年来高性能WO_3气敏材料在NO_2气体检测中的最新研究进展,分析了WO_3气敏材料存在的主要问题与挑战,重点讨论高比表面积WO_3材料、WO_3复合材料等的解决途径。最后,展望了WO_3气敏材料在NO_2气敏传感器中的发展方向和应用前景,提出了开发低电阻WO_3膜电极是未来高性能NO_2传感器的研究重点。     

半导体陶瓷型薄膜气敏传感器的研究进展

半导体陶瓷型薄膜气敏传感器,具有灵敏度高、与气体反应快、制备成本较低等优点,已经成为近年传感器研究和开发的重点．是未来气敏传感器的发展方向之一。本文介绍了陶瓷型半导体薄膜气敏传感器常见的器件结构、薄膜材料的主要制备方法．部分主要的半导体金属氧化物薄膜气敏材料．以及近期相关的研究进展,并扼要分析了今后的发展方向。     

基于ZIF8/rGO的高性能NO2室温传感器

二氧化氮气体是一种常见的大气污染物, 对自然环境和人类健康造成严重的危害, 开发检测该类有毒有害气体的高效检测设备势在必行。新型复合薄膜气体传感器可以在常温下对二氧化氮进行高选择性、高灵敏度检测, 为自然环境和人类健康保驾护航。本工作采用化学沉淀法和超声法制备了多孔、高比表面积的ZIF8/还原氧化石墨烯(ZIF8/rGO)复合材料, 以此为气敏材料构建NO₂传感器, 并系统研究了其在室温下对NO₂的气敏性能, 进一步探讨了ZIF8/rGO气敏传感器感应NO₂的可能机理。气敏实验结果表明：ZIF8/rGO气敏传感器对50×10^-6 NO₂的响应达到34.77%, 是纯rGO气敏传感器的3.2倍。ZIF8/rGO传感器在4个可逆循环测试中表现出较好的可重复性, RSD(Relative Standard Deviation)为3.9%。此外, ZIF8/rGO传感器表现出优秀的长期稳定性(RSD为2.5%)、选择性和低的检出限(3.8×10^-8)。室温下灵敏感应NO₂的气敏性能主要归因于ZIF8的多孔结构和超大的比表面积以及rGO的优越性能。本工作将为ZIF8/rGO作为气敏材料检测有毒有害的NO₂气体提供新思路。     

半导体气体传感器新近发展动态

本文简要介绍了国内外半导体气体传感器的生产情况,评述了半导体气体传感器目前发展动向。认为超微粒技术、L-B 膜技术对促进气敏技术很有意义。本文还强调气敏基础研究的重要性,提出从表面和催化伪度出发研究气敏材料是有意义的,并讨论了催化和气敏的关系。     

基于SnO2薄膜气体传感器的设计与制作（英文）

设计了一种带硅岛结构的基于SnO2薄膜材料的共面式气体传感器.利用有限元工具对传感器进行了稳态热分析,分析结果表明这种传感器在33.84 mW的功耗下最高温度达到400℃,气敏薄膜上温度分布均匀.详细阐述了传感器的制作过程,过程中总共使用4块掩模版用于光刻工艺.采用溶胶-凝胶法制备了SnO2纳米薄膜作为传感器的气敏元件.对传感器进行了气敏测试,实验结果表明该传感器拥有良好的气敏性能,在300℃下对50×10-6到2 000×10-6氢气的灵敏度逐渐递增,反应时间可控制在10 s以内.     

聚吡咯复合纳米纤维气敏材料的响应特性

采用静电纺丝法和气相聚合法制备了聚吡咯和聚偏氟乙烯复合纳米纤维气敏材料及气体传感器;研究对比了复合纳米纤维气敏材料与复合薄膜气敏材料对于400×10-6～3600×10-6氨气的室温响应特性。     

多功能NiO—SnO2气敏材料的敏感特性

采用化学共淀淀法合成了不同配比的ＮｉＯ－ＳｎＯ２气敏材料，用Ｘ射线衍射法分析材料的结构与组成，测试了元件的气敏性能，并利用表面催化作用较好的解释了材料的敏感机理，通过改变ＮｉＯ的掺杂量及气敏元件的加热功率，ＮｉＯ－ＳｎＯ２材料可分别实现对Ｈ２，Ｃ２Ｈ５ＯＨ的选择性检测以及对Ｃ２Ｈ５ＯＨ、Ｈ２、ＣＯ、Ｃ４Ｈ１０和汽油等气体的广谱检测。     

CuO在气敏传感器中的应用研究进展

综述了近年来CuO在气敏传感器中的应用研究进展,主要包括纳米结构CuO作为主体传感材料以及掺杂剂时的应用。着重介绍了一维CuO纳米线、纳米棒、纳米管的制备方法及其对常见多种可燃或有毒气体的气敏响应情况。指出了纳米结构CuO是今后CuO在气敏传感器中的重点发展方向,最后提出了CuO气敏材料应用时存在的一些问题以及今后的研究工作重点。     

气敏材料及其传感器选择性研究进展

选择性是评价气敏传感器使用价值的重要性能指标.综述了近年来国内外气敏材料及其传感器选择性方面的研究进展,从气敏机理详细分析了影响传感器选择性的因素,重点介绍了提高气敏选择性的新技术、新方法,如掺杂、气体过滤膜、纳米技术、制备复合型气敏元件等,详细探讨了其工作机理,并简要介绍了气敏选择性未来的研究趋势.     

MEMS气敏传感器

随着MEMS技术的飞速发展，各种MEMS器件和系统相继问世，MEMS气敏传感器是其中之一。本文重点介绍了7种MEMS气敏传感器。