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为实现芯片电容参数测量过程中的有效开路,提高在片电容测量的准确性及一致性,针对在片电容开路方法开展了研究工作。通过对标准电容器及开路器原理结构进行分析,结合半导体芯片工艺测试实际需求,设计并制作了在片开路器。在完成在片电容测试系统搭建基础上,分别利用传统悬空开路法和在片开路法对1pF量值的在片电容进行了测量。实验数据显示,同悬空开路法相比,在片开路法电容测量结果的准确性及一致性有显著提升,测量重复性可达0.01%,为芯片电容计量测试工作提供了有效开路手段。 相似文献
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通过使用露点仪作为标准器在投入式和引出式两种不同使用方式下,在不同相对湿度段对湿度传感器相对湿度的测量结果的进行实验研究。数据分析表明,作为露点仪标准器常规的投入式测量方式产生的热效应会给湿度传感器的相对湿度测量结果带来不确定度,露点仪作为引出式来测量湿度传感器的科学性。 相似文献
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孤立波方法被证实可用于测量均匀与非均匀材料的杨氏模量,而用于采集信号的孤立波传感器的性能直接决定测量结果的精度。介绍了两种基于不同原理的孤立波传感器,分别为采用压电材料制成的圆柱传感器,与基于维拉里与法拉第效应的磁致伸缩传感器。利用两种传感器分别测量了同一批水灰比分别为0.42、0.45与0.50的混凝土样本,将两者100次的测量结果均值与标准参考值相对比,从而对比两种传感器测量的精度。同时,分别分析了两者测量值的标准偏差,对比两者的可重复性强度。实验结果表明,三种水灰比样本的测量值相对于标准参考值,圆柱压力传感器的偏差率分别为6.48%、5.04%与1.85%,磁致伸缩传感器的偏差率分别为0.78%、3.08%与4.94%,因此两种传感器的误差率均低于10%,均可用与实际测量中,但后者的精度略高于前者,同时后者的标准偏差低于前者,因此具有更高的可重复性。 相似文献
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传统的流速传感器体型较大,既不适合3D打印风场内部安装,又会干扰到进口流场分布,影响加工产品的质量。针对目前3D打印现场风场内风速无法实时、准确测量的问题,提出一种基于边云协同的3D打印风场流速测量技术。该技术通过设计芯片流速传感器、流速采集终端、云服务器流速测量系统,实现了在不干扰风场的条件下,远程、实时、精确地测量3D打印风场进口流速。研制的流速测量系统具有精度高、体积小、易安装、不影响3D打印风场的特点,该系统可以进行现场实时监测测量,也可以使用远程终端计算机通过互联网进行远程流速监测测量。 相似文献
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针对高准确度超宽量程力值测量的需求,本文提出了一种基于组合式力传感器的力值测量方法,通过对小量程和大量程力传感器的转换,在保证测量准确度的前提下,有效扩展了力传感器的力值测量范围,并进行了实验验证,实验结果表明:采用该组合式力传感器的力值测量方法可以有效扩展单只力传感器测量范围,使传统力传感器的测量范围从额定力值的(10~100)%测量范围扩展到(1~100)%测量范围,该组合式力传感器的准确度高,可以达到0. 01级标准测量仪的技术指标要求,可以作为参考力传感器应用在超宽量程力标准机或材料试验机上。 相似文献
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提出了一种增强型的在片SOLR校准方法(eSOLR),结合无需定义的直通传输线标准,2对对称的反射标准(开路标准、短路标准)和1对准确定义的负载标准,实现微波毫米波频段的校准测试。详细给出了8项误差模型的求解过程,同时采用校准比较算法对商用校准方法和eSOLR进行了验证。实验结果表明,eSOLR优于现有的商用SOLT、LRRM校准方法。0.2~110GHz陶瓷衬底的无源失配衰减器验证件测量结果表明,新方法S11测量结果更加连续,测量结果与多线TRL更为吻合。 相似文献
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本文依据涡流位移传感器的测量原理,通过分析测量结果的各不确定度分量,进而合成标准不确定度,对传感器灵敏度的测量结果进行分析,为涡流传感器测量位移数据提供判断依据。 相似文献
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《真空科学与技术学报》2017,(6)
本文介绍了一种具有双侧波导同轴线耦合结构的新型微波等离子体源。通过电磁场模拟计算和等离子体发射光谱测量对同轴线耦合反应腔内部结构进行了优化,研究了线形等离子体源腔体结构对等离子体均匀性和长度的影响,并且在杆状样品表面进行了金刚石薄膜的沉积实验。实验结果表明:双侧波导同轴线耦合式新型线形等离子体源可以在引导天线表面产生圆柱状的线形等离子体,其等离子体的均匀性和长度受腔体内部结构的影响,在引导天线外径为4 mm,单侧模式匹配棒伸入量为10 mm的腔体结构下,等离子体的均匀性大于90%。通过对杆状样品表面不同位置处金刚石膜质量和等离子体沉积环境的测量,进一步验证了等离子体的均匀性。此外,线形等离子体的长度受引导天线长度和工作气压影响,这主要与反应腔内电磁场分布以及微波传输衰减有关。 相似文献
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《中国测试》2020,(6)
电机动态扭矩一般使用扭矩传感器测量,但扭矩传感器应变片粘贴的角度容易发生改变,且长期使用容易变形,造成测量结果误差较大,无法实现对电机动态扭矩的长期测量。为此,提出一种扭矩传感器行为模型测量扭矩的方案,以直流无刷电机为负载电机,利用标准扭矩传感器测量负载电机的电流和扭矩,通过采用线性回归的方法得到扭矩传感器的行为模型,再利用该模型替代扭矩传感器来测量电机扭矩。该方法克服因扭矩传感器的安装、应变片变形等对扭矩测量精度的影响。基于该方法设计行为模型测量动态扭矩的系统,以750 W永磁同步电机为被测对象,分别使用该系统与使用扭矩传感器方法测试比较,该方法测量动态扭矩时相对扭矩传感器测量的动态扭矩最大相对误差为1.90%,非线性误差为1.84%,重复性误差为0.084%。结果表明:使用行为模型可代替扭矩传感器测量电机动态扭矩,有利于对电机动态扭矩的长期稳定测量,且系统在体积、成本、结构以及操作维护方面都更具优势。 相似文献
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城轨车辆柔度系数的测试方法研究 总被引:1,自引:0,他引:1
为提升国内城轨车辆设计水平,参考国外铁路标准,开展了城轨车辆柔度系数测量的研究工作,设计了3种不同的柔度系数测量方法.对3种方法的测量原理和应用范围进行了分析和描述,针对不同的测量方法,给出了相应传感器的选择和误差分析说明.通过某地铁车辆利用加速度传感器测量柔度系数的测量结果(试验曲线),验证了测量方法的有效性. 相似文献