纳机电系统

纳机电系统(NEMS)是基于微机电系统发展起来的新兴技术领域，同时也是纳米技术的重要组成部分．文中介绍了NEMS器件的微小尺寸、超高频率和超低能耗等重要特性，并列举了NEMS在生物、信息和纳米流体学等领域的应用．最后讨论了NEMS在发展中遇到的问题和涉及到的关键技术，如微观效应的影响，NEMS加工技术，NEMS的设计、仿真和优化，NEMS器件的驱动与检测，NEMS器件与宏观世界的通讯等．     

微型磁通门式磁敏感器(MEMSMag)

基于MEMS技术的微型磁通门式磁敏感器是磁场测量技术和微机电系统(MEMS)技术交叉研究领域的一个热点,在航空航天领域特别是在纳型/皮型卫星技术中有着重要的应用.本文介绍了该类磁敏感器所运用的磁通门效应的原理.从磁芯、线圈和整体结构布局等方面分析了现有的各种微型磁通门式磁敏感器的结构特征.并依据磁通门原理和各种微型磁通门式磁敏感器的结构特点,设计了一种两轴微型磁通门式磁敏感器.这种新型的磁敏感器具有对称结构、闭合磁路、差动形式、柔性连接等显著特点.     

纳米薄膜界面滑移现象的分子动力学模拟进展

随着先进制造技术的发展,许多精密系统中的薄膜厚度已经接近纳米量级。由于纳米尺度的特殊性,宏观尺度下的界面性质将不再适用,因此探索纳米尺度下的界面性质对于微机电系统(MEMS)甚至纳机电系统(NEMS)中涉及到的润滑薄膜研究具有非常重要的价值。Couette流动作为剪切驱动流动的原形,在研究薄膜界面滑移现象上具有较高的代表性。在总结国内外该方向研究成果的基础上,详细介绍和讨论了纳米尺度薄膜Couette流动的分子动力学方法,总结了现有的滑移现象和规律,并对今后的发展进行了展望。     

第一届IEEE纳米／微米工程及分子系统国际年会

第一届IEEE纳米／微米工程及分子系统国际年会（IEEE NEMS）将在中国珠海举行．IEEE NEMS是IEEE纳米技术委员召开的第一次会议，会议将召集世界顶尖学者就几个关于MEMS和纳米科技专题展开讨论，推动最新的研究成果的共享，促进跨领域学科信息、知识的互通，从而增进各技术领域的发展．微机电系统最终发展至纳米机电系统但同时对于构建完整的纳米器件及其系统又不可或缺．可以预见，在不远的将来微纳米科技将会发展成为影响全球发展和人类生活的重要技术之一．     

基于干法刻蚀技术的氮化镓MEMS加工工艺(英文)

氮化镓(GaN)材料已成功应用于光电子器件、高频功率器件等领域.近年来,由于GaN优异的材料特性,例如机械、热、化学稳定性以及生物兼容性等,使基于GaN的微机电系统(MEMS)得到了学术界的广泛关注.针对氮化镓MEMS结构的有效的图形化及释放技术是工艺研究的重点.设计、采用了一种全干法刻蚀技术,实现了(111)晶向硅衬底上的氮化镓基MEMS微结构的加工制造.利用提出的工艺方案,实现了多种悬浮GaN微结构的加工与测试表征实验.通过电子扫描显微镜(SEM)和光学轮廓仪进行了基本形貌表征;利用微拉曼光谱实验进行了加工结构的残余应力表征.     

纳机电系统研究进展

综述了纳机电系统（NEMS）的研究进展；介绍了美国与欧洲在NEMS军用和航空航天领域的研究目标和进展，以及一些典型NEMS器件的应用；讨论了NEMS检测与表征技术以及NEMS制造技术；探讨了NEMS研究发展趋势。     

MEMS扫描镜机电特性测量系统的设计

本文在微机电(MEMS)技术上设计并加工出了一种新型基于SOI工艺的谐振式微扫描镜,设计了MEMS扫描镜机电特性测量系统,对MEMS扫描镜的工作原理、机电特性、系统测量方法、系统方案实现和系统精度评定等方面进行了研究.首先,介绍了MEMS扫描镜的工作原理,对其结构设计及机电特性进行了研究.其次,研究了MEMS扫描镜的频...     

微机电系统的发展及其应用

微机电系统是在微电子技术基础上产生和发展起来的多学科交叉的前沿科学研究领域，是面向21世纪的高新科技．介绍了微机电系统产生的背景影响、组成特征和基础研究内容，综述了微机电系统技术基础所涉及的材料、微机械设计和模、微细加工技术以及微封装与测试等领域，并对微机电系统的应用、典型的微器件、国内外的发展现状及前景进行全面分析．在此基础上，论述了MEMS技术目前存在的问题和未来发展的趋势．     

微机电系统产量增加、价格下降

新型微机电系统传感器将会集成更多的安全性能微机电系统(MEMS,或称微电子机械系统)传感器(http://designnews.com.cn/0901-201.aspx)在汽车行业中的新型应用即将出现,预计在接下来的     

2005（第四届）中国纳米科技西安研讨会即将召开

今年9月即将在西安召开的“2005(第四届)中国纳米科技西安研讨会”前期工作进展顺利,目前回执确认的报名参会代表已达361人,预计到会400人左右。这次大会的主席为师昌绪院士和解思深院士。大会特邀中科院副院长、国家纳米科技中心主任白春礼,中国微米纳米技术学会副理事长解思深等17位院士、教授级学者作学术报告。报告主题为:纳米技术的最新发展动向;纳米技术的产业化现状与趋势;纳米材料(粉体、薄膜、纤维、碳纳米管、流体、块体等)的制备与特性;纳米材料(粉体、薄膜、流体、块体等)的应用与产业化;纳米电子技术与纳米器件;纳米医学与生命科学;微纳机电系统(MEMS、NEMS)技术;纳米能源技术;纳米信息技术;纳米加工技术;纳米测量技术;纳米科学技术的基础研究和交叉学科及相关领域。     

铁电共聚物P(VDF-TrFE)电子辐照的相变特性与弛豫现象研究

利用X射线衍射、差分扫描热分析(DSC)、电滞回线和介电常数的测量等研究了经高能电子辐照的共聚物P(VDF-TrFE) 56/44 mol%和80/20 mol%的相变特性和弛豫现象.结果表明,适量电子辐照不仅可以把低VDF含量的P(VDF-TrFE)56/44 mol%从正常铁电体转变为弛豫铁电体,而且可以把高VDF含量的P(VDF-TrFE)80/20 mol%转变为驰豫铁电材料.从而为此类巨电致伸缩材料的应用奠定了基础,扩大了其在机电装置方面的应用范围.     

MEMS器件在药物释放中的应用与展望

近年来,随着微纳加工技术的不断发展,基于微机电系统(MEMS)技术精度高、尺寸小及生物兼容等特性,MEMS器件在生物医疗方面被广泛应用.本文介绍了MEMS器件在药物释放中的应用研究进展,主要包括微泵、微针阵列、微储药库以及微流控系统的制造、发展及应用情况.最后阐述了MEMS器件在药物释放中存在的问题和面临的挑战,同时对未来的发展进行了展望.     

三维微柱阵列电极的电化学性能(英文)

随着MEMS技术的发展,对微纳尺寸器件的需求日益凸显,微能源的研究变得尤为重要,而微型超级电容器则是其中一种基于电化学电容实现储能的微型能量存储器件.设计了一种基于氧化钌功能薄膜的三维微柱阵列电极,并进行了相关的扫描电镜(SEM)、循环伏安(CV)和交流阻抗谱(EIS)测试.测试表明在2 mm×2 mm的硅片上,直径为50μm、高为100μm的三维微柱阵列电极的比电容为2.43 F/cm2,具有良好的电化学性能.与同容量的二维平面电极相比,基于三维结构的微型超级电容器具有明显的小尺寸优势.     

微机电系统在计量领域的应用

正一、微机电系统的发展现状微型机械电子系统(Micro Electro Mechanical Systems,MEMS)是指由微传感器、微执行器、信号处理和控制集成电路以及微型能源等组成的、高度集成化的、具有信息获取、信息处理以及信息输出和控制功能的微型系统(Micro Systems),俗称微机电系统。它是在集成电路(IC)加工技术基础上发展起来的新兴研究领域,涵盖力学、电磁学、热力学、化学、光学、材料科学等多个学科,是21世纪最有发展前途的技术之一,被誉为"第二次硅技术革命"。对于MEMS的定义,还没有一个统一的确切描述,各个国家基于各自不同的发展背景和认识上的侧重点,提出了几种不同的定义。     

纳米集成电路中镍基CMP工艺(英文)

机械化学抛光(CMP)工艺普遍应用于纳/微机械制造中,特别是复杂的层状结构MEMS.鉴于镍及镍基合金具有高的沉积速率、可控的薄层应力、低的电阻和制备温度以及机械特性,本文研究了镍及镍基合金用于具有运动结构的纳/微EMS器件的可行性,重点研究了基于镍的CMP工艺,其电化学势的变化用电动势极化曲线进行了分析,镍膜层表面用XPS和SEM进行了分析,结果表明:镍的刻蚀速率随着双氧水和缓蚀剂EDTA浓度中加而增加,在双氧水浓度在1%左右时达到最大.其刻蚀过程的动态和静态的电动势极化曲线具有明显不同,XPS分析表明:无双氧水的刻蚀液薄膜表面主要是形成NiO,存在H2O2的刻蚀液薄膜表面主要是形成Ni(OH)2,表面的镍所处的电化学状态是影响刻蚀行为的主要原因.     

硅材料表面减摩抗磨改性研究现状与展望

近年来,微机电系统(MEMS)发展迅猛,但系统中可发生相对运动的微构件之间的摩擦磨损问题未能得到很好地解决,限制了其进一步的广泛应用和深入发展.主要对固体薄膜润滑、分子超薄膜润滑、离子注入、微织构及石墨烯膜层表面改性方法在微机电系统减摩抗磨方面的研究现状和进展进行了归纳总结,指出应当继续深化硅材料复合表面改性技术及改性层摩擦行为的研究,加强对新型复合表面改性技术的创新和探索.本研究对于拓展MEMS的使用寿命研究具有一定的借鉴意义.     

功能材料在MEMS中的应用及进展

以硅材料为基础的微机电系统MEMS被人们认为是21世纪革命性的新技术,是实现信息采集、处理、执行一体化,使之成为真正的系统.本文论述了MEMS的加工技术对材料提出的要求,以及近年来各种硅材料和功能材料在MEMS的应用和最新进展.     

空间微机电系统的研究与进展

介绍了微机电系统的基本原理及其在空间应用的发展概况,着重介绍了空间微传感器、微执行器、RF-MEMS、MOEMS、微仪器和微/纳卫星的研究与进展情况。     

浅析微机电系统（MEMS）的发展瓶颈及趋势

文章简要介绍微机电系统（MEMS）的发展现状及应用，并根据发展和应用现状分析MEMS发展的瓶颈和面临的问题。在此基础上，阐述MEMS的发展趋势。     

立体微型器件的微制造技术及其在微机电系统(MEMS)的应用

综述了近年来与微型机电系统（MEMS）相关的材料微制造和微加工技术的最新研究进展.重点介绍了如何利用硅晶片作为微型模具来制备压电陶瓷和热电材料的微型柱状阵列结构和反应烧结碳化硅微型转子等微制造技术,并展望了材料微制造技术在研制微型医疗器件和微型移动能源方面的应用前景.