MOEMS器件研究及其应用

近年来,随着光通信突飞猛进的发展,推动了微光机电系统(MOEMS)的发展.MOEMS是将电子、光学和机械器件集成在一起的微型组件或系统,可采用集成电路(IC)工艺进行批量生产,其尺寸在微米至毫米范围之间.这种系统可在微域内实现自动控制、检测、执行任务,并在宏观上实现特定的功能.本文从MOEMS器件的制作工艺、设计及应用等方面作了探讨,对其前景作了展望,MOEMS器件将在光通信、光开关、光数据存储、光互连等领域广泛应用.     

微型光电机械系统技术在光通信中的应用及展望

通信是微型光电机械系统技术的一个非常重要的应用领域。本文从光交换技术、光连接技术、光开关、光调制器、滤波器、微光学组装技术、微型激光器等多个方面介绍了微型光电机械系统技术在光通信中的应用情况,并对微光机电系统技术的发展作了展望。     

微光机电系统MOEMS浅说

微光机电系统MOEMS（microoptical-electro-mechanical-system）来源于微机电系统MEMS技术和微光学技术的不断发展,以其高度的智能化、集成化、微型化,广泛应用于日常生活各领域和高、精、尖装备的设计生产中。MOEMS从系统的观点出发,根据系统功能目标和优化组织结构目标,以智能、动力、结构、运动和感知组成要素为基础,     

MOEMS阿达玛变换光谱仪的可动光栅光开关阵列

根据微弱光谱信号的快速检测原理,构建了一种适用于阿达玛变换光谱仪的MOEMS(微光机电系统)可动光栅光开关阵列。对一种适用于补偿光栅光调制器件加工误差的阿达玛变换算法进行了分析,设计了以Al膜为主的表面微加工工艺流程,制作出MOEMS可动光栅光开关阵列。实验测试结果表明,可动光栅光开关阵列可以在低至8.1V的电压下进行光调制,开关频率达到140Hz,完全可以满足阿达玛变换光谱仪调制速度快、光谱范围宽、机械磨损小和误差小等要求。     

微型可编程相位光栅的理论特性研究

本文提出了一种基于微光机电系统（MOEMS）的新型可编程相位光栅技术，并对其工作原理和理论特性进行了分析和研究，同时给出部分数值仿真结果，并得出了一些重要的结论。     

微光机电系统应用于先进医疗工程的研究：——微创伤外科手术机器人的 …

本文论述了微光机电系统及其在微创伤外科领域应用的研究现状,介绍了向种基于微光机电系统的微创伤外科手术机器人系统,对我国现代医学工程发展有参考价值     

微型光谱仪的发展现状

光谱仪是种类繁多、应用极为广泛的一种理化分析仪器,微加工技术的发展和MEMS(微机电系统)、MOEMS(微光机电系统)技术的出现为其微小型化提供了可能性,本文着重就采用新型滤光技术的微型光谱仪、利用光纤制作的微型光谱仪以及集成式光谱仪进行介绍.光谱仪的微小型化是我国微型仪器的一个重要发展方向.     

微光机电系统应用于先进医疗工程的研究——微创伤外科手术机器人的研制与发展

本文论述了微光机电系统及其在微创伤外科领域应用的研究现状,介绍了几种基于微光机电系统的微创伤外科手术机器人系统,对我国现代医学工程发展有参考价值.     

微光学机电系统的发展和应用

论述了微光学机电系统(MOEMS)的研究状况和已研制的系统的结构工艺与工作原理,对其发展和应用前景进行讨论。     

微型光谱仪技术的实用化前景展望

光谱仪作为一类重要的测试仪器，随着微光机电系统的发展，其微型化趋势日益明显。光谱仪的小型化趋势可以追溯到20世纪90年代，经过十几年的发展，国际上已经出现了很多种采用先进制造技术的微型光谱仪，国内也有很多科研院所致力于微型光谱技术的研发。目前，国际上的微型光谱仪主要是依靠MOEMS、LIGA、二元光学和集成光学光波导技术等微细加工技术进行制造，有些尚处于实验室原理样机阶段，但是随着微细加工制造技术的飞速发展，批量生产商品化的微型光谱仪已经为时不晚。本文重点介绍了基于调制原理和基于光纤传感特性的两类微型光谱技术，阐述了发展微型光谱仪器技术的重要意义。