基于宽光谱的嵌入式膜厚监控系统

为了实时准确监控光学镀膜膜层厚度,基于宽光谱扫描法,结合嵌入式控制技术,开发出一套以ARM9与Linux系统的高效嵌入系统为基础,应用于光学镀膜工艺过程监控镀膜层厚度的监控系统。本系统能通过在薄膜生长过程中实时、高精度地测量其宽光谱特性,对镀膜过程进行自动控制。详细阐述了该系统的工作原理、硬件系统和软件系统,实验结果表明,系统具有较高的监控能力,性能稳定。     

光学镀膜领域内的问题

薄膜可以改变光学另件的物理—化学特性并广泛应用在光学机械工业上。借助薄膜可以调节通过光学另件光的方向、强度与光谱成份。现在难于找到不镀膜的光学另件。薄膜光学—光学的新分支,在最近几年由于出现新的方向,例如量子电子学、彩色电视、全息学而使它迅速发展起来。     

消应力消偏振胶合棱镜二向色膜的设计与制备

根据薄膜的偏振效应,运用Essential Macleod光学薄膜设计软件,完成DVD棱镜中消偏振二向色膜的设计,并采用光控法精确控制膜层厚度,制备出了满足客户要求的消偏振分光棱镜。残余应力大的薄膜容易产生脱膜现象,使得薄膜失去所需功能。为了消除薄膜应力,从膜料之间应力匹配关系及制备工艺2个方面,提出了控制薄膜应力的设计思想,并对其影响进行了讨论,利用镀膜前后光圈变化来反映膜层应力的大小。制备过程中,通过设计制作可调工装来改变镀膜有效孔径,通过调节标准块来满足非常严格的镀膜有效孔径要求。本文给出了该棱镜的消偏振膜系的设计和试验结果。     

光学薄膜淀积的计算机仿真

介绍了利用计算机对光学薄膜淀积过程进行仿真,编写了基于Matlab的计算机仿真程序.对采用反射率极值法监控的镀膜系统的薄膜淀积结果以及薄膜淀积过程中监控片透射率的实时变化进行了模拟,根据模拟结果所计算的薄膜的光学特性曲线与成膜的实测结果一致.     

光学薄膜淀积的计算机仿真

介绍了利用计算机对光学薄膜淀积过程进行仿真,编写了基于Matlab的计算机仿真程序.对采用反射率极值法监控的镀膜系统的薄膜淀积结果以及薄膜淀积过程中监控片透射率的实时变化进行了模拟,根据模拟结果所计算的薄膜的光学特性曲线与成膜的实测结果一致.     

双重膜厚监控在中远红外光学镀膜工艺中的应用

为提高中远红外增透膜镀膜工艺中膜厚监控的精度,对石英晶振监控和光学极值法监控进行了对比研究,分析了两者的优缺点。通过对两种监控方法的结合,在镀膜工艺中应用一种新的薄膜厚度监控方法——双重监控法。该方法适合于监控中长波段红外光学薄膜的沉积,提高了膜厚监控的精度。     

光学干涉滤光片的石英晶体膜厚自动监控技术

介绍了用石英晶体膜厚控制仪全自动生产光学干涉滤光片的系统结构、镀膜参数和主要结果。讨论了通过改进离子辅助镀膜工艺提高T iO2薄膜折射率稳定性对于应用石英晶体膜厚监控技术的重要性。     

膜厚控制仪

一、序言在现代科学技术蓬勃发展的形势下,要求光学镀膜工艺能够精确地控制真空蒸发金属或非金属薄膜的厚度,以满足广泛应用的各种光学系统的需要。目前国内外镀膜工作中控制光学镀膜厚度     

808nm含铝半导体激光器的腔面镀膜

研究了高功率808nm量子阱脊型波导结构含铝半导体激光器在空气中解理时不同镀膜方法对输出激光功率的影响,讨论了半导体激光器的灾变性光学镜面损伤机理及其腔面钝化薄膜的选择特性。对半导体激光器管芯前后腔面不镀膜,前后腔面镀上反射膜和前后腔面先镀上钝化薄膜再镀腔面反射膜方法进行了对比,测试了半导体激光器的输出功率。结果表明,先镀上钝化薄膜的器件比只镀上腔面反射膜的器件输出的激光功率高36%。只镀腔面反射膜的半导体激光器器件在电流为5A时就失效了,而镀钝化膜的器件在电流为6A时仍未失效,说明镀钝化薄膜的器件能有效地防止灾变性光学损伤和灾变性光学镜面损伤。在半导体激光器芯片腔面镀上钝化薄膜是提高大功率半导体激光器输出功率的有效方法。     

军用技术转民用推广目录(续)

正17高损伤阈值激光薄膜元件制造及产业化【技术开发单位】中国科学院上海光学精密机械研究所通过建立和优化光学元件机械加工、清洗、镀膜、检测技术,形成完善的高损伤阈值激光薄膜元件制备技术方案及生产流程线,从而完成高损伤阈值、优良光性质量和波面质量的激光薄膜元件制造产业     

基于ASP的VPDM系统研究

分析了虚拟企业对虚拟产品数据管理（VPDM）的需求，结合ASP模式的先进实施理念，提出了基于ASP模式的VPDM系统概念；分析了VPDM与传统PDM之间的区别；并基于B／W／D三段式结构，阐述了基于ASP模式的VPDM体系结构；最后讨论实现该系统的方法和一些关键技术。     

转子轴花键的铣削

介绍了利用大径定心的花键轴花键的实用加工方法。     

开关柜温升问题探讨

电力行业中广泛应用的手车式大电流开关柜在用电高峰期,长时间满负荷运行的情况下,由于各种原因大多存在温升超标问题,对供电设备的安全和供电可靠性构成较大的威胁。分析了开关柜温升过高导致的开关柜故障类型及温升过高产生的原因,探讨温升过高问题的改进措施和解决方案。     

基于B/S结构在线监控研究应用

简述了DCOM、ActiveX等组件模型,结合ASP技术在Internet/Intranet环境下实现了基于Browser/Server结构锅炉在线监控.该系统在DCOM技术基础上通过ADO编程实现数据传输和访问,结合ASP和ActiveX控件技术实现动态发布和在线监测.     

滚子表面缺陷分析

采用金相分析以及扫描电镜、能谱分析等试验方法对滚子表面缺陷进行了分析.结果表明:滚子表面的麻坑(黑点)缺陷是腐蚀坑,主要是由于热处理炉保护气氛不纯,滚子在高温状态下产生表面腐蚀而形成.     

管路液力冲击的解析研究

分析阀门开闭引起管路液力冲击的机理,计算换向阀换向时管路实际压力冲击突变值及换向阀阀芯所受液动力并进行实验验证。     

基于MATLAB仿真的SVPWM技术研究

为了给交流异步电机伺服系统提供必要的设计数据,根据SVPWM的基本原理和实现算法,基于MATLAB/Simulink平台搭建了SVPWM仿真模型,将该模型应用到异步电机的矢量控制系统中进行了仿真。结果表明,SVPWM控制方式提高了整个系统运行的稳定性和可靠性。     

电火花成形机床微细加工相关探索

首先简要介绍了电火花微细加工目前的发展状况。并概括地分析了商品电火花成形机用于微细加工所具有的一些特殊优势。最后通过微轴的加工实例来证实其进行实用微细加工的可行性。     

基于时间序列电流偏差因子的电源-电弧系统稳定性研究

运用偏微分近似理论,在考虑焊接外电路动态全负载情况下,对电源-电弧系统稳定性进行了模型刻画,得出系统稳定系数的数学解析式,依此定性并量化分析了系统稳定性的基本条件和最优条件。在此基础上,采用电流偏差相对转换方法,获得了动态电流偏差因子的时间序列解析表达式,进而通过偏差衰减时间方式来量化分析系统的稳定性。实验的电压与电流波形分析结果与动态电流偏差因子量化结果一致。     

基于PKI技术的PMI的研究与实现

身份认证和权限管理是网络安全的两个核心内容。研发了一个基于公共密钥基础设施技术的权限管理基础设施系统。提出了一个基于属性证书和条件化的基于角色的访问控制、进行权限管理的权限管理基础设施访问控制模型,提供了属性证书的两种提交方式,即“推”模式和“拉”模式,并在此模型的基础上给出了该系统的实现,最后给出了该系统的一个应用实例。实践证明,该系统提供了一个较好的解决方案和实现,基本上能够满足大型应用(上百万用户)的用户需求。