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该微型机控制的自动砂轮划片机主要用于半导体工业中,可对已成管芯的薄硅片进行切割。具有切割质量好、成品率高等优点。本文介绍了该机的结构、技术指标和使用情况及良好的经济效果。图3,表1。 相似文献
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以IC划片机数控轴位移空间误差的分析为基础,采用激光干涉仪测量小步距直线位移精度,并应用4线分步体对角线法测量空间位移误差,进而提出了双向小步距直线位移与空间误差补偿方法。将该补偿方法应用于划片机,划片步距精度和切割深度的控制精度能提高50%以上。 相似文献
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划片机定位精度的设计 总被引:1,自引:0,他引:1
袁慧珠 《仪表技术与传感器》2003,(7):51-52
介绍了如何在划片机的设计、划片机的装配调整以及划片机工作过程中的误差校正3个方面的问题,达到划片机对定位精度的要求。 相似文献
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高英 《仪表技术与传感器》1986,(3)
第四讲微型机应用系统设计实例前面各讲讨论了组成实用微机系统的基本原理和设计方法。这一讲主要介绍一个微机应用系统设计实例。一、微型机对加工过程的控制现介绍ZSH-1型砂轮划片机控制系统。该设备用来切削半导体工业中的已成管芯的硅片,此外还可切陶瓷、石英等脆硬薄片材料。它是利用高速切削原理完成工件加工的。 相似文献
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介绍了伺服系统在砂轮划片机中的应用情况。根据ZSH5型划片机的机械结构和工作台的应用特点,详细说明了ZSH5型划片机伺服系统选型时的理论计算方法和具体步骤。同时,介绍了伺服系统的一些主要特点,总结了伺服系统中一些重要参数的设置方法和调试经验,包括电子齿轮比、速度环和位置环参数等。 相似文献
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介绍了硅片加工过程中3种划片方法及划片机国内外发展趋势.对金刚石砂轮刀片进行力学分析,应用有限元分析软件建立砂轮刀片回转模型,得到刀片的应力图.通过仿真得到:砂轮刀片切向应力总是大于径向应力,切向应力的最大值发生在砂轮刀片孔壁处.并且,应用基于特征的实体造型系统Pro/Engineer,建立了划片机划切过程模拟模型.为进一步进行参数化设计打下基础. 相似文献
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ZSH-Ⅲ型自动砂轮划片机是用于半导体生产企业的精密专用设备。本文介绍了ZSH-Ⅲ型自动砂轮划片机的设计思想,设计方案,主要技术关键,主要技术参数以及存在的问题。该设备已经小批量生产。 相似文献
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红光 《仪表技术与传感器》1973,(6)
日本电气公司最近制成了一种SL411型的新式划片机,它采用钇铝石榴石激光振荡器,把由扩散过程所得到的硅半导体晶片切成薄片或圆片的方法来制作集成电路。由于这种新型装置全部采用了日本国内技术,所以引起了人们的注意。这种激光划片机是日本电气公司为发展激 相似文献
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《制造业自动化》2019,(12)
新一代的晶圆划片机是在日本DISCO划片机的基础上发展出来的,具有精度高,操作简便、可加工晶圆尺寸范围广等优点。在对划片机DD马达的控制过程中,由于种种原因可能会有丢脉冲的现象发生,以及在加工过程中需要更换不同规格、不同重量的工作盘,从而导致DD马达的位置控制不精确。因此需要利用PID算法对PID控制的三个参数进行调节,以控制DD马达的位置输出到达相应的位置。PID算法中的三个参数KP、KI、KD,分别对应着比例、积分和微分控制。利用模糊自整定PID算法对DD马达的输入和输出进行控制,对于丢脉冲的现象和不同规格的工作盘做到系统自适应控制,可以使DD马达的位置输出达到非常高的精度。 相似文献
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介绍了富安公司在数控砂轮划片机开发、试制过程中一些做法与体会,我们在收集国内外有关资料的同时,充分运用公司在数控系统的开发和机械设计制造上积累的丰富经验,将机床制造技术用于IC装备的开发制造.并阐述了Z轴动态零位设置功能.Y轴高精度定位、CCD视觉找准系统.工作台盘(吸盘)气槽加工、主轴系统开发等技术,还对公司目前已投产的SFA-0024T 6″及SFA-0511T8″划片机的技术参数及特点作了简介. 相似文献
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《仪表技术与传感器》2021,(7)
提出了一种使用机器学习的方式实现激光划片机中晶圆精确对准的新算法。算法采用图像传感器采集晶圆图像,经过深度神经网络学习,建立机器学习模型。借助模型泛化过程实现晶圆粗对准。在粗对准基础上,进一步采集晶圆图像,并经过特征提取和拟合形成回归模型,使用该模型实现晶圆细对准。在紫外激光划片机平台上进行了实验,经过粗对准和细对准两步,实现了晶圆的精确对准,取得了良好的效果。 相似文献