DPRM工艺中刻蚀工艺关键参数对N/P型MOS管交界处的影响

短沟道效应对器件性能的影响不可忽略,高k/金属栅极(High-k/Metal Gate,HKMG)器件可以很好地抑制短沟道效应。HKMG器件中金属栅极的制备工艺有前栅极制造工艺和后栅极制造工艺,其中虚拟栅去除(Dummy Poly Removal,DPRM)过程是后栅极制造中一道至关重要的制程。由于P型MOS管和N型MOS管的金属栅极填充材料不同,制造工艺中要先完成一种MOS管金属栅极的制作再进行另一种MOS管金属栅极的制作,DPRM后N型MOS管和P型MOS管交界处的结构形貌会直接影响金属栅极的填充,进而影响器件性能。在电子回旋共振刻蚀等离子体源条件下,探究DPRM工艺中过刻蚀过程的关键参数对NMOS管和PMOS管交界处结构形貌的影响,进而总结出减弱N/P型MOS管交界处侧向凹陷程度的工艺条件。     

废旧纺织品回收再利用的现状及研究进展

废旧纺织品产量巨大、储量丰富,而目前仍采用传统的化学焚烧或物理填埋方式来处理,不仅严重地污染了环境,而且极大地浪费了自然资源。本文首先介绍了目前海内外回收再利用废旧纺织品的情况,然后系统分类并详细阐述了常见的处理废弃纺织品方式,尤其是回收再利用方法,最后分析了废旧纺织品回收再利用的前景和发展趋势,并为我国未来废旧纺织品的回收再利用提出了一些建议。     

芳纶的发展现状及其表面改性研究进展

芳纶以密度小、高模量、高强度等多种优异性能被广泛应用,而纤维表面改性和功能化研究是实现其高附加值利用的基础.介绍了芳纶的发展历史和现状,总结了芳纶的分类和性质,并详细阐述了芳纶表面改性的主要方法以及最新研究成果,希望为后续的研究提供新的思路.     

阔叶木浆/间位芳纶沉析纤维复合纸的制备及其性能研究

本研究将间位芳纶沉析纤维(PMIAF)添加到阔叶木浆(KHP)中,制备了KHP/PMIAF复合纸。采用多种手段对KHP/PMIAF复合纸的形貌结构、结晶性能、力学性能、热稳定性、紫外屏蔽性和润湿性等性能进行了表征。结果表明,间位芳纶沉析纤维和阔叶木浆之间存在着较强的氢键作用;复合纸的抗张指数随着间位芳纶沉析纤维用量的增加呈现先升高后降低的趋势,当KHP和PMIAF质量比为7∶3时,复合纸的抗张指数达到最大,为14.9 N·m/g,比纯KHP纸提高96.8%;复合纸的紫外屏蔽性、热稳定性、疏水性均随着间位芳纶沉析纤维用量的增加而升高。     

国内废旧服装回收再利用的调查与分析

近年来,随着科技进步和人民生活水平提高,以服装为代表的纺织产品更新换代的速度越来越快,并因此产生了大量的废旧服装。从发展循环经济的角度来说,回收再利用废旧纺织品服装意义重大。文章采用线上问卷调查的方式了解了当前居民废旧服装回收再利用的情况并分析其背后原因。调查结果显示:中青年人比较关注此类问题,废旧服装回收利用并未在大众中普及,消费者对二手或再生服装的接受度较差,目前国内的废旧服装回收再利用情况仍不容乐观。在数据分析和文献调研的基础上,文章总结了当前国内废旧服装回收再利用存在的主要问题,并提出了一些建议。