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该文基于掺钪AlN薄膜制备了高次谐波体声波谐振器(HBAR),研究了钪(Sc)掺杂浓度对AlN压电薄膜材料特性及器件性能的影响。研究表明,当掺入Sc的摩尔分数从0增加到25%时,压电应力系数e33增加、刚度 下降,导致Al1-xScxN压电薄膜的机电耦合系数 从5.6%提升至15.8%,从而使HBAR器件的有效机电耦合系数 提升了3倍。同时,当Sc掺杂摩尔分数达25%时,Al1-xScxN(x为Sc掺杂摩尔分数)压电薄膜的声速下降13%,声学损耗提高,导致HBAR器件的谐振频率和品质因数降低。 相似文献
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针对现有制动控制系统已无法满足提升机复杂工作状态的情况,有必要设计开发一套高性能、高可靠性、功能更加齐全的提升机制动控制系统。在现有制动控制系统存在问题的基础上,设计开发了一套响应速度快、运行稳定的矿用提升机制动控制系统,并对该系统进行了试验测试,结果表明:该系统各项功能运行正常,具有较高的运行稳定性和可行性,能较好的满足矿业提升机的使用需求。这对提高矿用提升机的制动控制效率和制动安全性具有重要意义。 相似文献
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海上平台独立电网存在容量小、调节能力差、整体电能质量差、电网不稳定等问题,而变频器会产生严重的电网谐波污染,使电能的生产、传输和利用效率降低,导致电气设备过热、产生振动和噪声,并使绝缘老化,使用寿命缩短,甚至发生故障或烧毁。为了降低谐波对设备和系统的影响,提出了主动治理谐波的主要措施。 相似文献
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为提升提升机制动系统的制动性能,在分析提升机制动系统中液压系统及制动器组成及功能,详细分析了影响提升机制动性能的因素基础上,基于AMESim软件搭建提升机制动系统仿真模型,着重对蓄能器弹簧刚度、液压管路长度及内径对二级制动性能的影响情况进行分析,为改进提升机的制动性能奠定扎实的理论基础。 相似文献
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