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1.

该文基于掺钪AlN薄膜制备了高次谐波体声波谐振器(HBAR),研究了钪(Sc)掺杂浓度对AlN压电薄膜材料特性及器件性能的影响。研究表明,当掺入Sc的摩尔分数从0增加到25%时,压电应力系数e33增加、刚度 下降,导致Al1-xScxN压电薄膜的机电耦合系数 从5.6%提升至15.8%,从而使HBAR器件的有效机电耦合系数 提升了3倍。同时,当Sc掺杂摩尔分数达25%时,Al1-xScxN(x为Sc掺杂摩尔分数)压电薄膜的声速下降13%,声学损耗提高,导致HBAR器件的谐振频率和品质因数降低。  相似文献   

2.
在全耗尽绝缘体上硅(FDSOI)衬底上制备了一种新型隧穿场效应晶体管(TFET),并用相似的工艺方法制备金属-氧化物-半导体场效应晶体管(MOSFET)作为比较,分别基于两种器件构成基本电流镜电路,研究两种器件的基本性能和电路电流传输能力.两种器件均采用杂质分凝技术制备,在源漏与沟道的界面形成了陡峭的杂质分布,TFET也因此具备陡峭的隧穿结.两种器件的载流子输运机制不同,因此温度对电流的影响也不同,此外,不同于MOSFET的单极导通行为,TFET由于源漏两端均为重掺杂,表现为强烈的双极导通行为.测试发现,由TFET构成的电流镜电路的电流传输比高达97%,高于一般的TFET电流镜和实验中用于对比的MOSFET电流镜,且TFET电流镜的输出阻抗较高,约1 MΩ.这为TFET的研发与简单应用提供了参考.  相似文献   
3.
DSL在软件系统中的运用和实践   总被引:1,自引:0,他引:1  
基于实际项目中的实践,介绍了DSL在软件系统中的重要价值和运行,分析DSL如何通过DSL的开发态和运行态来保证其在软件系统的运行。  相似文献   
4.
北引渠首泄洪闸工程导流明渠施工由于某种原因未按正常开工日期开工,为满足整体工期要求,导流明渠开挖被迫必须进行冬季施工。鉴于冬季施工遇到的种种难题,为保证施工工期,笔者单位提出此方案,既不提高造价亦不影响泄流,既方便施工又不影响工期。文章着重从设计施工角度对此方案进行论述,并做技术经济分析,论证该方案的可行性。  相似文献   
5.
由于社会的进步及市场经济的发展,我国水利工程激增,水利工程在我国属于关键的基础设施,加大水利工程建设是特别重要的。滑模技术在水利工程建设中是十分关键的技术,现今水利建设中正在全面实行使用滑模技术。滑模技术自身具有的众多优势是其得到广泛应用的重要原因。例如:投入小、效率较高等。水利建设中使用滑模技术能够使混凝土的浇筑时间大幅度减少。文章对滑模技术在水利施工中的应用进行了分析,以期为水利工程建设提供借鉴。  相似文献   
6.
随着水利工程建设的不断发展壮大,对于国民经济建设的影响也越来越突出,文章主要针对现阶段我国水利工程建设施工中存在的一些问题进行简要的分析与总结,并依据具体实际施工情况提出了合理化的解决措施,仅供相关水利工程建设者参考,从而有效地提高水利工程建设的施工质量,以便更好地促进经济建设发展。  相似文献   
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