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《传感器与微系统》2019,(12):5-9
研究了使用两种大气压等离子体射流(APPJ)刻蚀Parylene-C薄膜所产生刻蚀区域的形貌和成分之间的差异。两种APPJ分别由单环电极装置和双环电极装置产生。由单环电极APPJ刻蚀的Parylene-C表面是非均匀的,从刻蚀区域的中心到边缘可分为三部分:区域(I)是中心区域,此处Si衬底严重受损;区域(II)是有效的刻蚀区域;区域(III)是刻蚀边界。与单环电极APPJ相比,双环电极APPJ刻蚀的Parylene的形貌要好得多。特别是在区域(I)中,Si片受到轻微损坏。X射线光电子能谱分析(XPS)结果表明:单环电极APPJ刻蚀区域的O元素原子含量多于双环电极。此外,还研究了两种APPJ的刻蚀速率,相比于双环电极APPJ,单环电极APPJ具有较高的刻蚀速率。 相似文献
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为了识别架空地线的断丝缺陷,以电涡流检测技术为依据,研制了一种基于STM芯片的电涡流架空地线检测装置,重点介绍了电涡流原理与系统设计。此外,利用所设计的系统在带有缺陷的试验线缆上进行验证,试验结果表明,该系统对不同程度的断丝缺陷具有较高的检出能力,并可以对其进行区分。 相似文献
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在油田开采过程中,针对目前采油树XFFDN50-65闸门保养时,因其受风沙侵蚀和雨雪产生的锈蚀及油泥的堆积,造成闸门丝堵用现有的钩头扳手难以取下,在生产现场操作员工往往采用双备帽的方法、使用冲子或者是用专用四爪拆卸工具等方式将丝堵取出,这样操作不仅使闸门丝堵上造成损伤,增加了下次保养闸门的难度;而且因工具使用不当,使操作员工容易受伤,存在安全隐患。 相似文献
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分析了线切割线电极在加工前与工作台XY平面垂直度将影响工件加工曲面的精度以及圆形垂直度校正仪在校正电极垂直度时几个方面不足,通过设计辅助校正装置,解决了校正仪二次放置引起的定位误差;通过设计方形与多边棱形垂直度校正仪,消除了圆形校正仪校正电极丝垂直度时XY轴误差的相互影响,提高了零件的加工精度。 相似文献
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