苯甲腈非均相加氢制备苄胺的研究进展

苄胺作为一类重要的精细化工中间体，广泛应用于医药、农药、染料、树脂、橡胶等领域。苯甲腈加氢还原是制备苄胺最简便、最符合原子经济性的方法。本文综述了近年来非均相催化剂用于苯甲腈加氢制苄胺的研究进展，重点阐述了金属组分、催化剂载体、氢源、添加剂等因素对催化性能的影响，并对其未来发展进行展望。     

铁电电容工艺与标准CMOS工艺兼容性研究

在铁电存储器制备过程中,Pb(Zr0.52Ti0.48)O3(PZT)铁电薄膜需经历多次热处理,铁电电容工艺与标准CMOS工艺的集成加工过程中可能存在交叉污染。对PZT薄膜中的铅在不同温度下的挥发量进行了测定,在温度为400℃时有0.15×10-6铅挥发。同时进一步研究了铁电工艺对底层NMOS管、PMOS管和CMOS电路性能的影响。实验结果表明:PMOS管的性能所受影响较大,PMOS管子的跨导(gm)明显降低;而NMOS管的性能所受影响较小;CMOS电路的数字逻辑功能正常。