适用于微加工工艺的纳米多孔铜制备方法

主要研究了一种适用于微加工工艺的纳米多孔铜(NPC)制备方法。采用酸性柠檬酸铜锌电镀体系制备出Cu68Zn32前驱合金,通过改变前驱合金在盐酸中去合金的时间可以对NPC的微观形貌及孔径分布进行有效控制。研究结果表明,在0.05 mol/L的盐酸中腐蚀6 h后制备的NPC孔径为80~120 nm,而系带尺寸为20~40 nm,利用BET法测得其比表面积为8.12 m2/g。另外,应用微加工工艺制备出边长为50μm方形微阵列,验证了该NPC制备工艺与微加工工艺有较好的兼容性,为NPC的图形化与集成制造提供一种有效的工艺方案。     

悬空结构射频微电感的制作研究

利用MEMS工艺中的牺牲层技术制作了一种新型悬空结构微电感，在此悬空结构中，微电感的线圈制作在与衬底平行的平面上，线圈与衬底之间有立柱支撑；此新型微电感的高频性能较好，且其制作工艺流程简单，与集成电路工艺相兼容。测量结果表明：当工作频率在2GHz～3GHz范围内时，此悬空结构微电感电感量达到4．2nH，Q值最大可达到37。     

基于复杂网络的网络系统脆弱点发现方法研究

利用复杂网络寻找网络系统中的脆弱点可以从网络拓扑结构的角度出发,利用节点的拓扑性质研究其脆弱性,这可以有效的解决攻击图等脆弱性评估手段无法处理规模过大的网络的问题。通过对李鹏翔等的节点删除方法进行改进,计算动态删除节点后网络平均最短路径变化,模拟网络中节点在受到攻击后无法使用,从而导致的网络整体性能的变化。使得评估时不仅考虑删除节点对网络破坏程度,同时兼顾了对网络的效率的影响,从而可以更有效的针对脆弱点布置防御措施。     

一种新型的电离式MEMS气体传感器

本文实现了一种新型的电离式MEMS气体传感器,即线性阻抗电离式MEMS气体传感器。该电离式气体传感器创新地采用了电导率而不是常用的击穿电压来检测不同的气体成分,这样可以避免高电压对器件的影响,提高器件工作状态的可重复性和稳定性。该器件在低压条件下不同气体组分中进行气体放电实验,测出了不同的伏安特性曲线和电导率值,从而证实了该器件的气体传感特性。     

巧用简易数控车编程指令

简易型(或称经济型)数控机床[1]是指价格低廉、操作使用方便、比较适合我国国情的、在普通机床上加装数控系统的高级自动化机床。简易数控机床的数控加工程序一般通过手工编程方式获得。在简易数控机床上,由于数控系统简单,虽然一般具有一定的局     

对流-扩散传质对微电铸镀层均匀性的影响

利用有限元分析软件FLUENT对MEMS微电铸镀层均匀性进行了分析.对当物质传输成为金属沉积的控制步骤时,进行对流-扩散传质过程数值模拟,研究不同深宽比微结构中对流-扩散对传质的影响.模拟结果表明:当对流-扩散传质成为控制步骤时,渗透流影响镀层基本形貌,回流会引起镀层形貌的微小起伏.     

Na_2S药剂添加方法的研究和工艺改进

主要针对磷酸脱砷药剂Na2S添加方法进行研究和工艺改进,利用Na2S水解过程可逆的原理,通过在Na2S药剂加入前添加抑制剂石灰乳来抑制H2S气体的生成,从而达到改善工作环境,杜绝人员中毒的目的;同时能够减少Na2S药剂添加量,降低生产成本,在实际运用过程中取得了较好的环保效果和经济效益。     

刀具磨损的小波检测

通过建立刀具磨损时的切削力信号奇异性指数与刀具磨损状态的对应关系 ,利用小波变换对切削力信号进行分析 ,实现了对刀具磨损的间接测量     

CVD金刚石薄膜RIE掩模技术研究

金铡石薄膜反应离子刻蚀（RIE）必须选用硬掩模，其于掩刻蚀选择比和掩模图形化加工特性考虑，镍和镍钛合金掩模是较好选择，其中，NiTi合金薄膜具有刻蚀选择比高，加工工艺简单，图形化效果好的优势，Ni掩模特别是电镀方法制作的Ni掩模以其精确的尺寸控制能力，理想的多层结构模式和适当的刻蚀选择比而特别适合于精细结构加工的使用，使用上述掩模对金刚石薄膜进行RIE，可以获得线条整齐规则，侧壁平滑陡直的优异加工效果。