变温LPCVD沉积氮化硅薄膜的均匀性优化

以低压化学气相沉积(LPCVD)热壁立式炉为实验平台,由二氯硅烷和氨通过LPCVD工艺合成氮化硅薄膜,利用降温成膜提高氮化硅薄膜的膜厚均匀度。基于气体碰撞理论建立了氮化硅薄膜沉积速率与反应气体浓度的关系式。分析比较了LPCVD炉内不同升温速率沉积氮化硅薄膜的表面性能。发现在变温沉积阶段,选择合适的降温速率是实现薄膜沉积过程中预设温度变化的关键。在保证各温度区平均膜厚和晶圆片之间膜厚均匀度基本不变的前提下,通过实验找到沉积阶段的最佳变温速率,将晶圆片内(WIW)均匀度优化到1%以下,比恒温沉积薄膜的均匀度提高了约70%。这将有助于设备工艺能力的提升,更好地适应IC芯片工艺关键尺寸的缩小趋势。     

一种基于混沌领域搜索的自适应遗传算法*

提出一种基于混沌领域搜索的自适应混沌遗传算法,该方法在遗传进化的过程根据种群相对多样性对每代个体引入混沌领域方法搜索有效基因,并有效地结合遗传算法善于全局优化和混沌局部搜索能力强等特点。计算结果表明,该算法可以显著提高计算效率,具有较大的实用价值。     

浅谈名人故居的开发

弘扬名人文化,既是建设民族文化的需要,也是开发人文旅游资源的需要,名人故居是名人文化的重要组成部分,是旅游产业新的增长点。探讨了名人故居开发中可能出现的问题,提出了解决的相应办法。     

基于Semi-Supervised LLE的人脸表情识别方法

目的 为提取有效的鉴别特征和降低鉴别向量的维数来识别人脸表情图像.方法 将流行学习(Manifold leaming,ML)和半监督学习(Semi-Supervised leaming,SSL)结合起来,利用人脸表情图像数据本身的非线性流形结构信息和部分标签信息来调整点与点之间的距离形成距离矩阵,而后基于被调整的距离矩阵进行线性近邻重建来实现维数约简,提取低维鉴别特征用于人脸表情识别.结果 该方法 能充分利用数据的结构信息和有限的标签信息,使具有标签信息的同类样本之间的距离最小化,不同类数据之间的距离最大化,进而可以有效地提取数据的低维鉴别子流形,使得分类性能要优于非监督的雏数约简方法 .结论 笔者提出的半监督局部线性嵌入算法能有效地提高人脸表情识别的性能.     

基于状态方程法的不同ESD电路对比分析

针对IEC 61000-4-2中规定的典型静电放电(electrostatic discharge, ESD)电流波形存在拟合多样性且不易通过具体电路实现这一问题, 采用求解电路状态方程组的方法对四种ESD模拟器电路进行了计算.得到了四种指数形式的ESD电流解析表达式, 绘制了相应的电流曲线, 分别讨论了四种ESD模拟器电路产生的ESD电流波形解析式的连续性和可导性, 并对不同电路产生的ESD电流波形与IEC 61000-4-2标准规定电流波形之间的差异进行了对比分析.结果表明不同ESD电路产生的电流波形的四个主要指标符合IEC 61000-4-2标准规定, 但由于电路的拓扑结构和元件参数不同, 求得的电流波形解析式的连续性和可导性存在差异, 因此在选择ESD模型时, 应根据实际的人体参数和放电枪参数确定合适的电路结构.该计算方法适用于求解集总参数电路, 为ESD电磁脉冲辐射场仿真计算提供了新的电流解析式.     

一种宽带接收射频前端设计与实现

本文设计了一种超外差架构的超宽带接收射频前端,工作频段覆盖400MHz~2000MHz,接收增益50dB,噪声系数小于6dB,中频输出频率70MHz,输出1dB压缩点大于18dBm,输出三阶交调节点大于30dBm,瞬时态范围大于55dB,测试结果和仿真结果基本一致,符合设计预期.     

基于直流电力分组传输的缓存储能研究

直流配电网中基于电力分组传输的调度系统实现了电能的有效分配,然而,由于分组供能的断续性,缓存储能问题变得至关重要。着重对直流电力分组传输系统中的储能缓存器容量进行了分析。利用一阶电路三要素法推导出电容容量表达式,将其应用到电力分组系统中,得出缓存器容量范围,建立了缓存器和负载之间的关系。基于其关系,从时分复用的角度分析了系统可容纳负载数量问题。最后,使用Matlab软件对其数学关系进行理论仿真分析。结果表明,可以通过减小电力包的有效载荷持续时间等来满足更多负载的需求。这一研究在一定程度上既减少了投资成本,又使电力资源得到了有效利用。     

新型C波段平面赋形阵列天线研究

本文设计了一种 C 波段的串并馈结合的平面赋形阵列天线,采用差分进化算法对阵列天线各单元的馈电幅度和相位进行优化,并考虑了各单元间的互耦对阵列的影响。利用全波电磁仿真软件 HFSS 对天线进行了仿真分析,所得的方向图与理论计算十分吻合。根据仿真优化的结果,制作了天线阵实物并进行了测试,得到的测试结果与仿真结果一致。     

大型框类构件的对角线测量

人防钢门是一种大型的框结构产品,尺寸规格往往以1×2m~2到6× 2.5m~2。无沦门扇还是门框,都是先用槽钢或角钢焊接成长方形的框架、然后再进行其它工序的加工。 生产中,为了控制槽钢或角钢的边与边之间的垂直度,我们在加工和检验测量中采用量对角线的方法使误差控制在要求的范围以内。 1.测量板 由于在槽钢与槽钢之间的连接处有5～10mm的焊高,无法直接测量对角线,如图1示。而测量槽钢折边搭接点C,则材料本身存在误差。测量外缘点a、b,则因槽钢下料时每端留有磨光余量2～3mm,也不能做