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以某型投影光刻机为例介绍了调平调焦系统的基本原理和主要构成,详细叙述了调平调焦系统的运行步骤,并结合多年的投影光刻机维修经验总结了调平调焦系统的常见故障,给出了处理故障的方法和步骤。 相似文献
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赵成田 《中国石油和化工标准与质量》2019,(13):166-167
本文对当前矿井下的皮带运输机皮带撕裂的现象进行了相应的讨论与研究,分析了皮带撕裂的原因,并针对矿井下的皮带运输机的皮带撕裂现象做出了相应的应对与预防措施,为解决矿井皮带运输机皮带撕裂的故障提供了一些经验,争取减少矿井皮带运输机皮带撕裂现象的发生,保证矿井的工作能够正常开展。 相似文献
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实验室间能力比对作为重要的外部质量评价手段,被越来越多的实验室所采用,它不仅是质量控制的一种有效方法,也是衡量各实验室间能力的一个重要手段.而半导体器件静态直流参数是器件基本参数之一,是半导体器件筛选环节必检项目.该文以半导体器件静态直流参数为例阐述实验室间能力比对的方法. 相似文献