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61.
用于铜的化学机械抛光液的研究 总被引:2,自引:0,他引:2
文中介绍了一种以碱性抛光液对铜进行全局平面化的方法 ,讨论了以 Si O2 水溶胶为磨料的抛光液在Cu-CMP过程中的化学 (络合 )作用及反应机理 ,并给出了抛光液的配比及上机实验结果。结果表明 :该抛光液用于对带有阻挡层和介质层的铜抛光 ,达到了对铜层的高去除速率和高选择比 ,取得了较好的全局平面化效果 相似文献
62.
无阈下信道签名方案及其应用 总被引:4,自引:0,他引:4
介绍了开展封闭阈下信道签名研究的意义,综述了它们新的研究成果和应用。最后提出了若干有待进一步研究的问题。 相似文献
63.
64.
65.
用单片机产生有限带宽伪随机信号 总被引:3,自引:0,他引:3
由线性反馈移位寄存器产生出周期为p=2^11-1的伪随机白噪声,利用快速傅里叶变换及其逆变换去除了其中低于350Hz和高于550Hz的分量,获得带宽在350-550Hz之间的伪随机信号。 相似文献
66.
《PTC技术交流会暨通信设备过电流保护用PTC热敏电阻行业标准预审会》报导广东省邮电科学研究所于1994年10月10~15日在深圳市主持召开了《PTC技术交流会暨通信设备过电流保护用PTC热敏电阻行业标准预审会》,会议收到论文9篇,国内外专家及相关人... 相似文献
67.
68.
某大型水电站机组直埋式蜗壳结构应力分析 总被引:2,自引:0,他引:2
采用三维线弹性有限元法,对某大型水电站机组直埋式蜗壳结构进行应力分析,并与采取一定结构措施后的方案进行对比,分析结构的变形、混凝土应力及承载比,对外围混凝土配筋提出部分建议。 相似文献
69.
随流孕育是铸态球铁生产中极重要的一环。国外已就随流孕育剂作了大量的研究,研制出适合不同情况下使用的孕育剂品种。本文就高效复合孕育剂SRCB生产铸态铁索体球铁件中的作用作一些探讨。我厂属大量流水线生产,球铁件均进行随流孕育。孕育设备为螺旋给料器,孕育剂加入量为0.15%,孕育剂成分(%)为:St55~65,REI~4,Ca3~8,助熔剂10%左右,余为铁。经过近三年的应用,情况良好。1.SRCB孕育剂和75SIFe对比试验我们在处理同一包铁水时(800k8)分别用SRCB和75SIFe作随流孕育,浇注阶梯试决(见图1)及机械性能试块,对… 相似文献
70.