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磁过滤等离子体制备TiN薄膜中沉积条件对薄膜织构的影响 总被引:2,自引:0,他引:2
在室温条件下,利用自行设计的平面"S"形磁过滤等离子体设备,在(111)面单晶硅上制备TiN薄膜,通过改变基底偏压和反应气体成分,即通过改变氮气和氩气的气体流量来改变沉积离子的能量和密度,从离子轰击的角度研究了沉积条件对TiN薄膜织构的影响.对薄膜的表面形貌进行观察,用(θ~2θ)和1.5°掠入射2种X射线衍射方法对薄膜晶体结构和晶面取向进行了分析,对薄膜进行了电子衍射研究.结果显示磁过滤等离子制备的TiN薄膜表面平整光滑,颗粒尺寸为20~70 nm,且基底偏压和氩气流量的增大促使薄膜发生(111)面的择优取向,且(111)晶面与膜表面平行,而在高氩气流量的情况下,(200)和(220)面在薄膜平面也发生了定向排列. 相似文献
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随着经济的发展,我国煤炭行业也在不断的进步.在煤炭行业的发展过程当中选煤厂的洗选作用非常重要.淮南煤矿推行选煤专业化管理以来,经济效益和安全管理都得到了有效提前,但机电设备上仍然存在着各种不同的通病.就目前而言我国煤炭行业当中机电设备的管理及维护工作都存在着一些问题,本篇文章对一些选煤厂机电设备管理及维护当中出现的问题... 相似文献
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济钢环保低碳经济向“高、宽、深”进发 总被引:1,自引:0,他引:1
济钢坚持"污染物是放错了位置的资源"的理念,采用新技术、新工艺,不断强化对废弃物的循环再利用,向更高技术、更宽领域、更深层次拓展。2011年8月初,济钢与新加坡昂国集团合资兴建的新型建材企业—济南鲁新新型建材有限公司的技术改造项目正式启动,对原矿渣微粉生产线进行技术改造升级, 相似文献
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在日常生活和工作中,家庭和工作的安全、单位的档案、财务报表和一些个人数据大多采用加锁的办法来保存。本密码锁主要由密码设置电路、发射电路、解码电路、显示电路、电源电路五部分组成。在本密码锁中,按要求按下按键,即输入正确的密码,NE555电路就能正常工作,经解码电路解码,继电器吸合,发光二极管发光;密码不正确的时候,发光二极管不能发光。采用本设计可以很好地实现防范功能。 相似文献