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81.
为了解决目前计量圆光栅的玻璃基片无法适应振动强度大、冲击力强等恶劣环境的问题,提出了采取新型材料聚碳酸酯(PC)来替代玻璃作为计量圆光栅制作基片的方法。分析了PC光学树脂的透光特性、耐热性和耐化学性能,给出了清洗PC的具体配方;结合现有光刻复制工艺,研制出先胶后铬的新型复制工艺;最后,以PC作为计量圆光栅基片,在蒸镀真空度为1.2×10-3Pa,蒸发距离为150mm的条件下,采用蒸发源质量控制膜厚的镀铬工艺参数,制作出了PC光学树脂基片的计量圆光栅。在45×显微镜下观察光栅线条,结果显示,线条陡直,无龟裂,表明该新型工艺可行,工艺参数正确,为进一步研制以PC光学树脂计量圆光栅为核心元件的精密测角仪器等提供了试验基础。 相似文献
82.
通过分析光刻快门的控制原理及结合液晶光阀的工作原理.对液晶光阀组的控制进行了研究并给出了其控制电路图,该控制系统采用DS75451与门模块对液晶光阀组进行驱动,通过AT89C51单片机控制液晶光阀组的亮暗.实现了对液晶光阀组的控制.起到光刻快门的作用。通过实际光刻试验.液晶光阀组式光刻快门机构可以完成编码图案的控制,通光控制达到了预计的要求.刻出的图案清晰,线条陡直.证明液晶光阀替代穿孔带用于光刻快门是完全可行的。 相似文献
83.
曝光量对码盘、圆光栅均匀性误差的影响 总被引:1,自引:1,他引:0
根据光栅的透射特性和曝光及显影机理,对码盘、圆光栅线条的黑白比以及曝光量和其均匀性误差之间的内在关系进行了分析,并给出了保持曝光量均匀的措施,实验证明,改进后刻制出的码盘、圆光栅的均匀性误差较小. 相似文献
84.
液晶光阀在光刻快门中的应用研究 总被引:2,自引:0,他引:2
目前,国内控制码盘、计量光栅图案刻制的机构是快门,原有的穿孔带式快门有很多缺点,为了避免这些缺点,对液晶光阀作为快门的可行性进行了研究。通过对抗蚀剂的感光特性、光源的光效与曝光量之间的关系进行理论推导.构建了它们之间的数学模型。对液晶光阀的特性进行分析并进行了曝光控制实验,为设计一种智能型液晶光阀曝光控制装置提供了理论依据。 相似文献
85.
86.
无人驾驶这项极具前瞻性的科技,目前已被全球众多车企列为主要研发项目之一。无人驾驶汽车的发展又与传感器有着密切联系,可以说无人驾驶汽车的发展依赖于传感器技术的开发与应用。针对这一汽车的新型领域,传感器厂商以及汽车厂商把握先机,掌握核心技术和现有专利情况,不仅要实现自身的研究开发,更要注重传感器与汽车的整体联系,使无人驾驶的时代早日来临。 相似文献
87.
88.
介绍了国内煤气化污水酚氨回收的3种化工处理流程:(1)脱酸、再萃取脱酚、而后脱氨及溶剂回收工艺;(2)脱酸脱氨后、萃取脱酚及溶剂回收工艺;(3)酸化后萃取脱酚、再脱酸脱氨及溶剂回收工艺。并对这3种工艺流程进行了分析对比,前两种工艺流程已有大量工业实例,第3种工艺仍停留在研发阶段。工艺过程换热网络优化与集成、新型萃取剂的开发是今后煤气化污水技术的研发重点。 相似文献
89.
光电编码器作为一种角位移测量传感器广泛应用于多个领域中,根据光栅盘的编码方式主要分为绝对式和增量式2种.绝对式光电编码器多用于角度测量,增量式光电编码器多用作速度测量,由于器件的限制,高速、高冲击是增量式光电编码器的1个瓶颈.结合材料的高低温性能和强度特性,采用CPLD硬件细分,设计了1种增量式光电编码器,该种光电编码器具有高速(转速为3 000 r/min)、高冲击性(峰值500 g)、超小型(外径为Φ27 mm,高度为15mm)和较好的高低温(-40~+70℃)性能等优点. 相似文献
90.
为了及时解决打印过程中的拉丝异常工况,提出基于振动信号的熔融沉积成型(FDM)3D打印拉丝缺陷正交分析方法. 开展单因素试验,对加速度振动传感器采集的信号进行时域分析,提取相关峭度、峰值因子和脉冲因子特征值,确定喷头温度、回抽距离、回抽速率和空驶速率4个打印参数与零件拉丝缺陷的关系. 在单因素试验的基础上进行四因素三水平正交试验,以提取的振动信号时域特征值为评价指标,通过极差与方差分析对试验数据进行分析. 试验结果表明,利用该方法可以对拉丝缺陷进行识别,其中在使用材料为PLA的情况下,回抽距离和喷头温度对零件拉丝缺陷的影响显著,空驶速率和回抽速率影响不显著,当喷头温度为190 ℃、回抽速率为50 mm/s、回抽距离为12 mm、空驶速度为50 mm/s时,打印模型的拉丝情况最好. 相似文献