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31.
使用光强标定的发射光谱(AOES)测量了CHF3/C6H6混合气体的微波电子回旋共振(ECR)放电等离子体中基团的分布状态。实验发现随着CHF3流量的增加,成膜基团CF、CF2、CH等的相对密度增大,而刻蚀基团F的密度也会增加,从而使得a—C:F薄膜的沉积速率降低。同时红外吸收谱(IR)分析表明,在高CHF3流量下沉积的a—C:F薄膜中含有更高的C—F键成分。可见在a—C:F薄膜的制备中CHF3/(CHF3 C6H6)流量比是重要的控制参量。 相似文献
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云南磷肥工业副产氟资源综合利用途径初探 总被引:1,自引:0,他引:1
根据云南磷肥工业发展情况 ,提出对磷肥工业副产氟资源综合利用的设想 ,并介绍目前国内已有的一些氟资源综合利用的工艺技术 相似文献
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34.
HNO3和有机介质中U(Ⅳ)的稳定性研究 总被引:3,自引:0,他引:3
研究了HNO_3和TBP-煤油介质中U(Ⅳ)的稳定性。测定了两种介质中U(Ⅳ)、HNO_3、TBP浓度和气相中氧浓度对U(Ⅳ)氧化速率的影响。U(Ⅳ)的氧化速率都随温度提高而明显增加.其表观活化能分别为91kJ/mol(HNO_3介质)和42kJ/mol(TBP-煤油介质)。对两种介质中U(Ⅳ)的氧化速率规律进行了比较。 相似文献
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36.
直线式电机在有杆抽油设备中的应用 总被引:4,自引:0,他引:4
通过对游梁式抽油机的效率、启动特性与直线式电机驱动的有杆抽油机特性的对比,论述了直线抽油机的优越性及应用前景。 相似文献
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40.
氨氮监测采用预蒸馏处理后,比色测定结果明显偏低。在样品预蒸馏处理过程中,硼酸作为吸收液,使显色时溶液pH值偏低,导致显色不充分是其主要影响因素。通过采取增加显色剂加入量的方法,解决了显色pH值偏低的问题,得到满意的测定结果。 相似文献