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介绍如何实现光学和电子束曝光系统之间的匹配和混合光刻的技术,包括:(1)光学曝光系统与电子束曝光系统的匹配技术;(2)投影光刻和JBX-5000LS混合曝光技术;(3)接触式光刻机和JBX-5000LS混合曝光技术;(4)大小束流混合曝光技术或大小光阑混合曝光技术;(5)电子束与光学曝光系统混合光刻对准标记制作技术. 该技术已成功地应用于纳米器件和集成电路的研制工作,实现了20nm线条曝光,研制成功了27nm CMOS器件;进行了50nm单电子器件的演试;并广泛地用于100nm化合物器件和其他微/纳米结构的制造. 相似文献
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对基于Top-Down加工技术的纳米电子器件如:单电子器件、共振器件、分子电子器件等的研究现状、面临的主要挑战等进行了讨论. 采用CMOS兼容的工艺成功地研制出单电子器件,观察到明显的库仑阻塞效应;在半绝缘GaAs衬底上制作了AlAs/GaAs/In0.1Ga0.9As/GaAs/AlAs双势垒共振隧穿二极管,采用环型集电极和薄势垒结构研制的共振隧穿器件,在室温下测得其峰谷电流比高达13.98,峰电流密度大于89kA/cm2;概述了交叉阵列的分子存储器的研究进展. 相似文献
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Granger检验结果表明,西北和全国贷款规模与经济增长均存在双向因果关系,但西北地区贷款规模对经济增长影响的置信度较低。由自回归发现西北贷款规模对经济增长的影响因子是0.294935,全国为0.429096,进一步证实西北地区贷款规模对经济增长的影响显著地弱于全国。检验分析还表明西北地区贷款规模对GDP的作用时滞较长。西北地区货币政策低效的直接原因为投资对经济增长拉动力度弱,深层次背景在于政府投资占比大,内向型区域经济特征等因素使西北地区投资收益率低。 相似文献
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无线传感器网络媒质接入控制协议的研究进展 总被引:1,自引:0,他引:1
媒质接入控制(Medium Access Control)是无线传感器网络设计的关键问题之一。由于无线通信模块是传感器节点能量消耗的主要来源,而媒质接入控制协议则直接控制着节点无线通信模块的活动,因此MAC协议节能效率的好坏将严重影响网络的性能。本文首先介绍了MAC层能量消耗的主要来源,阐述了无线传感器网络中MAC协议的研究内容和设计目标,并讨论了影响MAC协议性能的若干参数指标,随后介绍了几类典型的MAC协议,最后对MAC协议的发展方向进行了总结和展望。 相似文献
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传统的基于GIS的溢油信息系统只能在单机或者局域网内使用,应用范围小且平台独立性不强。为了在溢油应急反应决策中提供更便捷、易于获取的GIS应用和应急信息,该文提出了构建基于网络地理信息系统(WebGIS)的海上溢油应急信息系统。在设计系统的体系结构和功能基础上,利用数值建模技术开发了溢油动态模拟模块,建立了应急信息数据库,运用GIS、动态Web及数据库技术开发了系统服务器端和客户端应用程序,并探讨了系统集成以及在WebGIS上实现数值模拟结果动态可视化表达的方法。初步研究结果表明,结合WebGIS、数据库、数值建模的综合方法提供了溢油事故应急所需的有效解决方案。 相似文献