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用PLC实现的磁溅式三靶真空镀膜机控制系统 总被引:1,自引:0,他引:1
设计的磁溅式三靶真空镀膜机控制系统,采用三菱PLC和EasyView触摸屏,具有参数设置、工艺流程控制、故障报警、保护等功能,文中介绍了PLC控制系统硬件与软件结构,以及对靶单元实现闭环控制,获得稳定靶电流情况。 相似文献
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本文简单介绍了2001~2003年底,在BIPM进行的放射性剂量比对与刻度情况。 相似文献
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介绍了DKL系列电机车空调冷风机研制中的方案设计、配套设计计算以及相应的安全与控制电路设计情况;还介绍了现场试验和效果测定。 相似文献