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81.
王丽萍  金春水  张立超 《光电工程》2007,34(12):113-117
极紫外投影光刻(EUVL)两镜微缩投影物镜通常采用Schwarzschild结构和平场结构。本文分析了这两种结构在EUVL不同发展阶段的设计特点,并依据有限距反射系统像差理论,从解析解出发,设计了两套平场两镜系统,分别用于对分辨力为70nm、无遮拦、环形视场扫描曝光系统及目前研制的EUVL 32nm技术节点小视场曝光系统的研究。系统设计指标满足极紫外投影光刻要求。  相似文献   
82.
体系运行的有效性依赖于文件化管理体系的有效性,文件化管理体系的有效性有赖于体系策划的有效性.  相似文献   
83.
信息化管理在检测实验室的应用愈来愈广泛,为确保检测数据的准确、公正,质量控制要求应嵌入信息化管理系统中.本文信息化管理在检测实验室的应用及其质量控制进行简要论述.  相似文献   
84.
本文简述了在JSP页面中对SQL Server数据库进行备份和恢复的方法,并通过证明该方法能够很好的实现数据备份和恢复.  相似文献   
85.
针对深圳市水资源短缺问题,提出了适应其多水源、多工程、多用户的复杂水资源系统的模拟配置模型.模型在规定的一系列水资源调度分配规则和计算原则下,建立符合实际的水资源系统节点图,对深圳市水资源进行模拟运算,通过方案比选得出最佳配置方案,对11个组团的配水结果,满足深圳市规划水平年的各类供水要求.  相似文献   
86.
概括建筑微晶玻璃相对于天然石材的性能优点及其生产工艺,通过研究其在世界和我国的发展状况和应用现状,提出了建筑微晶玻璃的发展趋势为微晶玻璃复合板的推广,并得出结论:若能从规格、品种、宣传和服务方面进行提高,建筑微晶玻璃有着广阔的应用前景。  相似文献   
87.
采用反应热蒸发法制备掺Sn的In2O3(ITO)透明导电膜,系统研究了ITO薄膜生长的优先取向对其光电性能的影响.结果表明,ITO薄膜(400)取向的优先生长对其透过率影响很小,但可明显增加载流子迁移率,从而有效降低了薄膜的方块电阻.在两个相同的薄膜硅/单晶硅太阳能电池上分别沉积(222)和(400)ITO优先取向膜,光电转换效率分别为10.3%和12.9%,表明(400)取向更有利于提高电池效率.经优化,最佳衬底温度(Ts)为225℃,最佳氧流量(fO2)为4sccm.在优化的沉积条件下制备ITO薄膜,其电阻率可达到4.8×10-4Ω·cm,可见波段的透过率大于90%,性能指数为3.8×10-2□/Ω.  相似文献   
88.
研究利用WebGIS的空间可视化和空间分析的方法以及虚拟现实的相关技术开发网上房产信息展示系统.给出系统架构和主要功能,重点对系统的邻近分析、专题地图和虚拟房屋等关键技术的原理、方法和应用过程进行的阐述.系统基于房产实时数据,运用最新的WebGIS和VR的相关技术,在网上对房产信息进行基于矢量地图和虚拟场景的展示,为房产商提供了一个集成先进技术、统一管理、科学决策、节省成本的产品展示平台.最后对系统的特点和应用进行了总结.  相似文献   
89.
梯级水库多目标问题涉及的因子集维度较高,目标间关系错综复杂,传统统计学方法难以同时考虑各目标所涉及的不同指标,对于互馈关系仅可给出定性分析。针对此问题,本文建立梯级水库发电-供水-生态多目标优化调度模型,采用快速非支配排序遗传算法(NSGA-Ⅱ)求解,并提出三者间互馈关系的初步假设,进而引入结构方程模型(SEM),以非劣解集内各指标值作为输入数据,进行高维验证性因子分析,针对目标间互馈关系给出可视化、定量化的计算结果。溪洛渡-向家坝梯级水库的研究结果表明,在丰、平、枯不同典型年中发电-供水的冲突最剧烈,其次为发电-生态,而供水-生态的互馈关系并不显著;另外,随着天然来流由丰变枯,发电-供水矛盾急剧锐化。  相似文献   
90.
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