空气隙Cu互连结构热应力史研究

将空气引入Cu导线间形成空气隙,可有效降低等效介电常数K_(eff),但同时也使互连结构的机械稳定性面临着挑战。利用ANSYS进行了有限元热分析,研究了制备空气隙Cu互连结构的两种主流工艺过程,即CVD沉积法和热分解牺牲层法,模拟了Cu导线上的热应力变化趋势,并比较了两者的优劣,最终发现互连结构经过一系列热应力的循环作用后,各种材料在不同程度上都有较大的形变,这将影响结构的机械稳定性,甚至引起破坏。所以,需要进一步改善结构设计和使用理想电介质。     

Cu导线表面起伏程度对早期失效的影响

使用两种化学机械抛光剂得到的单层大马士革Cu导线表面起伏程度不同.扫描电镜观察到明显的缺陷出现在大起伏的Cu导线表面.这种表面缺陷导致早期失效比率剧增至几乎100%、电迁移寿命猛降至早期失效的量级、失效时间分布从多模变为单模,其相应的失效机制激活能为0.74±0.02 eV,这说明失效主要是由Cu原子沿导线表面扩散引起的.最弱链接近似被用来分析单根Cu导线:Cu导线被适当均分为若干相互串联、失效机制不同的Cu块,任何一个Cu块的失效都会使整根Cu导线失效.分析结果表明,虽然表面缺陷不是最快的失效机制,但大起伏Cu导线的表面缺陷密度是另一种的10 倍以上,这是其早期失效比率高和可靠性较低的主要原因.     

产学研官一体化与湖南地方高校教师岗位分类管理两者契合的理论建构与实践运用

高校不断扩招,给高校教师的科研教学提出了新的挑战。本文在对产学研官一体化以及教师岗位分类管理的概念进行分析的基础上,指出这两个管理活动当前所遇到的难题,提出相应的应对之策,为高校提升其科研教学效率提供有力的支持。     

静电放电模型及其失效特征

本文介绍了人体模型、机器模型和带电器件模型等三种静电放电模型及其模拟测试方法,重点对这三种静电放电模型的失效特征进行了对比分析.对这些失效特征的深入了解,有助于工程师在失效分析时能够判断出静电放电的类型,从而更有效地帮助调查静电放电的根源.     

科技成果的模糊综合评价

通过对科技成果的综合评价问题进行深入的分析与探讨 ,应用模糊数学理论建立了科技成果模糊综合评价的数学模型 ,并给出了模型中有关参数的确定方法。从而有效地给出了对一项科技成果进行比较科学合理地评价的实用方法。此模型对于其他涉及到有关综合评价的问题有很好的借鉴作用     

决策树相关算法研究

ID3算法和C4.5算法是经典的决策树算法,通过对ID3算法和C4.5算法的数据结构、算法描述和分裂属性选取等方面进行比较,为其他研究者提供参考.     

适应技能高考 创新数学教学方法

“技能高考”是指高等学校招收中职毕业生全面实施“知识＋技能”的考试模式。在“技能高考”中,数学成绩的好坏是学生文化综合考试成败的关键。教师应在教学过程中,运用各种手段,挖掘学生的潜能,启迪学生的思维,充分调动学生学习数学的积极性,努力提高数学课堂效果,使更多的中职学生通过“中职＋技能”的高考模式走进高等院校,为国家培养出大批既能动手、又能动脑的高素质人才。     

IEDM重装上阵I——面向RFIC的新型片上电感

2006年12月11日．IEDM在美国旧金山如期举行．在这次半导体器件的盛会上．经过一年的沉寂．中国大陆的研究人员重整旗鼓．再度贡献两项高质量的研究成果。也许是一种巧合．它们的作者都是2004年取得突破的IEDM先锋．即清华大学的任天令小组和中科院微系统所的李听欣小组。     

都是成品率惹的祸

随着半导体技术不断向着更小的工艺节点推进,成品率损失(yield loss)已经成为业界的心腹大患之一,这是《半导体国际》于5月24日在上海主办的第三届成品率提升研讨会上各位专家的共识。     

安庆鸭儿沟闸站工程换沙地基施工技术

本文通过换砂地基在安庆鸭儿沟排涝站的成功应用，简要介绍砂基的施工要点及质量控制。