纳米级精度的线宽测量仪

在大规模集成电路生产中,对掩膜版与硅片刻线宽度的在线检测是保证质量的重要手段。本文介绍了一种高精度,自动化的线宽测量仪。阐述了其原理,构成及设计中有关问题。经实验表明:该仪器的重复测量精度≤±0.005μm;测量精度为±0.02μm.     

高密度母盘刻录控制系统的研究

高密度母盘刻录是数据存储中的关键技术.对母盘刻录系统的工作原理、结构组成及控制方法进行了分析研究,提出了基于DSP中央处理器和CPLD逻辑单元为中心的下位机式刻录控制方法,完成了模型建立、参数优化、硬件设计与仿真,并进行了系统特性实验.结果表明,精密系统定位精度为50 nm,亚微米级扰动消除时间＜10 ms;运动运行稳定,基本满足刻录系统性能要求.     

用于二维精密定位工作台的微位移机构设计

微位移技术是精密机械与仪器的关键技术之一.本文介绍精密定位系统中的典型微位移机构,分析常用机构的特点及存在问题,并以平行板柔性铰链为基础,通过对其结构的优化,设计应用于扫描探针系统的二维定位工作台,并利用有限元方法对该工作台静态特性进行了仿真分析.     

移相式激光偏振仪的原理及误差分析

本文介绍了移相式激光偏振仪的原理及误差分析。在塞纳蒙补偿器系统中,通过改变检偏器方位角对输出光强进行移相,然后测量输出光强并作傅立叶分析,就可精确获得被测件的相位延迟量。     

十字片簧弹性支承测量机构的特性分析与设计

在触针式轮廓测量仪中，性能优良的测量机构是保证触针与被测表面之间“接触测量”的关键部件。本文采用十字片簧弹性支承作为触针的运动支承，并在其特性分析的基础上，进行了参数设计。实验测得：测量力变化率为３５．６Ｎ／ｍ，固有频率达到１９．２Ｈｚ。最后，通过仿真实验得到测量机构运动中回转中心偏移情况。     

水溶性半无机硅钢片漆的研制与应用

本文介绍了国内外硅钢片漆的发展概况。详细阐述了水溶性半无机硅钢片漆的研究及在产品上的应用情况。通过对单体的选择、摩尔比及催化剂种类与用量的筛选和对制备工艺的控制以及无机填料的引入,使该半无机漆水溶性极佳并具有十分优良的机、电性能和热稳定性,极大地提高了电机长期安全运行的可靠性。针对水溶性半无机硅钢片漆的特点,通过大量试验,探讨出生产上切实可行的工艺条件。     

高精度转台直接与间接驱动比较研究

对高精度转台机械结构的直接驱动和间接驱动进行了较全面的对比研究.在简述和归纳转台的驱动方式和结构的基础上,对两种驱动方式从数学模型,对转台机械性能的影响,对控制系统要求等方面进行了对比分析,并对间接驱动中的间隙问题提出了补偿方法.针对某高精度伺服转台的分析,内环采用了直接驱动方式,外环采用了间接驱动方式.实验证明该转台实现了高精度漂移误差补偿的要求,该项研究为高精度伺服转台机械驱动方式选择和设计奠定了基础.     

500kV四回路输电塔气弹模型风洞试验研究

针对标高82.7 m的500 kV四回路常规直线塔风荷载设计是关键的问题,提出采用离散刚度法制作输电塔气动弹性模型,为此,对不同风速下的风洞试验及其直线塔风致响应特性进行了试验和研究。研究结果表明:输电塔的加速度响应和动位移响应随风速、高度增大呈单调增大趋势;横风向加速度响应和顺风向加速度响应比较接近,可见输电塔在风荷载作用下,横向风振效应不能忽略,这对复核设计风荷载取值非常重要。     

基于跳变线估测的相位包裹去除法

针对相移干涉术中噪声点产生的相位跳变，提出一种基于跳变线估测的相位包裹去除法。该方法简单实用、与去包裹路径无关，可以有效地消除干涉图噪声所产生的位相跳变，消除噪声包裹导致的相位图上的“拉线”现象，恢复真实相位。用于相移干涉测量表面微观形貌，取得了较好的实验结果。     

Laplace小波相关滤波法与冲击响应提取

冲击响应信号的出现标志着机械设备发生松动，碰撞，冲击等故障。在复杂的振动信号中准确提取出冲击响应信息在机械故障诊断中具有重要的意义，介绍了用来识别冲击响应信号的Lapalce小波相关滤波法，通过对含有噪声的模拟冲击响应信号的识别，证明该方法能够在强大噪声干扰中准确捕捉到冲击响应信号。工程应用结果表明，相关滤波法可以从复杂的内燃机缸盖振动信号中准确定位进气阀关闭时冲击发生的时刻及频率，从而成功地诊断出因进气阀磨损而导致的漏气故障。