利用UV曝光技术研制单根定向碳纳米管阵列冷阴极

通过普通的紫外(UV)光刻工艺,结合"变倾角缩口"新技术,研制了不同发射单元尺寸的碳纳米管(CNTs)阵列阴极。扫瞄电镜分析表明,随着缩口尺寸的依次减小(从0.6μm到0.4μm,最后到0.2μm),发射单元内CNTs的根数也不断减少。当孔径缩至0.2μm时,发射单元仅由1根~3根CNTs组成,并且大部分单元顶端均有单根CNT伸出,使得整个发射体近似于单根CNT。场发射特性测试结果表明,0.2μm发射单元尺寸的阵列阴极,开启电场约2V.μm-1;当场强为20V.μm-1时,该阵列的电流密度达到0.35A.cm-2,比1μm尺寸的阵列阴极提高了近4倍,比连续生长的薄膜CNTs阴极则高1~2个数量级。     

场发射阵列阴极在行波管中的应用

给出了场发射阵列阴极的发展概况和制造方法，讨论了采用场发射阵列阴极作为行波管电子源的可能性和电子枪设计的有关问题，对采用场发射阵列阴极的行波管进行了介绍和评论。     

导管组织加热治疗心脏病

人体组织是由各种各样的构件、部件和细胞组成,变化多端极其复杂。这些组织不仅对于每个个体是不一样的,而且对不同的性别、身体素质、健康状况、甚至外部条件(例如饮食状况、呼吸的空气状况、周围环境的温度情况、精神状态等)的人,相同功能的组织也不是完全一样的。然而,在频率为10MHz～10GHz内,人们可根据形状和电磁特性(包括介电常数ε和导电率σ)对生物组织从宏观上进行观察和区分。这些参数和电磁波的辐射频率有关,并依赖于特定组织的类型。所有的生物组织都具有导电性,当微波穿过时,组织就会吸收微波能量并将其转化为热量。这种…     

传感器的发展动向

近几年来,随着微电子技术、计算机以及材料科学的迅速发展,传感器也有了较快的发展。它的应用几乎遍及各行各业。从工业自动化监测和控制到农业种子处理和粮食贮藏,从航空和航天飞行器到水声信息检测,从机器人到汽车发动机和安全装置,从军事电子装备到家用空调机、洗衣机和微波炉,从各种医用电子设备到生物工程研究等等,都离不开各种类型的传感器。因此目前许多国家都十分重视传感器的发展。     

家具中甲醛的危害与防治措施

近年来，环境保护越来越受到人们的关注，绿色健康的概念越来越深入人心。作为人们工作、生活和休息的场所，这些环境因素对人的影响是致关重要的。而在这些场所中家具中的甲醛释放是其中不可忽视的一个重要因素。本文主要介绍甲醛的基本特性、对人体的危害、家具中的甲醛释放原理及其减少危害的方法等。旨在通过本文，加强人们对家具中甲醛危害的认识，能够多创建健康环保的生活空间。     

微图形定向碳纳米管场发射阵列冷阴极的研究

本文介绍了一种微图形化碳纳米管场发射阵列冷阴极,每个图形的直径仅为1μm,构成一个发射单元。制作工艺如下：首先在硅（100）基片上沉积氮化钛缓冲层,然后采用曝光工艺获得直径为1μm的胶孔阵列,沉积催化剂铁,最后采用直流等离子体增强化学气相沉积（DC-PECVD）生长直立的碳纳米管。并对17500个发射单元的阵列阴极进行了表面形貌表征及场发射特性测试。结果表明,碳纳米管阵列阴极的一致性较好;最低开启电场为1 V/μm;电场为17 V/μm时,测得的电流密度已达到90 mA/cm^2;发射电流为550μA时,在2.5 h内的波动小于5.6%。     

太赫兹器件用新型复合多层金刚石材料的研究

微波器件频率进入太赫兹,输能窗的厚度减小至一百甚至几十微米。常规的介质材料,或者多晶金刚石材料已经难以满足强度和真空密封性能的要求。为此设计并研制出一种新型微/超纳米复合多层金刚石膜。该膜采用微波等离子体化学气相沉积法(MPCVD),通过反应气源和沉积参数的改变,实现在硅衬底上依次原位生长微米尺度和超纳米尺度的金刚石膜。研制的复合多层金刚石膜表面粗糙度Ra<0.5μm,生长面的断裂强度高达1550MPa,是普通多晶金刚石膜的三倍。用该膜封接的输能窗目前已经通过真空密封性测试,将首次应用于太赫兹真空器件。     

太赫兹器件用新型复合多层金刚石材料的研究

微波器件频率进入太赫兹,输能窗的厚度减小至一百甚至几十微米。常规的介质材料,或者多晶金刚石材料已 经难以满足强度和真空密封性能的要求。为此设计并研制出一种新型微/超纳米复合多层金刚石膜。该膜采用微波等离子 体化学气相沉积法（MPCVD）,通过反应气源和沉积参数的改变,实现在硅衬底上依次原位生长微米尺度和超纳米尺度 的金刚石膜。研制的复合多层金刚石膜表面粗糙度Ra<0.5μm,生长面的断裂强度高达1550MPa,是普通多晶金刚石膜的 三倍。用该膜封接的输能窗目前已经通过真空密封性测试,将首次应用于太赫兹真空器件。