高精度逐场调焦调平控制系统数学模型分析

详细介绍了基于硅片ＣＨＩＰ中心坐标的高精度逐场调焦调平控制系统数学模型,并简要给出了系统控制算法。     

0.35μm投影光刻机的逐场调平技术与套刻步进模型

介绍用于 0 .35μm投影光刻机的逐场调平技术 ,讨论其检测和控制原理 ,并作精度分析 ;讨论逐场调平对套刻精度的影响 ,并建立三轴测量逐场调平的套刻步进模型。     

一种基于惯性动量作用的微压电泵

提出一种新的微压电泵工作机理,采用环形流道式泵腔与两个无运动件阀,形成双级惯性动量作用机制。通过减小腔内回流比例、增大正反方向流阻差,提高泵液效率与输出泵压、减小输出脉动。仿真结果表明该工作机理是可行的。     

MEMS运动件的芯片外机械驱动方法

研究MEMS微结构的片外机械式驱动问题，介绍了在MEMS硅芯片背面贴合一块宏观尺度PZT片的驱动思想即PZT产生机械运动，在硅固定件与微运动件之间产生动量耦合，从而驱动微运动件。重点探讨脉冲驱动、振动驱动两大类基本驱动方法及其特点，介绍国外代表性研究结果，并提出对该方法进一步研究的观点与设想。     

激光共聚焦生物芯片扫描仪的光学特性

生物芯片扫描仪是生物芯片能否得到广泛应用的关键仪器，在分析了激光共聚焦生物芯片扫描仪的成像特性的基础上，详细地论述了生物芯片扫描仪的光强分布函数，光学信息量等光学特性，从而得出生物芯片扫描仪的高分辨力特性，为研制高精度，高分辨力的生物芯片扫描仪打下了坚实的理论基础。     

激光共聚焦生物芯片扫描仪分辨率特性研究

随着生物芯片集成度的提高,所用反应物的量减少,其激发所产生的荧光信号也越来越微弱。因而,对高精度、高分辨率生物芯片检测仪的要求迫在眉睫。本文探讨了一种激光共聚焦生物芯片扫描仪的成象原理和高分辨率特性,其中指出激光共聚焦生物芯片扫描仪由于采用了探测针孔,因而视场大大减小,信噪比大大提高,同时每幅图象逐点扫描形成,因而可成高分辨率的象。     

从SEMICON/WEST′91看当今光刻设备的发展(出国参观考察报告)

本文介绍了参加SEMICON/WEST′91展览会所见到的国外光刻设备——新研制的制造亚微米器件(16Mb)用的半导体设备已面市。特别引人注目的是许多公司已推出它们的新型光刻设备——0.5～0.8μm硅片分布重复光刻机,如ASM公司的PAS-5500型,Ultratech公司的Ultrastep-2000型,GCA公司的XLS-7000系列,Canon公司的FPA-2000il型,Nikon公司的NSR2005G8i/i8A型依靠i线光刻的分步重复光刻机及用于生产64Mb及256Mb DRAM的有效使用准分子激光器深紫外光刻机的市场可望连续增长。     

投影光刻机的坐标系与套刻步进模型

本文介绍 0 .35μm(亚半微米 )投影光刻机的机器、硅片、掩模、硅片对准、掩模对准等的坐标系 ,并根据各坐标系讨论套刻时硅片工件台的步进模型。     

投影光刻物镜的弹性装校

本文介绍了投影光刻物镜的弹性装校工艺及方法,在数字干涉仪上实测的结果及分析。     

完全禁带二维光子晶体的研究

利用平面波展开法,对存在完全禁带的正三角排列的气柱型二维光子晶体和蜂窝状排列的介质柱型二维光子晶体进行了研究,分析了柱的半径和介质折射率对完全禁带大小的影响,结果表明,正三角排列气柱型比蜂窝状排列介质柱型具有更大的最大带隙率,而且最大带隙率还可以通过介质折射率的改变来优化;蜂窝状排列介质柱型二维光子晶体最容易加工的结构刚好适合常见材料硅或砷化镓,具有更大的实用价值.