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71.
72.
SiC MESFET工艺技术研究与器件研制 总被引:3,自引:1,他引:2
针对SiC衬底缺陷密度相对较高的问题,研究了消除或减弱其影响的工艺技术并进行了器件研制.通过优化刻蚀条件获得了粗糙度为2.07 nm的刻蚀表面;牺牲氧化技术去除刻蚀带来的表面损伤层,湿氧加干氧的氧化方式生长的SiO2钝化膜既有足够的厚度又保证了致密性良好的界面,减小了表面态对栅特性和沟道区的影响,获得了理想因子为1.17,势垒高度为0.72 eV的良好的肖特基特性;等平面工艺有效屏蔽了衬底缺陷对电极互连引线的影响,减小了反向截止漏电流,使器件在1 mA下击穿电压达到了65 V,40 V下反向漏电流为20μA.为了提高器件成品率,避免或减小衬底缺陷深能级对沟道电流的影响,使用该工艺制备的小栅宽SiCMESFET具有195 mA/mm的饱和电流密度,-15 V的夹断电压.初步测试该器件有一定的微波特性,2 GHz下测试其最大输出功率为30 dBm,增益大于5 dB. 相似文献
73.
娜木罕 《北京印刷学院学报》2010,18(1):29-31
图书出版与其他商品生产一样,服从市场经济一般规律:受到市场的三大机制,即价格机制、供求机制和竞争机制的指引,从而达到"适者生存,优胜劣汰"。出版单位只有针对市场的特点,并结合自己的特色,寻求对策。如创立自己独特的品牌,主动开拓市场,顺应数字化出版潮流,并抵御不良的市场利益诱惑,才能在日益激烈的市场竞争中立于不败之地。 相似文献
74.
殷墟是我国奴隶社会商朝后期的都城遗址.位于河南省安阳市区西北小屯村一带.距今已有三千三百多年历史.因其出土大量的甲骨文和青铜器而驰名中外. 相似文献
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2009年11月EPSON发布了达到200000:1全球最高对比度的TW4500和TW3500,目前这两款机器已经成为中国同档次全高清家用投影机中最炙手可热的型号。TW3500常常一机难求。 相似文献
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77.
自诞生之日起,素尼BRAVIA品牌就凭借画质技术与设计艺术相辅相成的不凡气质,成为领先液晶电视市场的翘楚品牌。今天,索尼(中国)有限公司再推液晶电视豪华阵容, 相似文献
78.
79.
供电系统故障是引发信息系统宕机的头号杀手,因此,“防患于未然”的UPS电源对我国金融行业的IT技术应用有着深远意义。日前,中国农 相似文献
80.
介绍了利用VisualC++指令编制直接访问I/O接口地址以及处理字节数组的各位功能的函数,通过接口地址以及处理字节数组的各位的函数,通过动态链接库方式在Vesual Basic中应用。 相似文献