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本文研究了PECVD系统沉积薄膜及其特性.通过椭偏仪测出了薄膜的膜厚, 采用电子薄膜应力分布测试仪分析了薄膜应力,并运用四探针装置研究了电阻率、方阻、TCR及它们之间的相互关系。结果表明,所沉积的薄膜覆形特性好、沉积速度快, 沉积速率达到了31.89nm/min,另外,它还具有低应力、高TCR的特点;当薄膜电阻率处在一定的范围内时,通过数据分析,电阻率与TCR之间几乎成线性关系. 相似文献
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针对光伏集群有功功率的波动性和随机性会显著影响电力系统安全稳定运行的问题,基于大系统分层递阶控制理论,提出光伏集群有功功率分层预测控制策略。该策略在空间尺度上分为3个层级:在日前集群跟踪层以跟踪日前调度计划为目标,建立光伏集群调度计划跟踪模型,并将优化后的调度计划值下发给子集群层;在子集群层中建立协调优化分配模型,同时将集群下发的控制指令合理分配给各子集群,并给出子集群内部电站的优化出力值;在实时电站控制层建立电站有功控制模型,该模型根据运行工况及所接收的优化出力值,自适应采取最大出力模式或跟随模式工作。最后,仿真结果表明所提方法在保证系统安全稳定前提下,能够提高目标区域内光伏消纳,且使得各个光伏电站有功出力更加平稳。 相似文献
484.
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