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低能Ar+离子束辅助沉积择优取向Pt(111)膜 总被引:3,自引:0,他引:3
采用低能Ar+离子束辅助沉积方法,在Mo/Si(100)基底上沉积Pt膜,离子/原子到达比分别为0.1、0.2、0.3.若Ar+离子的入射角为0°,XRD谱分析表明,沉积的Pt膜均呈(111)和(200)混合晶向;当Ar+离子的入射角为45°,沉积的Pt膜均呈很强的(111)择优取向.因此若合理控制Ar+离子束的入射角,可在Mo/Si(100)衬底上制备出具有显著择优取向的Pt(111)薄膜.本文采用Monte Carlo方法模拟低能Ar+离子注入 Pt单晶所引起的原子级联碰撞过程,得出Ar+离子入射单晶铂(200)晶面时,Ar+离子的溅射率与入射角的关系,对Pt膜择优取向的机理作了初步的探讨和分析. 相似文献
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针对少齿数渐开线圆柱齿轮副在研究和应用过程中存在的问题,提出了双向变位的方法;基于渐开线圆柱齿轮尺寸计算公式和双向变位少齿数齿轮副的特点,推导出了双向变位少齿数齿轮副设计计算公式。理论研究和实践证明双向变位可以有效地改善传动质量,为这种传动的进一步应用研究提供了重要依据。 相似文献
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依据现场实测数据和国家标准GB10070-1988《城市区域环境振动标准》,明确因管道喘振引起的环境振动治理必要性。从振动源天然气压缩机本体分析管道喘振原因,介绍相应治理方法,并提出一种可有效治理管道喘振的系统解决方案,为类似增压站环境振动治理提供参考。 相似文献
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68.
对动态错流过滤机的原理和特征进行了评述 ,简要描述了动态错流过滤机的结构、性能特点及应用 ,并与传统压滤机进行了比较。 相似文献
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结合砂质粉土地区基坑渗漏工程实例,根据颗粒级配的判定法,确定了渗透破坏类型与临界水力坡降,并通过室内应力路径试验确定了有限元数值模型的参数。通过有限元数值模拟,给出了渗漏条件下的渗流场分析结果,确定了渗透破坏过程。结合现场实测数据分析,揭示了渗漏以及渗透破坏对坑外水位、地表沉降以及围护结构水平变形的影响。比较实测结果与有限元数值模拟结果可以看出,本文分析方法能够很好地预报止水结构存在渗漏情况,同时也能很好地分析土体发生渗透破坏对围护结构与周围环境的影响,为预防基坑开挖渗漏提供了理论依据。 相似文献
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