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该文基于掺钪AlN薄膜制备了高次谐波体声波谐振器(HBAR),研究了钪(Sc)掺杂浓度对AlN压电薄膜材料特性及器件性能的影响。研究表明,当掺入Sc的摩尔分数从0增加到25%时,压电应力系数e33增加、刚度 下降,导致Al1-xScxN压电薄膜的机电耦合系数 从5.6%提升至15.8%,从而使HBAR器件的有效机电耦合系数 提升了3倍。同时,当Sc掺杂摩尔分数达25%时,Al1-xScxN(x为Sc掺杂摩尔分数)压电薄膜的声速下降13%,声学损耗提高,导致HBAR器件的谐振频率和品质因数降低。 相似文献
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文章分析了常用欠压保护电路的设计原理及特点,根据实际需求和常用电路存在的不足,设计了一种改进型的高精度欠压保护电路方案,通过验证确定欠压保护电路原理的可行性。 相似文献
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滨州市坚持系统治理,突出节水优先,深入实施沿黄地区生态保护,推进黄河水资源节约集约利用,充分发挥黄河水资源效益,切实改善沿线群众生产生活条件,为黄河生态保护和持续发展提供了坚实的保障。 相似文献